用于實(shí)時(shí)三維超聲成像的面陣探頭設(shè)計(jì)與研究

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1、分類號(hào)學(xué)號(hào)M201272019學(xué)校代碼10487密級(jí)碩士學(xué)位論文用于實(shí)時(shí)三維超聲成像的面陣探頭設(shè)計(jì)與研究學(xué)位申請(qǐng)人:孫士越學(xué)科專業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:朱本鵬副教授答辯日期:2015年5月10日AThesisSubmittedinPartialFulfillmentoftheRequirementsfortheDegreeofMasterofScienceDesignandResearchon2Darraytransducerforreal-time3DultrasoundimagingCandidate:SunShiyueMajor:MicroelectronicsandSoli

2、dStateElectronicsSupervisor:AssociateProf.ZhuBenpengHuazhongUniversityofScience&TechnologyWuhan430074,P.R.ChinaMay,2015獨(dú)創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是我個(gè)人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得的研究成果。盡我所知,除文中已標(biāo)明引用的內(nèi)容外,本論文不包含任何其他人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果。對(duì)本文的研究做出貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體,均已在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意識(shí)到本聲明的法律結(jié)果由本人承擔(dān)。學(xué)位論文作者簽名:日期:年月日學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作者完全了解學(xué)校

3、有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定,即:學(xué)校有權(quán)保留并向國(guó)家有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電子版,允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)華中科技大學(xué)可以將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索,可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存和匯編本學(xué)位論文。保密□,在______年解密后適用本授權(quán)書。本論文屬于不保密□。(請(qǐng)?jiān)谝陨戏娇騼?nèi)打“√”)學(xué)位論文作者簽名:指導(dǎo)教師簽名:日期:年月日日期:年月日華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要與傳統(tǒng)二維超聲成像相比,實(shí)時(shí)三維超聲成像技術(shù)能夠提供更加直觀和立體的影像學(xué)數(shù)據(jù),在臨床醫(yī)學(xué)中具有更廣闊的應(yīng)用前景。面陣探頭是實(shí)時(shí)三維超聲成像系統(tǒng)中的核心部件,其性能好壞決定著成

4、像質(zhì)量的優(yōu)劣。然而,面陣探頭因陣元數(shù)目多、陣元尺寸小、陣元間距窄等特點(diǎn)而研制難度極大。所以開展關(guān)于面陣探頭的設(shè)計(jì)與研究工作具有重要的學(xué)術(shù)價(jià)值和現(xiàn)實(shí)意義。相對(duì)于傳統(tǒng)全連接的設(shè)計(jì)方案,行列尋址方式可以使一個(gè)N×N面陣探頭的信號(hào)2線連接數(shù)目從N減少到2N,極大地降低了面陣探頭的研制難度。已報(bào)道的基于行列尋址方式的面陣探頭,由兩層壓電材料復(fù)合而成,一層發(fā)射一層接收,在一定程度上簡(jiǎn)化了研制工藝,但這種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)在牢固性和穩(wěn)定性方面存在一定問題。本文以PZT-5H為壓電材料,通過高精度切割技術(shù)與新型“引線”工藝,提出了一種在單層壓電材料上實(shí)現(xiàn)行列尋址的面陣探頭研制方法。本文主要設(shè)計(jì)與研制了陣元數(shù)576(2

5、4×24)、中心頻率分別為3MHz和8MHz兩種超聲面陣探頭。對(duì)于3MHz的面陣探頭,陣元大小為220?m,切槽寬度為60?m,采用導(dǎo)電背襯和傳統(tǒng)切穿壓電片的研制工藝。對(duì)于8MHz的面陣探頭,陣元大小為120?m,切槽寬度為47?m,采用不導(dǎo)電背襯和“不切穿”壓電片的研制工藝。本文利用有限元仿真軟件COMSOLMultiphysic對(duì)這種“不切穿”壓電片的方案進(jìn)行了模擬仿真,結(jié)果顯示在切槽深度大于等于壓電片厚度的四分之三時(shí)陣元的振動(dòng)情形與“完全切割陣元”近似。器件的電學(xué)和聲學(xué)性能測(cè)試結(jié)果表明,本文所研制面陣探頭的均一性良好。關(guān)鍵詞:實(shí)時(shí)三維超聲成像,面陣探頭,行列尋址,柔性電路板I華中科技大

6、學(xué)碩士學(xué)位論文AbstractComparedwiththetraditionaltwo-dimensionalultrasoundimaging,real-time3Dultrasoundimagingtechnologyhasmorepotentialclinicalapplicationsbecauseitcanprovidemorecompleteandobjectiveinformation.Astheheartofreal-time3Dultrasoundimagingsystem,2Darraytransducerdeterminestheimagequality.Howeve

7、r,2Darraytransducerisdifficulttofabricateduetoitsmassivenumbers,smallsizesandnarrowpitch.Therefore,designandresearchon2Darraytransducerisofgreatimportanceofbothfundamentalstudyandtechnicalapplications.ForaN

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