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《微納定位平臺的遲滯非線性建模與控制技術(shù)》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。
1、浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要全文摘要隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，微納定位技術(shù)廣泛應(yīng)用于精密工程、納米科學(xué)與技術(shù)、微電子工程、生物工程等領(lǐng)域。微納定位技術(shù)的發(fā)展水平代表著一個國家先進制造技術(shù)的水平，而我國微納米定位技術(shù)的研究水平與國際水平存在較大差距。因此，研究微納定位技術(shù)對于提高國家先進制造技術(shù)水平、縮小國內(nèi)外同行間的差距具有重要意義。論文在綜述國內(nèi)外微納定位平臺系統(tǒng)應(yīng)用及其控制方法的基礎(chǔ)上，重點圍繞微納定位平臺遲滯模型建模技術(shù)及其控制方法展開理論與實驗研究。論文主要研究內(nèi)容包括：第1章論述了論文研究的背景與意義，介紹了
2、微納定位平臺系統(tǒng)的各個組成部分，并分析影響微納定位平臺定位精度的因素。在文獻綜述的基礎(chǔ)上，總結(jié)了微納定位平臺遲滯建模及控制技術(shù)的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，提出目前微納定位平臺存在的主要問題，最后提出了論文的主要研究內(nèi)容。第2章介紹了本論文所采用的微納定位平臺系統(tǒng)整體構(gòu)建情況，并分析了系統(tǒng)各組成部分的性能。第3章主要研究基于Preisach模型的微納定位平臺遲滯非線性建模技術(shù)。介紹了Preisach模型的基本組成，分析Preisach模型的性質(zhì)。通過實驗完成對Preisach模型的參數(shù)辨識。最后，對Preisach正模型
3、預(yù)測精度進行實驗驗證。第4章提出了微納定位平臺開環(huán)控制方案及復(fù)合控制方案，并對PID參數(shù)進行離線整定。設(shè)計了基于Preisach模型的開環(huán)控制器，對微納定位平臺進行開環(huán)控制實驗。同時辨識了微納定位平臺控制系統(tǒng)模型，并以此模型為基礎(chǔ)，經(jīng)過Matlab仿真整定了PID控制器的控制參數(shù)。最后，基于設(shè)計的PID控制器及前饋PID控制器對平臺進行閉環(huán)控制實驗。第5章提出了神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID控制方案及模糊PID控制方案。分別介紹了這兩種控制方案，設(shè)計了神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID控制器及模糊PID控制器，并對微納定位平臺進行閉環(huán)控制實驗研
4、究。第6章對論文的研究進行總結(jié)，并對后續(xù)開展的工作進行了討論。關(guān)鍵詞：壓電陶瓷驅(qū)動器遲滯非線性Preisach模型微納米定位平臺PID控制神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制模糊控制II浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文AbstractWiththedevelopmentofscienceandtechnology,micro-nanopositioningtechnologyiswidelyusedinthefieldsofprecisionengineering，nanotechnology,microelectronicsengineeri
5、ngandbiologicalengineering．Thelevelofmicro·llanopositioningtechnologyrepresentsthelevelofthenationaladvancedmanufacturing．Actually,thereisabiggapbetweendomesticlevelandinternationallevelintheresearchofmicro-nanostage．Therefore，it'ssignificanttOdotheresearch
6、ofmicro-nanopositioningtechnologyinordertoimprovethenationaladvancedmanufacturinglevelandnarrowthegap．Basedonthereviewofdomesticandforeignapplicationsandcontrolmethodsofmicro-nanopositioningplatformsystem,thisthesisputsemphasisontheoreticalanalysisandexperi
7、mentalresearchofthehysteresismodelsandcontrolmethodsofmicro·llanostage．Inthefirstchapter，thebackgroundandthesignificanceofthisresearchwasftrstlydiscussed，thenthecomponentsofmicro-nanopositioningplatformsystemwereintroducedandthefactorsthataffecttheaccuracyo
8、fmicro—nanopositioningstagewereanalyzed．Basedontheliteraturesreview,thedomesticandforeignresearchofhysteresismodelsandcontrolmethodsofmicro—nanostageweresummarized．Andtheproblemsofmicro-nanostagewerepu
