自動光學(xué)檢測儀

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1、用在多層板的內(nèi)外層或高密度雙面板表面質(zhì)量的檢查。但是在其它方面的應(yīng)用也比較多，特別是對高密度互連結(jié)構(gòu)（HDI）微通孔和表面的檢查。而且還應(yīng)用在IC封裝和裝配中的印制板的檢查。AOI很有效地應(yīng)用諸多方面，為提高印制板的表面質(zhì)量，發(fā)揮了重要的作用。一．底片的檢查???自動光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計是根據(jù)底片檢查工藝特性，采用透射的模式即將需要檢查的底片放置在玻璃桌臺上，而不采用抽真空臺面，而是通過玻璃桌面的下的光束透過玻璃進(jìn)行對底片的掃描來檢查底片相應(yīng)位置上的缺陷。使用這種方法對底片進(jìn)行表面質(zhì)量的檢查，為更加清晰的將印制板表面

2、缺陷呈現(xiàn)出來，對該系統(tǒng)的放大裝置作了很大的改進(jìn)，達(dá)到了既是印制板表面的很小的缺陷都能檢查出來。當(dāng)在印制板生產(chǎn)過程中使用該系統(tǒng)時，就能將印制板面的5μm和5μm以下的缺陷檢查出來，并且能夠適當(dāng)?shù)膮^(qū)別錯誤的真假，就是采用高級的識別系統(tǒng)大大的減少故障缺陷的發(fā)生。　　在反射模式將白色的紙放置在光具（底片）之下,介于光具透明和不透明范圍之間，以提高其對比度。經(jīng)過交替的變換達(dá)到或接近所使用的標(biāo)準(zhǔn)的AOI系統(tǒng)。這種方法不是通用的的，更多的傾向是由于微小的劃傷，才會出現(xiàn)假的缺陷報告。另外,容易產(chǎn)生錯誤的是由于光具表面銀粒子無光

3、澤，再通過AOI的反射模式，特別是焦點不是在光具銀乳膠膜上，就很容易出現(xiàn)假的讀出。而表面無光澤的粒子致使真空度下降。這些粒子是甲基丙烯酸樹脂，直徑大約7微米，它能夠使光發(fā)出散光。　　如果AOI是開始并記錄應(yīng)該發(fā)現(xiàn)的缺陷，唯一的其缺陷的尺寸應(yīng)比10微米要大，這樣用它來檢查就能解決所存在的質(zhì)量問題，而且還有可能解決對精細(xì)導(dǎo)線（S/L=30/50微米）的檢查。對于有阻抗要求的導(dǎo)線寬度公差控制不會比±5-10微米變化更大是可能的。而AOI的靈敏度不會記錄這樣的線寬變化。檢查光具（即底片）通常應(yīng)該在清潔的、黃光室內(nèi)進(jìn)行，

4、不建議到AOI作業(yè)區(qū)進(jìn)行檢查，應(yīng)此區(qū)域清潔度不夠。因此，實際上AOI機不是檢查內(nèi)層或外層的光具膜的機器。.AOI實際上也可以檢驗玻璃底版的圖像質(zhì)量，即玻璃上鍍鉻膜。這些底版通常制作和檢驗是通過轉(zhuǎn)包公司再送交PWB制造廠的。典型的要求就是底版上的缺陷的尺寸在5微米或更大些。許多使用玻璃底版的用戶也使用檢查玻璃的工具進(jìn)行檢查，以延長使用的壽命。但使用玻璃底版也很貴?！　〔ＡУ装嬷辽僖毓獍俅我陨希畹湫偷拇螖?shù)為200-500次，就必須使用AOI對玻璃底版圖像進(jìn)行質(zhì)量檢查，還可以通過曝光試驗，如底版的圖像好就可以接著

5、使用，或者進(jìn)行修整。　二．覆蓋有光敏抗蝕劑的板在進(jìn)行顯影前的潛像質(zhì)量的檢查??這一步最基本的想法就是在濕處理前，對板的圖像與孔對準(zhǔn)度進(jìn)行檢查，及早發(fā)現(xiàn)如有質(zhì)量缺陷就很容易得到解決。但是，檢查的這種類型膜層的潛像不是廣泛地，這是因為板膜層的顏色均勻而且差別很大，特別在對已曝光和非曝光范圍的膜層，即使用特殊過濾器也是較難發(fā)現(xiàn)質(zhì)量問題，其察覺率是較低的。　　三．在銅的表面檢查顯影后的圖像質(zhì)量　　在印制板的銅的表面檢查顯影后的圖形使用的更為普遍。對顯影后的圖形檢查，主要側(cè)重點檢查的是圖形的對準(zhǔn)程度和質(zhì)量缺陷，同時也可以

6、通過對顯影圖形的檢查，也可以及時發(fā)現(xiàn)光具（底片）圖像是否有缺陷或其它如灰塵、劃傷或沾污，或曝光機存在的其它問題。使用AOI對表面圖形的檢查，就是利用圖形介于光敏抗蝕膜的顏色反射能力低和銅顏色反射能力高的差別進(jìn)行檢查。因為抗蝕劑層的顏色發(fā)暗，因此兩者比較容易好對比。在多數(shù)的情況下，所使用的抗蝕劑的顏色是蘭色的或帶蘭色-綠色顏色關(guān)型，那一種類型的顏色差別更大，需經(jīng)過曝光后的圖像所形成的那種顏色更為強烈，其檢查的效果就比較理想。通過AOI的濾色系統(tǒng)就可以將蘭色轉(zhuǎn)換成黑色，提高與銅表面顏色的對比程度。通常在AOI系統(tǒng)內(nèi)

7、裝有“旋轉(zhuǎn)式濾色器”的顏色轉(zhuǎn)換裝置，進(jìn)行適當(dāng)?shù)倪x擇對圖形進(jìn)行優(yōu)化處理，以提高對比度。近來利用先進(jìn)的計算機系統(tǒng)，使AOI系統(tǒng)的改進(jìn)，從而獲得比較高的圖像對比程度。特別是該系統(tǒng)過濾器的選擇，將更清晰的標(biāo)定輪廓保存在文件中，并更大的改善了檢查底片到檢測錯誤以避免發(fā)生錯誤的能力。四．檢查導(dǎo)體電路圖形（蝕刻后）的質(zhì)量　　將抗蝕膜層退除后，檢查導(dǎo)體銅電路圖形最廣泛的是使用AOI。在這方面的應(yīng)用是非常普遍的，要獲得圖像的清晰度的提高，完全決定于過濾器的適當(dāng)選擇，使銅導(dǎo)體表面呈現(xiàn)出不同的變換。最多的情況，AOI系統(tǒng)檢查蝕刻后的

8、導(dǎo)線寬度，這就很容易涉及到多層板內(nèi)層的導(dǎo)體表面形態(tài)和導(dǎo)線邊壁的形態(tài)的類似的顯現(xiàn)，這種形態(tài)決定于蝕刻的工藝或微蝕刻的工藝特性。特別是經(jīng)過電鍍的導(dǎo)體線路的經(jīng)過蝕刻后形態(tài)。同樣對多層板的外層的導(dǎo)體線路蝕刻時，更需要進(jìn)行選擇和調(diào)整，以確保導(dǎo)線蝕刻后的形態(tài)達(dá)到平衡。特別經(jīng)過混合加工的表面，即涂OSP和鍍金，用自動檢查系統(tǒng)就顯得困難。雖然如此，但該系統(tǒng)裝備有人工智能，通過適當(dāng)?shù)膽?yīng)用調(diào)節(jié)規(guī)則，它能自