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《掃描電鏡原理及應(yīng)用-中南大學(xué)研究生材料表征實踐課件(徐).pdf》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、FEI公司HITACHI公司JEOL公司Quanta200X-450JSM5600LVQuanta200FEGX-570JCM5700Quanta400X-650JSM6610AQuanta400FEGS-2380JSM6510AQuanta400HVS3400NJSM6360LVQuanta600SU1510JASM-6200FQuanta650SU6600JSM-6500FQuanta650FEGSU70JSM-6700FQuanta200HVJSM-6701FSirion200JSM-7000FSirion
2、400JSM-7001FSirionNCJSM-IT300典型機型2.掃描電鏡的基本特點和工作原理各種信號成像的分辨率（單位：nm）信號二次電子背散射電子吸收電子特征X射線俄歇電子分辨率5～1050～200100～1000100～10005～102.4.1原理電子槍的熱陰極（或場發(fā)射陰極）發(fā)出的電子受陽極電壓（1-50kV）加熱并形成筆尖狀電子束其最小直徑為10-50μm量級（場發(fā)射槍中為100-1000?）。經(jīng)過二或三個（電）磁透鏡的作用，在樣品表面會聚成一個直徑可小至10-100?的細束，也稱電子探針,攜帶束
3、流量為10-10-10-12A。有時根據(jù)某些工作模式的要求，束流可增至電10-8一10-9A，相應(yīng)的束直徑將變成0.1-1μm。在末透鏡上部的掃描線圈作用下，細電子束在樣品表面作光柵狀掃描，即從左上方向右上方掃，掃完一行再掃其下相鄰的第二行，直到掃完一幅（或幀）。如此反復(fù)運動。SpotSize1kV5kV15kV30kVWD=2mmWD=4mmWD=5mmWD=6.2mmnmpAnmpAnmpAnmpA12.50.72.331.591.52022.55.22.3181.5331.54032.7202.4712.2
4、1301.714042.8902.53102.55501.855053.13903.714003.522002220063.614004.77200593003.88500TheoreticalprobesizeinnmatWD=10mm:Spot/HT30kV5kV2kV1kV11024406121948771103409716022048220032045051704306709406370900140020007810200031004400819004500720010000TheoreticaTHEOR
5、ETICALPROBESIZEINnmATWD=5mmSpot/HT30kV5kV2kV1kV17203050215365885330731201704611502403405130320450710628067011001500760015002300330081400340054007600DepthPenetration(Microns)vs.AcceleratingVoltageandAtomicNumberZSYMBOLELEMENT1KV5KV10KV20KV30KV4BeBeryllium.04.6
6、1.85.811.55CCarbon.03.41.34.28.411NaSodium.081.13.611.522.712MgMagnesium.04.62.06.312.413AlAluminum.03.41.34.28.314SiSilicon.03.51.54.79.319KPotassium.091.34.313.626.820CaCalcium.05.72.37.514.622TiTitanium.02.3.82.85.524CrChromium.01.2.51.73.424MnMaganese.01.
7、2.51.73.426FeIron.01.2.51.63.127CoCobalt.01.1.41.42.928NiNickel.01.1.41.42.829CuCopper.01.1.51.52.930ZnZinc.01.2.61.83.632GeGermanium.02.3.82.65.138SrStrontium.04.51.75.510.740ZrZirconium.02.2.72.24.342MoMolybdenum.01.1.41.42.746PdPalladium.01.1.41.22.447AgSi
8、lver.01.1.41.42.779AuGold.01.1.3.81.62.5.2入射電子在樣品中的擴散2.5.3原子序數(shù)不同時電子束與樣品的相互作用-1LowZHiZ2.5.3原子序數(shù)不同時電子束與樣品的相互作用-22.5.3加速電壓不同時電子束與樣品的相互作用-32.5.3角度不同時電子束與樣品的相互作用-42.5.4二次電子成像2.5.5背散射電子成像2.5.6S
