自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)儀.doc

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1、用在多層板的內(nèi)外層或高密度雙血板表面質(zhì)量的檢查。但是在其它方面的應(yīng)用也比較多，特別是對(duì)高密度互連結(jié)構(gòu)（HDD微通孔和表面的檢查。而且還應(yīng)用在IC封裝和裝配中的印制板的檢查。AOI很有效地應(yīng)用諸多方面，為提高印制板的表面質(zhì)量，發(fā)揮了重要的作用。%1.底片的檢查自動(dòng)光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是根據(jù)底片檢查工藝特性，采用透射的模式即將需要檢查的底片放置在玻璃桌臺(tái)上，而不采用抽真空臺(tái)面，而是通過(guò)玻璃更面的下的光束透過(guò)玻璃進(jìn)行對(duì)底片的掃描來(lái)檢查底片相應(yīng)位置上的缺陷。使用這種方法對(duì)底片進(jìn)行表面質(zhì)量的檢查，為更加清晰的將印制板表面缺陷

2、呈現(xiàn)出來(lái)，對(duì)該系統(tǒng)的放大裝置作了很大的改進(jìn)，達(dá)到了既是印制板表面的很小的缺陷都能檢杳出來(lái)。當(dāng)在印制板生產(chǎn)過(guò)程中使用該系統(tǒng)時(shí)，就能將印制板面的5pn】和5囚】】以下的缺陷檢查出來(lái)，并且能夠適當(dāng)?shù)膮^(qū)別錯(cuò)誤的真假,就是采用高級(jí)的識(shí)別系統(tǒng)大大的減少故障缺陷的發(fā)生。在反射模式將白色的紙放置在光具（底片）之下,介于光具透明和不透明范圍之間，以提高其對(duì)比度。經(jīng)過(guò)交替的變換達(dá)到或接近所使用的標(biāo)準(zhǔn)的A01系統(tǒng)。這種方法不是通用的的，更多的傾向是由于微小的劃傷，才會(huì)出現(xiàn)假的缺陷報(bào)告。另外，容易產(chǎn)生錯(cuò)誤的是由于光具表面銀粒子無(wú)光澤

3、，再通過(guò)AOI的反射模式，特別是焦點(diǎn)不是在光具銀乳膠膜上，就很容易出現(xiàn)假的讀出。而表面無(wú)光澤的粒子致使真空度下降。這些粒子是甲基丙烯酸樹(shù)脂，直徑大約7微米，它能夠使光發(fā)出散光。如果A01是開(kāi)始并記錄應(yīng)該發(fā)現(xiàn)的缺陷，唯一的其缺陷的尺寸應(yīng)比10微米要大，這樣用它來(lái)檢查就能解決所存在的質(zhì)量問(wèn)題，而旦還有?可能解決對(duì)精細(xì)導(dǎo)線（S/L=30/50微米）的檢查。對(duì)于有?阻抗要求的導(dǎo)線寬度公差控制不會(huì)比±5-10微米變化更大是可能的。而AOI的靈敏度不會(huì)記錄這樣的線寬變化。檢查光具（即底片）通常應(yīng)該在清潔的、黃光室內(nèi)進(jìn)行，

4、不建議到AOI作業(yè)區(qū)進(jìn)行檢查，應(yīng)此區(qū)域清潔度不夠。因此，實(shí)際上AOI機(jī)不是檢查內(nèi)層或外層的光具膜的機(jī)器。.AOI實(shí)際上也可以檢驗(yàn)玻璃底版的圖像質(zhì)量，即玻璃上鍍銘膜。這些底版通常制作和檢驗(yàn)是通過(guò)轉(zhuǎn)包公司再送交PWB制造廠的。典型的要求就是底版上的缺陷的尺寸在5微米或更大些。許多使用玻璃底版的用戶(hù)也使用檢查玻璃的工具進(jìn)行檢查，以延長(zhǎng)使用的壽命。但使用玻璃底版也很貴。玻璃底版至少要曝光百次以上，最典型的次數(shù)為200-500次，就必須使用AOI對(duì)玻璃底版圖像進(jìn)行質(zhì)量檢查，還可以通過(guò)曝光試驗(yàn)，如底版的圖像好就可以接著使

