石英坩堝檢驗(yàn)規(guī)范.doc

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1、1.目的為指導(dǎo)石英坩堝檢驗(yàn)作業(yè)活動(dòng)，特制訂本規(guī)范。2.適用范圍本規(guī)范適用于單晶生長(zhǎng)使用。3.外觀檢測(cè)要求表面平整，無(wú)裂紋、無(wú)崩邊、無(wú)缺角等外觀缺陷。4.抽樣方案4.1廠內(nèi)進(jìn)料檢驗(yàn)：抽檢產(chǎn)品的關(guān)鍵尺寸；關(guān)鍵尺寸參照?qǐng)D紙；抽樣依MIL-STD-105E之S-Ⅱ，AQL為2.5。4.2外出檢驗(yàn)要求：全檢5.檢驗(yàn)項(xiàng)目（廠內(nèi)進(jìn)料檢驗(yàn)）5.1尺寸項(xiàng)目18寸石英坩堝20寸石英坩堝22寸石英坩堝工具厚度10±0.5mm11±1mm12±2mm核對(duì)廠家報(bào)告單外徑456（+3/-2）mm504（+3/-2）mm556（+3

2、/-2）mm卡尺5.2包裝要求5.2.1每批產(chǎn)品出廠時(shí)應(yīng)附有相應(yīng)的品質(zhì)檢驗(yàn)報(bào)告。5.2.2檢驗(yàn)報(bào)告書上應(yīng)寫明產(chǎn)品名稱、規(guī)格、數(shù)量、生產(chǎn)日期、制造廠名、商標(biāo)和產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)號(hào)。5.3檢驗(yàn)步驟5.3.1收到廠家檢查報(bào)告單。5.3.2檢驗(yàn)外徑5.3.3將檢查后的合格坩堝用原紙箱蓋好，做好相應(yīng)標(biāo)示；不合格的坩堝單獨(dú)存放，并做好包裝和標(biāo)示，5.3.4填寫輔材檢驗(yàn)日?qǐng)?bào)表6.外出檢驗(yàn)要求：6.1表面：石英坩堝內(nèi)表面必須光滑，不能太粗糙。6.2氣泡與氣泡群：在石英坩堝直壁上直徑小于2mm允許出現(xiàn)氣泡群且小于5個(gè)。氣泡直徑不允

3、許大于2.5mm，1.5-2.5mm的氣泡不允許超過2個(gè)，1.0-1.5mm的氣泡不允許超過4個(gè)，0.5-1.0mm的氣泡不允許超過5個(gè),0.5mm氣泡以下的可忽略不計(jì)(氣泡兩間距大于80mm)。6.3黑點(diǎn)：石英坩堝上口40mm內(nèi)表面黑點(diǎn)直徑小于3mm允許1個(gè)；弧度以下直徑小于1mm黑允許2個(gè)；直壁上表面中直徑小于1mm允許2個(gè)，內(nèi)黑點(diǎn)直徑0.5mm以下的可忽略不計(jì)，兩黑點(diǎn)間距大于80mm。6.4白斑：石英坩堝內(nèi)白斑直徑0.5以下的忽略不計(jì)，0.5-3mm的白斑不能超過3個(gè)且均勻分布，白斑直徑不能大于3

4、mm兩點(diǎn)的間距大于80mm。6.5凸點(diǎn)：石英坩堝直壁上表面≤0.5mm且表面光滑允許一個(gè)。6.6裂痕：石英坩堝里一律不準(zhǔn)有裂痕。6.7劃痕:石英坩堝里一律不準(zhǔn)有劃痕。6.8凸起氣泡：石英坩堝內(nèi)不準(zhǔn)有凸起氣泡。