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《噴霧熱解法制備氟摻雜二氧化錫導(dǎo)電薄膜及其性能研究》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、噴霧熱解法制備氟摻雜二氧化錫導(dǎo)電薄膜及其性能研究摘要氟摻雜二氧化錫導(dǎo)電薄膜(fluorine．dopedtinoxide，F(xiàn)TO)因具有高透光率和低電阻被廣泛用于太陽能電池和顯示設(shè)備。采用噴霧熱解法，以四氯化錫和氟化銨、1．甲基一3．乙基咪唑三氟乙酸(3．ethyl．1．methylimidazoliumtrifluoroacetate，EMITA)為原料、水和乙醇、異丙醇為溶劑，噴瓶為霧化裝置，在載玻片上制備FTO薄膜。運(yùn)用X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、紫外一可見分光光度計(jì)和四探針測試儀分別對FTO薄膜進(jìn)行了表征。研究了噴涂次數(shù)、襯底溫度、四氯化錫濃度、氟化銨(EMITA)濃度、
2、雙氧水濃度和乙醇(異丙醇)與水的體積比對FTO薄膜的透光率和方塊電阻的影響。當(dāng)襯底溫度為500℃，SnCl4濃度為0。81mol／L，NH4F濃度為0．1mol／L，乙醇與水的體積比為8：2，噴涂100次時(shí)，所得FTO薄膜在可見光區(qū)的平均透光率為76％，方塊電阻為13Q／口。在噴霧熱解液中加入少量的H202(0．05tool／L)可明顯提高FTO薄膜在可見光區(qū)的透光率，而不影響其方塊電阻；當(dāng)噴霧熱解液組成為O．8mol／LSnCl4，O．1mol／LNH4F，0．05mol／LH202，異丙醇與水的體積比為8：2，襯底溫度為500℃，噴涂100次時(shí)，所得FTO薄膜在可見光區(qū)的平均透
3、光率為84％，方塊電阻為15Q／口，且FTO薄膜平整致密、二氧化錫晶粒均勻。當(dāng)襯底溫度為500℃，SnCl4濃度為0．4mol／L，EMITA濃度為O．3mol／L，乙醇與水的體積比為8：2，噴涂100次時(shí)，所得FTO薄膜在可見光區(qū)的平均透光率為73％，方塊電阻為173Q／口。關(guān)鍵詞：噴霧熱解；氟摻雜二氧化錫；導(dǎo)電薄膜；溶液組成；1一甲基一3一乙基咪唑三氟乙酸PreparationandCharacterizationofFluorine—-dopedTinDioxideConductiveThinFilmsDepositedbySprayPyrolysisABSTRACTTran
4、sparentconductivethinfilmsofF：Sn02(fluorine—dopedtindioxide，F(xiàn)TO)withhighopticaltransmittanceandlowelectricalresistivityarekeyelementsforthin—filmsolarcellsanddisplaydevices．FTOweredepositedonpreheatedmicroscopicglassslidesusingpentahydratestannicchloride(SnCl4。5H20)andammoniumfluoride(NH4F)or3
5、-ethyl-1一methylimidazoliumtrifluoroacetate(EMITA)assourcesfortinandfluorine，ethanol／isopropanolandwaterassolventsbyanintermittentspraypyrolysismethod．TheFTOthinfilmswerecharacterizedbyX—raydiffractometer，scanningelectronmicroscope，ultraviolet—visiblespectrometryandfour—point—probesetup．Theeffe
6、ctsofspraytimes，substratetemperature，concentrationofSnCl4，NH4F／EMITA，H202andvolumeratioofethanol／isopropanoltowaterontheopticalandelectricalcharacteristicsofFTOthinfilmswereinvestigated．TheresultsshowthatthesheetresistanceandtheaveragetransmittanceoftheFTOthinfilmspreparedwiththesolutionwith0．
7、glmol／LSACl4，0．1mol／LNH4F，atavolumeratioofethanoltowaterof8：2for100timesat500℃are13Q／口and76％，respectively．TheresultsshowthatthetransmittanceoftheFTOthinfilmscanbeimprovedduetoamoderateconcentrationofH202(一O．05tool／L)inthesprayingsolutio
