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1、2021/7/251單晶斷棱情況分析2021/7/252單晶斷棱的常見分類單晶斷棱的原因分析如何減少單晶斷棱單晶爐連續(xù)成晶不良怎么辦怎么才算是連續(xù)成晶不良連續(xù)成晶不良要檢查哪幾個方面目錄Contents2021/7/253單晶斷棱常見分類放肩后200mm內卡棱單晶等徑中下部卡棱四條棱線同時斷四條棱線不同時斷2021/7/254放肩后200mm內卡棱單晶等徑中下部卡棱四條棱線同時斷四條棱線不同時斷引細頸放肩轉肩存在問題熱場溫度梯度存在問題熔體肯定存在雜質熔體內存在高熔點雜質單晶斷棱原因分析2021/7/255幾乎所有斷棱都和雜質有關，因為單晶的生長力是很強的，除非有
2、外來異向晶核的侵入晶體生長前沿和晶體內產生了較大熱內應力（超出晶體彈性形變的范疇，產生范性形變）才會破壞單晶的無位錯生長。盡量選用好的硅原料，不用或少用堝底料，選用優(yōu)質涂鋇坩堝，原料化腐清洗處理的好，爐子排氣排的好，工藝操作做的細，斷棱現象肯定會大大降低。如何減少單晶斷棱2021/7/256引晶不好未完全消除位錯，在放肩或之后工序中會卡棱，但據說在等徑400以后這個原因就可以消除了。溫度波動太厲害，強大的熱沖擊或爐體機械方面的干擾引起斷棱，一般是4條一起斷；不同的是熱場波動棱線逐漸消失，機械擾動斷棱有很明顯的痕跡。如何減少單晶斷棱2021/7/257在拉晶過程中揮
3、發(fā)物不能及時排出，形成小顆粒落入熔體中，顆粒通過熔體傳送到晶體生長界面，導致斷棱，但未必是四條棱一起斷。溫度控制不好，引晶位錯排不好，熱場設計不好，等徑參數設置不好等因素會導致四條棱一起斷。如何減少單晶斷棱2021/7/258原材料至關重要。籽晶長短，操作技能，（前部斷線）熱場梯度。（中部斷線）溫度補償不夠（尾部斷線）最后，有雜質必定斷線。如何減少單晶斷棱2021/7/259概念——怎么才算是連續(xù)成晶不良（1）連續(xù)兩到三爐不成晶；（2）統(tǒng)計最近一個月的成晶率，排序名次靠后四分之一到三分之一并且成晶率低于警戒成晶率的爐臺。警戒成晶率=質量目標成晶率×0.8。單晶爐連
4、續(xù)成晶不良2021/7/2510連續(xù)成晶不良要做好以下幾點數據分析方面。①檢查計算機控制參數，特別是等徑參數。②檢查堝升跟蹤比例是否合適③檢查氬氣流量、角度閥開度、爐內壓力、速度突停方面是否有異常。單晶爐連續(xù)成晶不良2021/7/2511連續(xù)成晶不良要做好以下幾點數據分析方面。④檢查引晶操作是否合格。（引晶拉速是否達到要求：最高拉速段的速度必須在3-6mm/min之間，并且保持這種拉速的引晶長度應大于50mm。）⑤檢查放肩操作有無異常。（整個放肩過程所用的時間，與正常爐臺比較，應無太大差距，同時放肩過程速度溫度不能太大波動）單晶爐連續(xù)成晶不良2021/7/2512
5、連續(xù)成晶不良要做好以下幾點數據分析方面。⑥檢查實際拉速與設定拉速曲線的差距（轉肩后的200mm以內，如果兩者相差太大，原因在于操作工操作不合格，需要操作工提高技術。200mm以后的拉速差距大，則是計算機參數不合理，溫度參數不合適的可能性更大。頭部200mm以內的差距應小于0.3mm/min。200mm以后應小于0.1mm/min。）單晶爐連續(xù)成晶不良2021/7/2513連續(xù)成晶不良要做好以下幾點數據分析方面。⑦檢查拉速運行和溫度曲線的平穩(wěn)性等徑時拉速的波動幅度，在一個中短的時間段內（10-30分鐘）波動幅度以小于0.4mm/min為宜，能夠小于0.2mm/min
6、則更好。波動幅度過大的，要從兩個方面找原因，一是可能聶耳根的信號波動過大（也有可能是晶體晃動）；二是計算機的參數不合適。單晶爐連續(xù)成晶不良2021/7/2514連續(xù)成晶不良要做好以下幾點數據分析方面。⑦檢查拉速運行和溫度曲線的平穩(wěn)性如果溫度走勢明顯異常，要綜合考慮，分析原因。原因一般有兩個方面，第一種是由于參數不合適、操作失誤等引起，第二種是縱向溫度梯度不正常所導致。單晶爐連續(xù)成晶不良2021/7/2515連續(xù)成晶不良要做好以下幾點數據分析方面。⑧檢查泄漏率及泵抽空能力檢測泵自身的極限真空度，以及達到極限真空所需的時間。如果檢測泵的抽力確實有問題，可以首先采取的措
7、施是：清洗泵腔、更換新泵油。如仍不行，則需進行檢修或更換真空泵。單晶爐連續(xù)成晶不良2021/7/2516連續(xù)成晶不良要做好以下幾點數據分析方面。⑧檢查泄漏率及泵抽空能力檢測是否是熱場吸潮或沒有煅燒干凈。對此的判斷方法是，將熱場全部拆出，對空爐膛進行抽空，如果能夠在正常時間范圍內抽空達標，則單晶爐基本上沒有問題，是熱場有問題，這時需要對熱場進行真空煅燒。單晶爐連續(xù)成晶不良2021/7/2517連續(xù)成晶不良要做好以下幾點數據分析方面。⑧檢查泄漏率及泵抽空能力必須排除單晶爐本身存在的泄漏現象。單晶爐連續(xù)成晶不良2021/7/2518連續(xù)成晶不良要做好以下幾點2.從熱場顏
8、色判斷異常