5、用，或者進(jìn)行修整。%1.覆蓋有光敏抗蝕劑的板在進(jìn)行顯影前的潛像質(zhì)量的檢查這一步最基本的想法就是在濕處理前，對(duì)板的圖像與孔對(duì)準(zhǔn)度進(jìn)行檢查，及早發(fā)現(xiàn)如仃質(zhì)量缺陷就很容易得到解決。但是，檢查的這種類(lèi)型膜層的潛像不是廣泛地，這是因?yàn)榘迥拥念伾鶆蚨也顒e很大，特別在對(duì)已曝光和非曝光范圍的膜層，即使用特殊過(guò)濾器也是較難發(fā)現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題，其察覺(jué)率是較低的。%1.在銅的表面檢杳顯影后的圖像質(zhì)量在印制板的銅的表面檢查顯影后的圖形使用的更為普遍。對(duì)顯影后的圖形檢查，主要側(cè)重點(diǎn)檢查的是圖形的對(duì)準(zhǔn)程度和質(zhì)量缺陷，同時(shí)也可以通過(guò)對(duì)顯影

6、圖形的檢查，也可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)光具（底片）圖像是否有缺陷或其它如灰塵、劃傷或沾污，或曝光機(jī)存在的其它問(wèn)題。使用AOI對(duì)表面圖形的檢查，就是利用圖形介于光敏抗蝕膜的顏色反射能力低和銅顏色反射能力高的差別進(jìn)行檢查。因?yàn)榭刮g劑層的顏色發(fā)暗，因此兩者比較容易好對(duì)比。在多數(shù)的情況下，所使用的抗蝕劑的顏色是蘭色的或帶蘭色-綠色顏色關(guān)型，那一種類(lèi)型的顏色差別更大，需經(jīng)過(guò)曝光后的圖像所形成的那種顏色更為強(qiáng)烈，其檢查的效果就比較理想。通過(guò)AOI的濾色系統(tǒng)就可以將蘭色轉(zhuǎn)換成黑色，提高與銅表面顏色的對(duì)比程度。通常在AOI系統(tǒng)內(nèi)裝有“旋

7、轉(zhuǎn)式濾色器”的顏色轉(zhuǎn)換裝置，進(jìn)行適當(dāng)?shù)倪x擇對(duì)圖形進(jìn)行優(yōu)化處理,以提高對(duì)比度。近來(lái)利用先進(jìn)的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，使AOI系統(tǒng)的改進(jìn)，從而獲得比較高的圖像對(duì)比程度。特別是該系統(tǒng)過(guò)濾器的選擇，將更清晰的標(biāo)定輪廊保存在文件中，并更大的改善了檢查底片到檢測(cè)錯(cuò)誤以避免發(fā)生錯(cuò)誤的能力。%1.檢查導(dǎo)體電路圖形（蝕刻后）的質(zhì)量將抗蝕膜層退除后，檢查導(dǎo)體銅電路圖形坡廣泛的是使用AOU在這方而的應(yīng)用是非常普遍的，要獲得圖像的清晰度的提高，完全決定于過(guò)濾器的適當(dāng)選擇，使銅導(dǎo)體表而呈現(xiàn)出不同的變換。最多的情況，AOI系統(tǒng)檢查蝕刻后的導(dǎo)線寬度，

8、這就很容易涉及到多層板內(nèi)層的導(dǎo)體表面形態(tài)和導(dǎo)線邊壁的形態(tài)的類(lèi)似的顯現(xiàn)，這種形態(tài)決定于蝕刻的工藝或微蝕刻的工藝特性。特別是經(jīng)過(guò)電鍍的導(dǎo)體線路的經(jīng)過(guò)蝕刻后形態(tài)。同樣對(duì)多層板的外層的導(dǎo)體線路蝕刻時(shí)，更需要進(jìn)行選擇和調(diào)整，以確保導(dǎo)線蝕刻后的形態(tài)達(dá)到平衡。特別經(jīng)過(guò)混合加工的表面，即涂OSP和鍍金，用自動(dòng)檢查系統(tǒng)就顯得困難。雖然如此，但該系統(tǒng)裝備有人工智能，通過(guò)適當(dāng)?shù)膽?yīng)用調(diào)節(jié)規(guī)則，它能自動(dòng)地檢測(cè)電路和板而范圍的