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《平面電磁型微電機(jī)定轉(zhuǎn)子制作工藝》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、MEMS器件與技術(shù)MEMSDeVice&TechnOfOgy平面電磁型微電機(jī)定轉(zhuǎn)子制作工藝楊杰偉，劉治華，趙江銘，吳一輝(1．鄭州大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院，鄭州450001；2．中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點(diǎn)實驗室，長春13o033)摘要：為了在平面微電機(jī)有限犬尺寸的定子上制作大深寬比結(jié)構(gòu)的繞組線圈，對大深寬比微結(jié)構(gòu)的制作工藝進(jìn)行了研究，綜合比較各方面因素，從中找出了成品率高、可重復(fù)性好、工藝步驟簡單的平面線圈的制作工藝，即在Si溝槽里通過微電鑄得到大深寬比平面銅線圈的深刻蝕成型電鑄工藝；分析了光刻工藝關(guān)鍵參數(shù)之間的關(guān)系及對后續(xù)工
2、藝的影響。通過該工藝制作的直徑10mm定子線圈深寬比較大(寬4Om、深80m)，且無空洞。該工藝有很大的深寬比挖掘潛力，也可應(yīng)用在其他需要較大深寬比平面線圈的微執(zhí)行器的制作中。關(guān)鍵詞：微電機(jī)；大深寬比；平面線圈；深刻蝕；微電鑄中圖分類號：TM303．3；TN305．7文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A文章編號：167卜4776(2009)09-055卜06Fabricati0n0fPlanarElectr0magneticMicr0m0t0rsYangJiewei，LiuZhihua，ZhaoJiangming，WuYihui(1．(10￡ZgP0，^c^nc口ZE
3、gPrg，ZPg^0LPrsf，Z^g^o“45O0O1，C，ln；2．S￡口￡P(guān)KPLnbornt0r0Appztedoptics，ChangchtInIs￡{tMteofop￡{cs，F(xiàn)ineMechanics口ndPhysics，CesAcndP70．廠ScP訂cPs，C^口gf^“130033，C口)Abstract：!Ⅵanykindsoffabricationprocessesofmicrostructureswerestudiedinordertofabri—cateahigh—aspect—ratiocoilonthestator
4、withfinitesizeofaplanarmicromotor．ComparedalotofaspectssyntheticalIy，akindoffabricationprocessbasedonthedeepetching—moIding—eIectro—platingtechnologywasfound．Thetechnologyiseasytoproduceperfectpr0ductsandhasagoodreproducibilityandarelatiVe1ysimpleprocedure．Inthiscase，thep1ana
5、rcopperco訂withhigh—aspect—ratiowasobtainedbymicro—electr0pIatingtheseedIayerinthesiIic0ntrench．Andthere1ationshipsofthekeyparametersinthephotolithOgraphyprocessesandtheeffectonthefollowingprocesswereanalyzed．The10mmdiameterplanarcoilwithagoodhigh—aspect—ratio(40minwidth，80min
6、depth)withoutanyvoidswasfabricatedbythistechnology．Moreo—Ver，thetechnologyhasagoodpotentialforhigheraspectratioandcanbeusedinthefabricationofhigh—aspect～ratioplanarcoilinothermicroactuators．Keywords：micromotor；high—aspect—ratio；planarcoil；deep—etching；micr0一e1ectroplatingDoI：
7、10．3969／j．issn．1671—4776．2009．09．001EEACC：2550G收稿日期：2oo9—02—23基金項目：國家自然科學(xué)基金資助項目(6O574O89)E’mail
8、yong—me@163．com2009年9月微納電子技術(shù)第46卷第9期551楊杰偉等：平面電磁型微電機(jī)定轉(zhuǎn)子制作工藝腐蝕的問題，但由于cu線與基片的接觸面積較0引言小，且與SiO的粘附性較差，Cu線容易與基片分離，致使其可靠性較差；另外，單純采用厚膠工微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)往往需要能產(chǎn)生藝，結(jié)構(gòu)的深寬比受到很大限制，且成品率低、不大驅(qū)動力的微執(zhí)行器，制作
9、工藝相對簡單的電磁執(zhí)利于批量化制作。為解決上述工藝問題，考慮采用行器一般來說能產(chǎn)生大的驅(qū)動力，因此有極大的發(fā)在si片上刻蝕出深溝槽進(jìn)而通
