GBT5238-1995鍺單晶

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1、ICS29.040.30H81暑81}中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T5238一1995鍺單曰日日Monocrystallinegermanium1995一10一17發(fā)布1996一03一01實(shí)施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T5238一1995鍺單晶代替GB5238-85Monocrystallinegermanium主腸內(nèi)容與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鍺單晶的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存.本標(biāo)準(zhǔn)適用于制作半導(dǎo)體器件等用的鍺單晶。引用標(biāo)準(zhǔn)GB5251鍺單晶電阻率直流四探針測量方法GB5252鍺單晶位錯(cuò)腐蝕坑密度測量方法GB5254鍺單晶晶向X光衍

2、射測定方法GB5255鍺單晶晶向光反射圖像測定方法GB5256鍺單晶導(dǎo)電類型測量方法GB5257鍺單晶少數(shù)載流子壽命直流光電導(dǎo)衰退測量方法產(chǎn)品分類3.1分類鍺單晶按導(dǎo)電類型分為n型和P型。根據(jù)電阻率允許偏差大小單晶分為三級，用英文大寫字母A,B,C表示。3.2牌號3.2.1鍺單晶的牌號表示為:FTGe一門()一<>其中:1—表示鍺單晶的生產(chǎn)方法。Cz表示直拉法，HB表示水平法。2-Ge表示鍺單晶。3—用n或p表示導(dǎo)電類型，括號內(nèi)的元素符號表示摻雜劑。4—用密勒指數(shù)表示晶向。2示例:a.Cz-Ge-n(Sb)-(111)表示晶向?yàn)?111)n型摻銻直拉鍺單晶。國家技術(shù)監(jiān).局1995一10-

3、17批準(zhǔn)1996一03一01實(shí)施標(biāo)準(zhǔn)分享網(wǎng)www.bzfxw.com免費(fèi)下載Gs/T5238一1995b.Cz-Ge-p(Ga)-(111)表示晶向?yàn)?111)p型摻稼直拉鍺單晶。規(guī)格鍺單晶的規(guī)格應(yīng)符合表1規(guī)定。表1導(dǎo)電類型摻雜劑直徑，mm直徑允許偏差，%不大于{長度.mmGa一In10^-5040^100Au+Ga(In))2010-50注:直徑允許偏差指同一單晶段的最大直徑和最小直徑之差與其平均直徑的比值的百分?jǐn)?shù).技術(shù)要求4.1物理參數(shù)4.1.1鍺單晶的電阻率參數(shù)應(yīng)符合表2規(guī)定。表2電阻率范圍電阻率允許偏差.%不大于斷面電阻率不均導(dǎo)電類型摻雜荊n.cmABC勻度.腸.不大于Ca0.1

4、^45PIn0.1-4515202510Au+Ga(In)0.5^5nSb0.1-452鍺單晶的少數(shù)載流子壽命應(yīng)符合表3規(guī)定，高速開關(guān)管和功率開關(guān)管用的摻金單晶，少數(shù)載流子壽命分別為不大于。.2As和0.2^-0.5PSI表3少數(shù)載流子壽命.pa不小于電阻率范圍，n·cmn型p型0.1-0.9>0.9-2.510080>2.5-4.0150120>4.0-8.0220200>8.0^16350300>16-456005004.2晶向4.2.1鍺單晶的晶向?yàn)?111)或由供需雙方商定。4.2.2鍺單晶的晶向偏離應(yīng)不大于20,4.3晶體完整性4.3.1鍺單晶的位錯(cuò)密度范圍分成四類:<1000

5、,1000^-3000,2000^-4000和3000^-5000cm-'.4.3.2鍺單晶不得有位錯(cuò)堆、星形結(jié)構(gòu)、裂紋和氣孔。小角晶界和位錯(cuò)排每根的長度不得大于3mm,總長度不得超過單晶直徑的六分之一。2GB/T5238一19954.4晶體外形鍺單晶兩端面應(yīng)平整，邊緣不得有長度和寬度大于3mm,深度大于1mm的缺損.4.5其他需方如有特殊要求，供需雙方另行商定。5試驗(yàn)方法5.1鍺單晶導(dǎo)電類型測量按GB5256進(jìn)行。5.2鍺單晶電阻率測量按GB5251進(jìn)行。5.3鍺單晶晶向測量按GB5254或GB5255進(jìn)行。5.4鍺單晶位錯(cuò)密度測量按GB5252進(jìn)行.5.5鍺單晶少數(shù)載流子壽命測量按G

6、B5257進(jìn)行。5.6鍺單晶外形尺寸用分度值為。.2mm游標(biāo)卡尺或精度相當(dāng)?shù)牧烤邷y量。5.了鍺單晶的外觀質(zhì)量用目視檢查。6檢驗(yàn)規(guī)則6.1檢查和驗(yàn)收6.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方技術(shù)監(jiān)督部門進(jìn)行檢驗(yàn)，保證產(chǎn)品質(zhì)a符合本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，并填寫質(zhì)量證明書.6.1.2需方可對收到的產(chǎn)品進(jìn)行檢驗(yàn).若檢驗(yàn)結(jié)果與本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定不符時(shí)，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起三個(gè)月內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。6.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收。每批由10--20根同一牌號的單晶組成。www.bzfxw.com6.3檢驗(yàn)項(xiàng)目供方應(yīng)對每根單晶的導(dǎo)電類型、電阻率、晶向、位錯(cuò)密度、少數(shù)載流子壽命、晶體外形尺寸進(jìn)行檢驗(yàn)。6.4抽樣仲裁抽樣每批產(chǎn)品隨機(jī)

7、抽取單晶根數(shù)的20%.1o根以下抽取單晶不超過2根.6.5檢驗(yàn)結(jié)果判定若產(chǎn)品的導(dǎo)電類型不合格，則判該批產(chǎn)品為不合格。其他項(xiàng)目檢驗(yàn)結(jié)果若有一項(xiàng)不合格，則加倍取樣對該不合格項(xiàng)目進(jìn)行復(fù)驗(yàn)。若復(fù)驗(yàn)結(jié)果仍不合格，則按仲裁結(jié)果將產(chǎn)品降級或退貨.7標(biāo)志、包裝、運(yùn)翰和貯存7.1產(chǎn)品應(yīng)用清潔的塑料薄膜逐根包裝，裝入適宜的包裝盒內(nèi)，并采取防護(hù)措施，以防損壞產(chǎn)品.7.2產(chǎn)品外運(yùn)時(shí)，將裝有產(chǎn)品的包裝盒放入木箱內(nèi)，并用防展填料塞緊，箱外應(yīng)標(biāo)有“小心輕放”及“