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《磁控濺射專業(yè)詞匯》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫(kù)。
1、TCO磁控濺射專業(yè)詞匯TCO（Transparentconductiveoxide）玻璃，即透明導(dǎo)電氧化物鍍膜玻璃，是在平板玻璃表面通過(guò)物理或者化學(xué)鍍膜的方法均勻鍍上一層透明的導(dǎo)電氧化物薄膜。AZOZnO：Al（Al-dopedZnO，Aluminum-dopedzincoxide）氧化銦錫ITOIndium-Tin-OxideIn2O3：SnO2氧化錫摻氟FTOSnO2：F其中AZO，ITO，F(xiàn)TO均為T(mén)CO的一種。磁控濺射Magnetronsputtering中頻MFMid-frequency直流
2、DCDirectcurrent交流ACAlternatingcurrent射頻RFRadiofrequency物理氣相沉積PVDPhysicalVaporDeposition化學(xué)氣相沉積CVDChemicalVaporDeposition等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVDPlasmaenhancedCVD雙平面陰極DoubleplanarCathode孿生陰極Twin-MagCathode旋轉(zhuǎn)陰極RotatableCathodeAZO陶瓷靶AZOceramictarget高純度靶highpurityt
3、arget透過(guò)率transmittance反射率reflectivity吸收率absorbtivity空氣質(zhì)量AMairmass面電阻sheetresistance輝光放電glowdischarge起輝電壓dischargevoltage打弧arcing離子轟擊ionbombardment靶中毒targetpoisoning載流子濃度carrierconcentration霍耳遷移率Hallmobility電阻率specificresistivity四探針（測(cè)量面電阻）Four-point-probe
4、托架carrier裝片臺(tái)Loadlocking進(jìn)口室Entrancechamber加熱室Heatingchamber傳送室transferchamber濺射室sputterchamber冷卻室Coolingchamber出口室Exitchamber冷卻系統(tǒng)coolingsystem抽氣系統(tǒng)pumpingsystem排氣裝置exhaust阻擋層Barrierfilm透明電極Transparentelectrode工藝氣體ProcessGas襯底溫度SubstrateTemperature濺射功率Sput
5、terpower功率密度Powerdensity動(dòng)態(tài)沉積速率dynamicdepositionrate/dynamicsputteringspeed預(yù)濺射presputtering濺射速率Sputterrate靶材利用率targetutilization靶材壽命targetlifetime洛倫茲力Lorentzforce磁場(chǎng)強(qiáng)度Magneticfieldstrength惰性氣體Noblegas（ArArgon）生產(chǎn)速率growingspeed薄膜結(jié)構(gòu)filmstructure熱電偶thermocoup
6、le靶材冷卻targetcooling本底真空basepressure粗真空roughvacuum1.01×105～1.33×103Pa高真空highvacuum1.33×10-1～1.33×10-6Pa超高真空ultrahighvacuum1.33×10-6～1.33×10-10Pa0.5%鹽酸dilutedhydrochloricacid刻蝕etching在線中頻磁控反應(yīng)濺射in-linereactiveMFmagnetronsputtering晶粒尺寸Grainsize陽(yáng)極，正極node陰極，負(fù)
7、極Cathode陰極防蝕CathodicProtection冷陰極真空規(guī)MPG薄膜電容規(guī)CDG質(zhì)量流量計(jì)MFCmassflowcontroller螺桿泵ScrewPump旋片泵RotaryVanePump羅茨泵RootsPump分子泵TurbomolecularPump漏率leakrate壓縮空氣compressedair節(jié)拍cycletime鎖閥Lockvalve泵組PumpUnit單晶硅Monocrystalsilicon晶體硅C-Si,crystalline-silicon微晶硅microcry
8、stalsilicon非晶硅amorphoussilicona-Si:H碲化鎘CdTeCadmium-Tellurid銅銦鎵硒CIGSCopperIndiumGalliumDiselenideCISCopper-Indium-Diselenide砷化鎵GaAsGallliumArsenid太陽(yáng)能薄膜電池thinfilmsolarcell非晶硅太陽(yáng)電池（a—si太陽(yáng)電池）amorphoussiliconsolarcell附著力（薄膜與基體間）adhesio
