資源描述：
《微細電火花成形加工設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、試驗研究現(xiàn)代制造工程2010年第4期微細電火花成形加工設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)研究付偉1’2，王先逵1，曹鳳國2，李勇1，楊大勇2(1清華大學精密儀器與機械學系，北京100084；2北京市電加工研究所，北京100083)摘要：基于微細電火花加工的要求，對微細電火花成形加工設(shè)備中的關(guān)鍵技術(shù)進行研究，成功研制了一套高精度的微細放電加工設(shè)備產(chǎn)品，包括一臺微細電火花加工機床和一臺精密脈沖電源。優(yōu)化機床關(guān)鍵零／部件的結(jié)構(gòu)后，機床的變形小，運動精度高；電源放電穩(wěn)定，控制精確。經(jīng)加工試驗表明，該設(shè)備加工效果較好，加工精度和穩(wěn)
2、定性較高，加工出的窄槽工件的尺寸精度可達到5
3、Lm，加工直徑為妒00¨皿的小孔，其圓度誤差達到3¨皿，可滿足微細電火花加工的要求。關(guān)鍵詞：微細電火花加工；設(shè)備；機床；脈沖電源；精密中圖分類號：7rG66l文獻標識碼：A文章編號：167l_3133(2010)04刪l—04Researchonkeytechnolo西esofnlicroEDMequipmentFuweil”，wANGxi柚．kuil，cAoFeng．gIl02，uYon91，YANGDa．yon92(1DepaItmentofPrec
4、isionInstmments鋤dMechaIlolo舒，Tsin曲uaUniVers毋，Beijing100084，Chim；2Beij噸InstituteofElectm—Inachin堍，Beijing100083，Chi腿)Abstract：-11lekeytechnologi髓of‰micmEDM(ElectricalDisch嘲eMachiIIiIlg)eqllipment眥瑚earchedk湖帆me靜quire眥n乜ofmic∞EDM．A鰍of越cr0EDMeqIlipmentisde
5、veloped8ucc嘲砌y，includillgaprecisi∞InicmEDMmclli鵬t00l明dapullse叫骶rsupply．-11les缸uctm瑚0f∞mekeypansofthet00lamde8i印edoptimaJly，∞tllatith鸛averysmallde-fb皿ali∞們dahi咖n烈i∞precisi∞．111epo骶r8upply啪rkss幽y，witlIa900dpe面刪冊ce0fdischarge鋤dconⅡD1．11lr吣曲maclliIlingexpe
6、riments，學00dmc址niI瞎e伍ect8a地obtainedstably：tllediIne嚙ionermr“tlleInicmslotis5Ⅳn蚰dtllem吼d-n嘲e珊rofmemicmhole(wh讎di鋤eterj8300腳)isbdow3岬．It即啷t11attheIequirementsofmieroEDMwillbemetw每UwitIltlljstype0fequipI孫ent．Keywords：micmEDM；eqtlipmem；machinetool；puI∞胛fw盯
7、舢pply；precisi∞0引言電火花加工利用電極和工件間的火花放電產(chǎn)生瞬間高溫來去除材料，屬于非接觸式加工，電極和工件間幾乎沒有宏觀作用力，因此非常適用于微細加工。隨著技術(shù)的進步，工業(yè)中產(chǎn)品小型化、精密化的要求越來越高。目前，微細電火花加工技術(shù)在航空航天、醫(yī)學、生物技術(shù)、微機械和微電子等領(lǐng)域中的應(yīng)用越來越廣，很多國家都非常重視該技術(shù)的研究，并取得可喜成果【l引。微細電極的制造是微細電火花加工中的一個關(guān)鍵技術(shù)。隨著光刻、電鑄和注塑(“t}Io伊叩llie，Gal觚o-fo咖ung，A上’fo咖un
8、g，uGA)、電極反拷和電極在線放電磨削等電極制作工藝的不斷進步和趨于成熟，使得微細電火花加工得以實現(xiàn)，同時推動了其工程化，使得微細電火花加工設(shè)備走向產(chǎn)品化。目前國外已經(jīng)開發(fā)出微細電火花加工設(shè)備，如日本松下精機開發(fā)的機床，可以實現(xiàn)尺寸達lo岬的微細孔和窄縫的穩(wěn)定加工。國內(nèi)在對微細電火花加工設(shè)備的研究中，也取得一定的進展[4引。微細電火花加工的顯著特點就是工件的加工部分一般都很小，放電能量小。因此對于微細電火花加工設(shè)備的研制，需要解決的關(guān)鍵技術(shù)問題有：1)機床各部分，特別是關(guān)鍵支承件的結(jié)構(gòu)設(shè)計。通過優(yōu)
9、化結(jié)構(gòu)，應(yīng)使其具有良好的剛性，變形量小，幾何精度高的特點；2)微小能量放電回路的設(shè)計。由于放電能量小，頻率高，要求回路具有良好的抗干擾能力，穩(wěn)定性好；3)放電間隙狀態(tài)的快速檢測和控制技術(shù)。這是保證微細電火花加工質(zhì)量的關(guān)鍵問題；4)放電加工參數(shù)的控制技術(shù)。通過對在線參數(shù)和離線參數(shù)的優(yōu)化和控制，可得到好的加工效果。本文在北京市電加工研究所多年研究成果的基礎(chǔ)上，針對微細電火花成形加工設(shè)備的上述關(guān)鍵技術(shù)進行研究，開發(fā)出一套微細電火花成形加工設(shè)備，其主要包括一臺微細電火花加工機
