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《zno納米晶薄膜的制備及特性分析》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫(kù)。
1、第6期納米科技No．62013年12月Nanoscience＆NanotechnologyDecember2013ZnO納米晶薄膜的制備及特性分析鄧建平，汪敏強(qiáng)，宋孝輝(西安交通大學(xué)電子與信息工程學(xué)院，陜西西安710049)摘要：在低溫下制備了粒徑小于10nm的ZnO納米晶，用旋涂法制備ZnO納米晶薄膜，XRD分析znO晶相是纖鋅礦結(jié)構(gòu)；SEM與AFM表明，納米晶薄膜在300~C退火后薄膜的厚度明顯減小到130nm，表面粗糙度降低到3．27nm，粒徑明顯增大；紫外一可見吸收和透射比光譜表明，隨著退火溫度的增加，吸收邊發(fā)生了紅移，吸收肩更明顯，薄膜具有高的透射率(75—85％)；薄膜方
2、阻隨溫度增加而增大，300℃以下退火方阻增加很小(小于8．51~／sq)，400℃以上退火方阻大幅增加f大于21．1Q／sq)，因此，ZnO納米晶薄膜最優(yōu)退火溫度點(diǎn)為300℃。關(guān)鍵詞：ZnO納米晶；ZnO薄膜；水熱法；旋涂法PreparationandCharacteristicsAnalysisofZnONan0crystallineFilmDENGJian-ping，WANGMin-qiang，SONGXiao—huifSchoolofElectronicandInformationEngineering，Xi’anJiaotongUniversity，Xi。an710049，C
3、hina)Abstract：ZnONanocrystallines(d<10nm)werepreparedatlowtemperature，andthenZnOnanocrystallinefilmswerepreparedbyspin-coating．XRDanalysisconfirmsthattheas—preparedZnOishexagonalwurtzitecrystalstructure．SEMandAFMshowthatwithannealingat300℃，thethicknessofthefilmreducesto130nmfnonsintered200nm)an
4、dthesurfaceroughnessto3．27nm(nonsintered4．89nm)，andtheparticlesizesignificantlyincreases．UV—Visualabsorptionandtransmissionspectrashowthattheabsorptionedgehasshiftedtored，theabsorptionshoulderwidenandthetransparencyofallfilmsare75—85％．Withtheincreaseofannealingtemperature，thesheetresistanceofth
5、efilmsincreasesfrom8．5sqatbelow300℃to21．1g~／sqatabove400℃．Therefore，theoptimalannealingtemperaturesf300℃1wasproposed．Keywords：ZnONanocrystalline；ZnOfilm；hydrothermalmethod；spin—coatedmethod：TM914．4文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A文章編號(hào)：1812—1918(20l3)二o01二0引言f60meV)t”。近幾年被廣泛地應(yīng)用。ZnO材料價(jià)帶到導(dǎo)帶的過渡可以通過不同的形貌來操控，比如ZnO是重要的Ⅱ一Ⅵ族半導(dǎo)體．
6、因在室溫下納米晶薄膜、量子點(diǎn)、納米線等，所以它能夠吸具直接寬禁帶(3．37e)和大的激子束縛能收不同波段的紫外光．被認(rèn)為是在短波光電器件制備方面的理想材料，例如紫外激光[21、紫外探收稿日期：2012—09—09測(cè)器[31等。ZnO因在可見光范圍具有高的透光性，基金項(xiàng)目：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目具有很好的n型導(dǎo)電性，所以常被應(yīng)用在透光窗(61176056，91123019)第l0卷第6期納米加工工藝Vo1．1ONo．62013年12月Nano-processingTechniqueDecember2013口、氣敏傳感器『5_、場(chǎng)發(fā)射顯示[63等各種不同的(Ac)前驅(qū)液被轉(zhuǎn)移到三口瓶，60
7、％水浴中加熱攪領(lǐng)域。在太陽(yáng)能電池中，ZnO納米晶薄膜被用作拌充分溶解，逐滴加入KOH前驅(qū)液，回流攪拌透明的電子傳輸電極或空穴阻擋層1，電池的效1—15h后利用甲醇充分的離心清洗，最后采用體率與薄膜的結(jié)構(gòu)、光學(xué)和電學(xué)特性有密切的關(guān)積比是3：1的甲醇／氯仿作為分散劑配制50rag／系。高質(zhì)量的薄膜應(yīng)具有如下特點(diǎn)：①薄膜厚度mL的ZnO納米晶膠體。以此膠體為旋涂液．采均勻，內(nèi)部結(jié)構(gòu)致密，表面粗糙度??；②可見光用3000轉(zhuǎn)／min和30s的旋涂工藝在ITO玻璃旋區(qū)
