蔡司veo電鏡操作規(guī)程.docx

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1、掃描電鏡操作規(guī)程包括：開機(jī)、裝樣品、加高壓、圖像調(diào)焦和記錄、關(guān)機(jī)等幾個步驟。一．開機(jī)在電鏡基座的前面板上有綠（ON）、黃（STANDBY）、紅（OFF）三個按鈕，見左圖。?1．接通電源后，按紅鈕，電鏡通電。2．按黃鈕，真空系統(tǒng)工作，整機(jī)處于待機(jī)狀態(tài)。3．約30秒后按綠鈕，所有系統(tǒng)開始工作，同時計(jì)算機(jī)自動啟動，注冊進(jìn)入系統(tǒng)。4．雙擊SmartSEM并登錄。二．鍵盤點(diǎn)擊Ctrl+G，打開掃描電鏡控制窗口（SEMControl）。該窗口包括六個控制版面：電子槍（Gun）、探測器（Detector）、光闌（Aperture）、真空（Vaccum）、樣品臺(Stage)。操作時每個版面均有多種選擇。三

2、．放置樣品樣品室通入氮?dú)獯蜷_艙門，放入樣品，抽真空。等待真空度<8x10-5mba，真空狀態(tài)許可出現(xiàn)（VacStatus=Ready）。四．選擇加速電壓（EHT）和開電子槍，熒光屏上出現(xiàn)圖像?？蓪⒘炼龋˙rightness）固定在50％，調(diào)節(jié)襯度（Constrast）使圖像亮暗合適。在低倍率下聚焦圖像。五．檢查燈絲飽和與電子槍合軸。選擇樣品感興趣部位，將圖像放大到5000x以上調(diào)焦，如果需要，進(jìn)行物鏡光闌合軸，并消像散。調(diào)整圖像亮度和襯度。六．記錄圖像1．選擇較慢掃描速度，例如：Speed＝9。圖像掃完一幀后將凍結(jié)（Freeze）在存儲器中，以數(shù)字文檔形式轉(zhuǎn)存或打印。2．圖像最終掃描時可以選

3、用不同的降噪方式，提高圖像信躁比。在凍結(jié)圖像上可以輸入文本或?qū)μ卣魑餃y量。七．關(guān)機(jī)1．關(guān)電子槍（Shutdown），樣品室放氣取出樣品，再抽真空。2．按提示關(guān)閉所有窗口與計(jì)算機(jī)，按黃鈕，稍候再關(guān)紅鈕，電鏡斷電。