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1、第25卷第2期超硬材料工程Vo1．252013年4月SUPERHARDMATERIALENGINEERINGApr．2013線鋸切技術(shù)發(fā)展?fàn)顩r①談耀麟(中國(guó)有色桂林礦產(chǎn)地質(zhì)研究院有限公司，廣西桂林541004)摘要：回顧線鋸切技術(shù)發(fā)展的歷史背景。分析了在半導(dǎo)體工業(yè)中鋸切硅晶錠使用的超薄金剛石內(nèi)圓鋸片的優(yōu)缺點(diǎn)。闡述游離磨料線鋸的產(chǎn)生及其與超薄金剛石內(nèi)圓鋸片的性能對(duì)比以及游離磨料線鋸在使用中的局限性。文章還介紹了固結(jié)磨料線鋸中磨料的一些固結(jié)方式，并詳細(xì)闡述"3-前先進(jìn)的樹(shù)脂粘結(jié)金剛石線鋸和電鍍金剛石線鋸以及浸漬金剛石線鋸的技術(shù)規(guī)格和技術(shù)性能。關(guān)鍵詞：線鋸切技術(shù)；游離磨料線鋸；樹(shù)脂粘結(jié)金剛石線
2、鋸；電鍍金剛石線鋸；浸漬金剛石線鋸；發(fā)展；技術(shù)規(guī)格中圖分類號(hào)：TQ164文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A文章編號(hào)：1673—1433(2013)O2—0044-05State-of-the-artsofwiresawingtechnologyTANYao—lin(ChinaNonferrousMetal(Guilin)GeologyandMiningCo．，Ltd．．C-uilin541004，China)Abstract．Historicalbackgroundofwiresawingtechnologydevelopmentwasreviewd．Advantagesanddisadvantagesof
3、ulrta-thindiamondannularsawbladeusedforcuttingsiliconingotsinsemiconductorindustrywereanalysed．Theemergenceoflooseabrasivewiresawandtheperformancecomparisonbetweenitandultra-thindiamondannularsaw—blade，alongwithitslimitationinapplicationsweredescribed．Asforthefixedabrasivewiresawsomefixationmetho
4、dsoftheabrasiveparticleswereintroducedinthispaper-andthetechnica1performanceandtechnicalspecificationsoftheadvancedresinoiddia—mondwiresaw，electroplateddiamondwiresawanddiamond-impregnatedwiresawwerealsodescribedindetail．Keywords：wiresawingtechnology；looseabrasivewiresaw；resinoiddiamondwiresaw；el
5、ectroplateddiamondwiresaw；diamond—impregnatedwiresaw；development；technicalspecification上世紀(jì)中葉，單晶硅作為半導(dǎo)體生產(chǎn)的基礎(chǔ)材料使用超薄金剛石圓鋸片和超薄金剛石內(nèi)圓鋸片。直伴隨著半導(dǎo)體晶體管的發(fā)明以及硅集成電路的研制到上世紀(jì)9O年代，隨著電子工業(yè)的迅速發(fā)展，國(guó)際上成功引發(fā)了電子工業(yè)革命。當(dāng)初硅晶錠的鋸切主要為了解決大尺寸硅晶片的切割問(wèn)題逐漸采用了錢鋸①收稿日期：2013—04一lO作者簡(jiǎn)介：談耀膦(1936一)，男，高級(jí)工程師，長(zhǎng)期從事超硬材料科研和情報(bào)方面的工作。44切技術(shù)。線鋸切技術(shù)起初用的是游離
6、磨料線鋸，嗣后2游離磨料線鋸才發(fā)展了固結(jié)磨料線鋸。為了克服超薄金剛石內(nèi)圓鋸片的缺點(diǎn)，各國(guó)研制超薄金剛石內(nèi)圓鋸片半導(dǎo)體與太陽(yáng)能的大公司相繼致力于線鋸切技術(shù)的研究。上世紀(jì)8O年代瑞士HCTShapingSystem首上世紀(jì)6O年代，在大規(guī)模半導(dǎo)體的生產(chǎn)鏈中，硅先研制出用于光伏電池生產(chǎn)行業(yè)鋸切硅晶片的鋸床。晶片的鋸切成了發(fā)展生產(chǎn)的瓶頸。為了減少切縫損其基本原理是以運(yùn)動(dòng)著的細(xì)金屬線帶動(dòng)含有磨料的耗，超薄金剛石內(nèi)圓鋸片逐漸取代了普通的薄型金剛懸浮液而產(chǎn)生鋸切作用。金屬的運(yùn)動(dòng)速度在5～石圓鋸片，當(dāng)時(shí)最先進(jìn)的超薄金剛石內(nèi)圓鋸片的內(nèi)徑25m／see之間，以碳化硅為磨料，由于這項(xiàng)技術(shù)的采為203mm，外徑
7、為558mm，可同時(shí)切割兩個(gè)直徑為用使光伏電池硅晶片的厚度從330／~m減到了18O～75mm的硅晶錠，鋸片基體厚度僅為0．1mm，以電鍍220gm。最初使用的高強(qiáng)度細(xì)鋼線的直徑為160～方法固結(jié)325／400目的天然金剛石，鋸縫寬度僅為180／~m，為了盡可能降低切縫損耗，目前這一直徑已0．22mm[¨。降至12O～140btm[2]。該技術(shù)后來(lái)即被稱為游離磨直到上世紀(jì)末，大直徑超薄金剛石內(nèi)圓鋸片的切料線鋸切割?？p損耗可減少到30
