資源描述：
《微流體系統(tǒng)中微通道制作工藝的研究進(jìn)展.pdf》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、加工、測量與設(shè)備Processing，MeasurementandEquipment微流體系統(tǒng)中微通道制作工藝的研究進(jìn)展張高朋，田桂中，曹偉龍(江蘇科技大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院，江蘇鎮(zhèn)江212003)摘要：微通道作為決定微流體系統(tǒng)性能的關(guān)鍵元件，其制作材料、工藝與裝備是微機(jī)械領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)?，F(xiàn)有微通道制作材料主要有硅及其氧化物、玻璃、聚合物三種。綜述了不同材料微通道制作工藝的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，包括光刻、腐蝕、熱壓印、軟化拉伸和鍵合等方法。討論了現(xiàn)有微通道制作工藝及其設(shè)備的特征與不足，工藝過程涉及精密機(jī)械加工、化學(xué)處理、工程材料、圖像處理和自動控制等眾多學(xué)科，所加工微通道截面多
2、呈矩形、三角形或半圓形，制作設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜、功能單一且成本高昂。展望了仿生微通道發(fā)展方向，簡要介紹了玻璃基仿生微通道優(yōu)化模型和制作設(shè)備的研究進(jìn)展。關(guān)鍵詞：微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)；微流體系統(tǒng)；微通道；仿生微機(jī)械；自然微通道中圖分類號：TH703文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A文章編號：1671—4776(2013)08—0512—06ResearchProgressoftheMicro—ChannelFabricatingProcessintheMicrofluidicSystemZhangGaopeng，TianGuizhong，CaoWeilong(SchooloJMechani
3、calEngineering，JiangsuUniversityofScienceandTechnology，Zhenjiang212003，China)Abstract：Asthekeycomponentsofthemicro—fluidicsystemperformance，thefabricatingmate-rials，processesanddevicesofthemicro—channelareresearchhotspotsinthefieldofthemicro—electromechanicalsystem(MEMS)．Nowadays，thema
4、infabricatingmaterialsforthemicro—channelaresiliconanditsoxides，glassandpolymer．Theoverseasanddomesticresearchstatu—sesofmicro—channelfabricatingprocesseswithdifferentmaterials，suchasthelithography，etching，hotembossing，thermo—softeningandstretching，bonding，aresummarized．Thelea—turesand
5、defectsofexistingtechnologiesandprocessingequipmentsformicro——channelsaredis——cussed．Themanufacturingprocessinvolvesthedisciplinesofprecisionmachining，chemicaltreatment，engineeringmateria1，imageprocessingandautomaticcontrol，etc．Thesectionsofthemicro—channelsarealmostrectangular，triangu
6、larorsemicircular，andtheprocessingequip—mentshavecomplexstructure，singlefunctionandhighlyexpensive．Thedevelopmentdirectionsofthebio—microchannelareprospected．Theresearchprogressesoftheoptimizedmodelandpro—cessingequipmentfortheglassbio—microchannelarebrieflyintroduced．Keywords：micro—el
7、ectromechanicalsystem(MEMS)；micro—fluidicsystem；micro—channel；bio—micromachine；naturemicro—channe1DoI：10．3969／i．issn．1671—4776．2013．08．007EEACC：2575F收稿日期：2013-05—22基金項(xiàng)目：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51005108)；江蘇科技大學(xué)人才引進(jìn)基金資助項(xiàng)目(35020808)通信作者：田桂中，E-mail：tianshuanger@126．com512MicronanoelectronicTechnolo
