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《基于介電泳機(jī)理的金納米顆粒傳感器裝配方法》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。
1、基于介電泳機(jī)理的金納米顆粒傳感器裝配方法王淑娥１，２，曲艷麗１，董再勵(lì)１，楊洋１，周磊１（１．中國科學(xué)院沈陽自動(dòng)化研究所機(jī)器人學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，沈陽１１００１６；２．中國科學(xué)院研究生院，北京１０００４９）摘要：研究了一種基于介電泳機(jī)理的金納米顆粒傳感器裝配方法。在分析介電泳工作原理的基礎(chǔ)上，利用ＣｏｍｓｏｌＭｕｌｔｉｐｈｙｓｉｃｓ仿真軟件，對(duì)平面微電極條件下所產(chǎn)生的空間電場(chǎng)進(jìn)行了建模仿真，研究了金納米粒子極化模型及相關(guān)介電泳頻譜特性。設(shè)計(jì)加工了基于光刻標(biāo)準(zhǔn)工藝和引線鍵合技術(shù)的平面微電極陣列，構(gòu)建了具有三維位移平臺(tái)和視頻監(jiān)控裝置的介電泳裝配實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。以２５０ｎｍ金顆粒為實(shí)驗(yàn)對(duì)象，在
2、理論分析基礎(chǔ)上，完成了在微電極陣列上的介電泳組裝實(shí)驗(yàn)研究，并通過電特性測(cè)量驗(yàn)證了組裝結(jié)果。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：金納米顆粒的介電泳組裝效果與介質(zhì)溶液的電導(dǎo)率、電場(chǎng)頻率和幅度、金納米粒子濃度、電極間隙及作用時(shí)間有關(guān)，在適宜的條件下，采用介電泳技術(shù)可實(shí)現(xiàn)對(duì)金納米顆粒的有效操控和納米器件裝配，該方法為納米傳感器的制造提供了一種有效途徑。關(guān)鍵詞：介電泳（ＤＥＰ）；光刻技術(shù)；金納米顆粒；納米傳感器；納米器件的組裝與裝配中圖分類號(hào)：ＴＢ３８３；ＴＰ２１２文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：Ａ文章編號(hào)：１６７１－４７７６（２０１１）１２－０８０９－０７ＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄｏｆＧｏｌｄＮａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅＳｅ
3、ｎｓｏｒｓＢａｓｅｄｏｎｔｈｅＤＥＰＭｅｃｈａｎｉｓｍ１，２，ＱｕＹａｎｌｉ１，ＤｏｎｇＺａｉｌｉ１，ＹａｎｇＹａｎｇ１，ＺｈｏｕＬｅｉ１ＷａｎｇＳｈｕ′ｅ（１．ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＲｏｂｏｔｉｃｓ，ＳｈｅｎｙａｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＡｕｔｏｍａｔｉｏｎ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｓｈｅｎｙａｎｇ１１００１６，Ｃｈｉｎａ；２．ＧｒａｄｕａｔｅＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆｔｈｅＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００４９，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｏｆｇｏｌｄｎａｎｏ
4、ｐａｒｔｉｃｌｅｓｅｎｓｏｒｓｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｄｉｅｌｅｃｔｒｏｐｈｏｒｅｓｉｓ（ＤＥＰ）ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｗａｓｐｒｏｐｏｓｅｄ．ＢａｓｅｄｏｎｔｈｅｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌａｎａｌｙｓｉｓｏｆｔｈｅＤＥＰｗｏｒｋｉｎｇｐｒｉｎｃｉｐｌｅ，ｔｈｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎｏｆｔｈｅｎｏｎ－ｕｎｉｆｏｒｍｓｐａｃｉａｌｅｌｅｃｔｒｉｃｆｉｅｌｄｇｅｎｅｒａｔｅｄｂｙｐｌａｎａｒｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｄｅｐａｉｒｓｗａｓｓｉｍｕｌａｔｅｄｕｓｉｎｇＣｏｍｓｏｌＭｕｌｔｉｐｈｙｓｉｃｓ．Ｔｈｅｐｏｌａｒｉｚｉｎｇｍｏｄｅｌａｎｄｆｒｅｑｕｅｎｃｙｓｐｅｃｔｒｕｍｃｈａｒａｃ－ｔｅ
5、ｒｉｓｔｉｃｓｏｆｇｏｌｄｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓＤＥＰｗｅｒｅａｌｓｏｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ．Ｍｏｒｅｏｖｅｒ，ａｓｅｒｉｅｓｏｆｐｌａｎａｒｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｄｅｐａｉｒｓｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔｇａｐｓｗｅｒｅｓｕｃｃｅｓｓｆｕｌｌｙｄｅｓｉｇｎｅｄａｎｄｆａｂｒｉｃａｔｅｄｗｉｔｈｓｔａｎｄａｒｄｐｈｏｔｏ－ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙｔｅｃｈｎｉｑｕｅａｎｄｗｉｒｅｂｏｎｄｉｎｇｔｅｃｈｎｉｑｕｅ．Ａｎｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｓｅｔｕｐｆｏｒｇｏｌｄｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓａｓｓｅｍｂｌｙｗａｓｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇｔｈｅｔｈｒｅｅ－ｄｉｍｅ
6、ｎｓｉｏｎａｌｍｏｔｏｒ－ｄｒｉｖｅｎｐｌａｔｆｏｒｍｍｏｄｕｌｅａｎｄｖｉｓ－ｕａｌｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇｍｏｄｕｌｅ．Ｓｐｅｃｉｆｉｃａｌｌｙ，ｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌａｎａｌｙｓｉｓ，ＤＥＰａｓｓｅｍｂｌｙｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓｏｆ２５０ｎｍｇｏｌｄｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓｂｅｔｗｅｅｎｔｈｅｇａｐｏｆｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｄｅｐａｉｒｓｗｅｒｅｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ．Ｔｈｅｎｔｈｅｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆｔｈｅｇｏｌｄｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｂａｓｅｄｓｅｎｓｏｒｗａｓｍｅａｓｕｒｅｄａｎｄｔｈｅｅｆｆｅｃｔｉｖｅｎｅｓｓｏｆ收稿
7、日期：２０１１－１０－０８基金項(xiàng)目：機(jī)械人學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室自主課題（２００９Ｚ０２）；中國科學(xué)院、國家外國專家局創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)國際合作伙伴計(jì)劃資助項(xiàng)目Ｅ－ｍａｉｌ：ｓｈｕｅｗａｎｇ＠ｓｉａ．ｃｎ２０１１年１２月微納電子技術(shù)第４８卷第１２期８０９王淑娥等：基于介電泳機(jī)理的金納米顆粒傳感器裝配方法ｔｈｅＤＥＰａｓｓｅｍｂｌｙｗａｓｖａｌｉｄａｔｅｄ．ＥｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓｉｎｄｉｃａｔｅｔｈａｔｔｈｅｅｆｆｅｃｔｉｖｅｎｅｓｓｏｆＤＥＰａｓ－ｓｅｍｂｌｙｆｏｒｇｏｌｄｎａｎ
