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《微波脈沖氮氣等離子體發(fā)射光譜診斷技術(shù)研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫。
1、AbstractMicrowavegeneratingplasmastechnologyisappliedtoindustryproductionveryearly.Recentlypeoplearemoreandmoreinterestedinpulsedmicrowavegeneratinglargeareauniformplasmas.Thispaperismainlystudyingonpulsedmicrowavedischargegeneratingnitrogenplasmasemission
2、spectrum,inpurposestoderivethevariationofdifferenttemperatures(vibrationaltemperature,rotationaltemperatureandelectronicexcitationtemperature)ofnitrogenplasmasindifferentdischargeconditions(differentpulsewidthanddifferentdischargepressures)andtrytoexplaint
3、herelationsofthosetemperatureswiththevariationofdifferentdischargeconditions.Astheresolutionofthespectroscopicinstrumentisnotabletodistinguishtherotationalpeaks,thestudiesonvibrationaltemperatureandrotationaltemperaturemainlyappliesthemethodsofsimulation.A
4、ndtheelectronicexcitationtemperaturedependsonthatthedischargeisstrongenoughtoproducetransitionsoftwostatesofelectrons.Thevariationofvibrationaltemperatureissimilartoelectronicexcitationtemperatureinexperiments,butthevariationofrotationaltemperatureisdiffer
5、entfromvibrationaltemperature.Andtheremaybeaprocessofenergiesexchangeinthosethreetemperatures.Keywords:VibrationaltemperatureRotationaltemperatureElectronicexcitationtemperatureMicrowave-pulseddischargeSpectrosopicmeasurement摘要IAbstractII1引言1.1論文的背景及研究意義(1
6、)1.2國內(nèi)外研究概況(1)1.3本文主要內(nèi)容(3)2等離子體理論基礎(chǔ)2.1等離子體描基本性質(zhì)(4)2.2等離子體描述方法介紹(6)2.3幾種典型的非平衡等離子體(11)2.4本章小結(jié)(12)3發(fā)射光譜診斷技術(shù)基礎(chǔ)3.1發(fā)射光譜診斷技術(shù)介紹(13)3.2利用原子發(fā)射光譜的特性來測量各類參數(shù)的一些具體做法…??…(14)3.3雙原子分子發(fā)射光譜介紹㈤(17)3.4本章小結(jié)(24)4微波脈沖N等離子體測量過程4.1實驗示意圖與裝置參數(shù)(25)4.2測量方法(26)4.3實驗結(jié)果與討論(33)4.4本章小結(jié)(36
7、)5總結(jié)與展望5.1總結(jié)(39)5.2展望(39)致謝(41)參考文獻(xiàn)(42)附錄攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文(47)1引言1.1論文的背景及研究意義微波等離子體在很早的時候就應(yīng)用在工業(yè)生產(chǎn)和基礎(chǔ)研究屮，例如氣體擊穿[M],材料表而處理⑺等，微波產(chǎn)生等離子體的方式較直流或者交流感應(yīng)放電、電弧等離子體的優(yōu)勢在于微波更容易產(chǎn)牛大面積均勻等離子體。但是微波脈沖式放電產(chǎn)牛的等離子體的實驗并不多，所以對這類等離子體的參數(shù)情況了解也比較少。最近的一些研究表明微波脈沖產(chǎn)生的等離子體具有一些新的特性2°],例如等離子體的
8、持續(xù)時間超過了微波脈寬時間，等離子體離子飽和電流在微波脈沖消失后的幾個微秒到幾十個微秒內(nèi)會持續(xù)一段時間等現(xiàn)象。實驗中采用非入侵式的發(fā)射光譜診斷方式是因為發(fā)射光譜診斷技術(shù)是對等離子體過程進(jìn)行測量和診斷的最常用方法之一。發(fā)射光譜的譜線特征提供了等離子體中許多化學(xué)和物理過程的豐富信息，通過測量光譜譜線的波長和強度，就能識別等離子體中存在的各種粒子和中性基團。發(fā)射光譜主要有以下一些優(yōu)點：①采用非侵入式方法，光譜儀安裝在沉
