資源描述：
《飛秒激光燒蝕鍺等離子體特性研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內(nèi)容在學術論文-天天文庫。
1、分類號：UDC：密級：雄編號：——飛秒激光燒蝕鍺等離子體特性研究RESEARCHoNPLASMACHARACTERISTICSoFGERMANIUMABLATEDBYFEMTOSECoNDLASER學位授予單位及代碼：量查堡王太堂(!Q!璺魚2學科專業(yè)名稱及代碼：堂!QZQ圣QZ2論文起止時間：2012．10—2013．12申請學位級別：碩士聯(lián)系方式：18104402988長春舡大學碩士學位論文飚雌朗f㈣㈣65本人鄭重聲明：所呈交的碩士學位論文，《飛秒激光燒蝕鍺等離子體特性研究》是本人在指導教師的指導
2、下，獨立進行研究工作所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個人或集體己經(jīng)發(fā)表或撰寫過的作品成果。對本文的研究做出重要貢獻的個人和集體，均己在文中以明確方式標明。本人完全意作者簽名：嫂年立月邊日長春理工大學學位論文版權使用授權書本學位論文作者及指導教師完全了解“長春理工大學碩士、博士學位論文版權使用規(guī)定”，同意長春理工大學保留并向中國科學信息研究所、中國優(yōu)秀博碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫和CNKI系列數(shù)據(jù)庫及其它國家有關部門或機構送交學位論文的復印件和電子版，允許論文被查閱和借閱。本人
3、授權長春理工大學可以將本學位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關數(shù)據(jù)庫進行檢索，也可采用影印、縮印或掃描等復制手段保存和匯編學位論文。作者簽名：導師簽名：螳年立月坐曰遜絲年立月幽藍掣肄缸摘要近些年以來，激光燒蝕方面的研究很多，主要是通過改變實驗中的脈沖激光參數(shù)、和燒蝕靶材的種類，還有些通過改變環(huán)境氣體參數(shù)的研究，由此研究激光誘導等離子體的特性演化?，F(xiàn)階段對于激光燒蝕金屬靶材的等離子體特性的研究較多，對于激光燒蝕半導體材料的研究相對較少。鍺(Ge)作為一種半導體材料的應用十分廣泛，在太陽能電池和光纖通信等領域都
4、起到了至關重要的作用，而且在光電對抗方面也同樣具有非同尋常的發(fā)展前景，為軍事產(chǎn)業(yè)提供了強有力的技術基礎。因此需要我們更多的了解和掌握飛秒激光燒蝕Ge的等離子體特性。本論文研究在不同環(huán)境條件下，利用飛秒激光燒蝕Ge的等離子體光譜，對飛秒激光誘導等離子體的特性開展研究。主要工作分為以下三部分：實驗中均采用了中心波長為800nm，脈寬100fs的千赫茲飛秒激光燒蝕鍺靶材。第一部分：在空氣中標準大氣壓條件下，利用等離子體的發(fā)射光譜法，研究等離子體時間和空間的特性規(guī)律。給出在不同能量下，等離子體的光譜強度隨時空
5、的演化規(guī)律，計算出電子密度和電子溫度隨時間的演化以及激光能量對電子密度和電子溫度的影響。第二部分：在真空環(huán)境下，根據(jù)等離子體的時間和空間發(fā)射光譜研究等離子體的膨脹動力學過程，給出在不同壓強下，等離子體發(fā)射光譜隨時間和空間的演化規(guī)律；計算出電子溫度和電子密度的時間演化以及不同壓強對電子溫度和電子密度的影響。第三部分：在不同氣體(Ar、He)環(huán)境下，根據(jù)等離子體的時空分辨發(fā)射光譜法，研究了等離子體的膨脹動力學過程，給出在不同環(huán)境氣體的不同壓強下，等離子體發(fā)射光譜隨時間和空間的演化規(guī)律；計算出電子溫度和電子
6、密度的時間演化以及不同環(huán)境氣體與不同壓強對電子溫度和電子密度的影響。關鍵詞：激光誘導等離子體時間與空間分辨發(fā)射光譜法電子溫度電子密度ABSTRACTInrecentyears．therearemoreresearchtothelaserablation．Mainlybychangingtheexperimentofpulsedlaserparametersanddifferenttarget．Alsosomebychangingtheparametersofgasenvironmentresearch
7、，Tostudythecharacteristicsoflaserinducedplasmaevolution．AtthisstageforlaserablationofmetalplasmacharacteristicsoftargetmaterialresearchiSmore．Forthelaserablationofsemiconductormaterialsresearchisrelativelysmall．Geisasemiconductormaterial．Inareassuchasso
8、larcellsandopticalfibercommunicationhaveplayedavitalrole，Andhasextraordinarydevelopmentprospectsinfightinginphotoelectric，Providesastrongtechnicalfoundationformilitaryindustry．Soweneedmoreunderstandandmasterofplasmacharacteristic
