晶硅電池制備工藝切片制絨擴散.ppt

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1、太陽能電池是一種將太陽光能直接轉(zhuǎn)換為電能的半導(dǎo)體器件太陽能電池◆光伏產(chǎn)業(yè)鏈單晶電池片生產(chǎn)過程制絨清洗甩干擴散刻蝕和去磷硅玻璃PECVD絲網(wǎng)印刷背電極絲網(wǎng)印刷背電場絲網(wǎng)印刷正面電極分類檢測包裝原始硅片多晶電池片生產(chǎn)過程制絨清洗甩干擴散刻蝕和去磷硅玻璃PECVD絲網(wǎng)印刷背電極絲網(wǎng)印刷背電場絲網(wǎng)印刷正面電極分類檢測包裝原始硅片6.1硅片生產(chǎn)工藝（及主要設(shè)備）工藝流程：硅錠（硅棒）--切塊（切方）--倒角拋光--粘膠--切片--脫膠清洗--分選檢驗包裝工藝簡介：切塊／切方：將硅錠或者硅棒切成適合切片的尺寸，一般硅錠切成25塊（主流）。倒角拋光：將晶

2、柱的圓面棱角研磨成符合要求的尺寸，對表面進行拋光處理，從而獲得高度平坦的晶片。粘膠：用粘附劑把晶柱固定在由鋁板和玻璃板組成的夾具上，自然硬化或用恒溫爐使其硬化。切片：把晶柱切割成硅片，切割的深度要達到夾具上的玻璃板，以便在之后的程序中把硅片和玻璃板分開。脫膠清洗：用清水清洗切成的硅片，再用熱水浸泡，使硅片與玻璃板分開。分選檢驗包裝：抽樣檢查厚度、尺寸、抗阻值等指標，全部檢查破損、裂痕、邊緣缺口，挑選出符合要求的硅片進行包裝。主要設(shè)備介紹1、切方機切方機是用來對硅棒、硅錠進行切割的設(shè)備。該設(shè)備目前在國內(nèi)已實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)，上海日進、上海漢虹、大

3、連連城、北京京儀世紀等公司已有成熟的產(chǎn)品投入市場。一條50MW的硅片生產(chǎn)線需要配1臺切方機即可，國產(chǎn)設(shè)備價格為280萬元左右。2、多線切割機多線切割機是目前市場上用于切片最主流，也是最先進的設(shè)備。它的基本原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對硅棒進行摩擦，從而將硅棒等硬脆材料一次同時切割為數(shù)千片薄片的一種切割加工方法。多線切割由于其更高效、更小切割損失以及更高精度的優(yōu)勢，適用于切割貴重、超硬材料。近十年來已取代傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割成為硅片切割加工的主要方式。在光伏行業(yè)切片領(lǐng)域，到2009年底國內(nèi)市場基本被瑞士的HCT、Meyer

4、Burger（梅耶博格）和日本的NTC所統(tǒng)治。近年來國內(nèi)設(shè)備廠家上海日進、電子集團45所、蘭州瑞德、無錫開源、大連連城、北京京聯(lián)發(fā)、湖南宇晶等也陸續(xù)推出了多線切割機樣機。修邊切方切片在切割中，對鋼線施加適當(dāng)?shù)膹埩?，使鋼線來回拉動。使用線切割機進行切片鋼線帶動漿料（油及SiC），使其對晶棒進行切割。漿料不僅是研磨劑，還帶走研磨中的熱量。占整個切片成本的25%~35%。太陽能電池厚度為200~280μm。鋼線直徑180μm，碳化硅為5~30μm。半成品庫切斷檢驗切方自檢滾圓不合格檢驗合格合格不合格準方棒粘接切片自檢脫膠預(yù)清洗插片超聲波清洗檢驗合

5、格包裝成品庫不合格單晶硅片生產(chǎn)工藝流程切斷開方切片硅片半成品庫硅錠粘接脫膠切斷（去頭尾）檢驗合格準方棒粘接切片自檢脫膠預(yù)清洗插片超聲波清洗檢驗合格包裝成品庫不合格多晶硅片生產(chǎn)工藝流程破錠邊皮料磨面頭尾料不合格倒角◆太陽能級單多晶硅片技術(shù)參數(shù)規(guī)格(尺寸)(mm)125*125；156*156導(dǎo)電類型P型；N型晶向及晶向偏差<100>±2o電阻率范圍(歐母·厘米)少子壽命(us)氧含量(atoms/cm2)碳含量(atoms/cm2)位錯密度(個/cm2)晶體硅片邊長(mm)125*125±0.5；156*156±0.5對角線(mm)150±

6、0.5；220±0.5中心厚度值(um)200±30厚度偏差(um)TTV≤40，邊緣6mm處測量彎曲度BOW(um)≤70鋸痕深度(um)≤15外觀狀況無油污、無孔洞鈍形缺角類缺陷長度≤1.5mm×1mm,每片缺陷數(shù)量≤5個V型缺角類缺陷0◆開方介紹硅錠硅棒◆切片機介紹◆切片原理切片的原理及過程：利用切割鋼絲帶動砂漿，利用砂漿中SiC微粒與晶棒進行摩擦，達到切割的目的。并不是鋼絲切割晶棒，鋼絲的摩爾硬度為5.5左右，單晶硅的摩爾硬度為6.5左右，而SiC的摩爾硬度為9.25-9.5左右，因此鋼絲是切割不了晶棒的.◆設(shè)備基本特性和技術(shù)參數(shù)工

7、件工件尺寸□156*L320mm并排2根長度最大320mm切割線切割線直徑0.12-0.16mm切割線長度根據(jù)要求而定切割線速度可編程設(shè)定，600m/min正向和反向切割(自動反向)總循環(huán)時間可編程設(shè)定切割線張緊力10-25N主輥主輥軸承特殊滾柱軸承、水冷式主輥直徑200-215mm主輥長度320mm主輥重量約29kg主輥數(shù)量2進給工作行程最大300mm/min進給速度0.1-2mm/min,可編程設(shè)定快速進給速度300mm/min漿液供應(yīng)漿液箱容量200升漿液溫度受控泵流量在25°C時，最大達180l/min漿液冷卻通過熱交換器控制系統(tǒng)類

8、型PLC控制?！舾鞴に嚵鞒?--線切部分●線切部分的主要組成單元主要由：放線部分＋收線部分＋線網(wǎng)系統(tǒng)＋冷卻交換系統(tǒng)＋切削液循環(huán)供給系統(tǒng)＋壓縮空氣潔凈系統(tǒng)組成?！窀鲉卧臉?gòu)成及作用