蔡司sigma電鏡技術(shù)說明

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1、CarlZeissSMT場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡技術(shù)文件儀器型號(hào)：SIGMA2011年8月26日CarlZeissSMT附件一：聚焦CARLZEISS世界可見光及電子光學(xué)的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)----德國(guó)蔡司公司始創(chuàng)于1846年。其電子光學(xué)前身為L(zhǎng)EO（里奧）,更早叫Cambridge（劍橋）和Zeiss。積掃描電鏡領(lǐng)域40多年及透射電鏡領(lǐng)域60年的經(jīng)驗(yàn)，ZEISS電子束技術(shù)在世界上創(chuàng)造了數(shù)個(gè)第一：?第一臺(tái)靜電式透射電鏡(1949)?第一臺(tái)商業(yè)化掃描電鏡(1965)?第一臺(tái)數(shù)字化掃描電鏡(1985)?第一臺(tái)帶有成像濾波器的透射電鏡(1992)?第一臺(tái)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(1990)?第一臺(tái)具有Koehler

2、照明的200kV場(chǎng)發(fā)射透射電鏡(2003)?第一臺(tái)具有鏡筒內(nèi)校正Omega能量濾波器的場(chǎng)發(fā)射透射電鏡(2003)CARLZEISS其前瞻性至臻完美的設(shè)計(jì)融合歐洲至上制造工藝造就了該品牌在光電子領(lǐng)域無可撼動(dòng)的王者地位。自成立至今，一直延續(xù)不斷創(chuàng)新的傳統(tǒng)，公司擁有廣泛的專有技術(shù)，，隨著離子束技術(shù)和基于電子束的分析技術(shù)的加入、可為您提供鎢燈絲掃描電鏡、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡、雙束顯微鏡(FIBandSEM)、透射電子顯微鏡等全系列解決方案。。其產(chǎn)品的高性能、高質(zhì)量、高可靠性和穩(wěn)定性已得到全世界廣大用戶的信賴與認(rèn)可。作為全球電鏡標(biāo)準(zhǔn)締造者的CARLZEISS將一路領(lǐng)跑高端電鏡市場(chǎng)為您開創(chuàng)探求納米

3、科技的嶄新紀(jì)元。?上海歐波同儀器有限公司做為CarlZeissSMT下屬的納米技術(shù)系統(tǒng)部的合作伙伴，在北京，上海，廣州，鞍山設(shè)有營(yíng)銷公司和維修服務(wù)站，致力于蔡司電鏡的技術(shù)咨詢，銷售和售后服務(wù)工作。CarlZeissSMT附件二：設(shè)備主要用途掃描電鏡是以電子束作為光源，電子束在加速電壓的作用下經(jīng)過三級(jí)電磁透鏡，在末級(jí)透鏡上部掃描線圈的作用下，在試樣表面做光柵狀掃描，，產(chǎn)生各種同試樣性質(zhì)有關(guān)的物理信息（如二次電子，背反射電子），然后加以收集和處理，從而獲得表征試樣形貌的掃描電子像。掃描電鏡（SEM）廣泛地應(yīng)用于金屬材料（鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工）和非金屬材料（化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)

4、礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維）等檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)、金屬材料、陶瓷材料半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域，進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析。各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量，晶體/晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測(cè)量。選配附件：能譜儀：即X射線能量色散譜儀,簡(jiǎn)稱EDS主要是用來分析材料表面微區(qū)的化學(xué)成分,分析方式有定點(diǎn)定性分析、定點(diǎn)定量分析、元素的線分布、元素的面分布。波譜儀：(即X射線波長(zhǎng)色散譜儀,簡(jiǎn)稱WDS)，用作微區(qū)成分分析。分析精度方面比能譜儀精度更高，可以

5、做成分的定量分析。EBSD(電子背散射衍射儀)：EBSD主要可做單晶體的物相分析,同時(shí)提供花樣質(zhì)量、置信度指數(shù)、彩色晶粒圖,可做單晶體的空間位向測(cè)定、兩顆單晶體之間夾角的測(cè)定、可做特選取向圖、共格晶界圖、特殊晶界圖,同時(shí)提供不同晶界類型的絕對(duì)數(shù)量和相對(duì)比例,即多晶粒夾角的統(tǒng)計(jì)分析、晶粒取向的統(tǒng)計(jì)分析以及它們的彩色圖和直方統(tǒng)計(jì)圖,還可做晶粒尺寸分布圖,將多顆單晶的空間取向投影到極圖或反極圖上可做二維織構(gòu)分析,也可做三維織構(gòu)即ODF分析。離子濺射儀：樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），噴碳，使絕緣材料能夠?qū)щ?，是配合掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。CarlZeissSMT附件三：技術(shù)指標(biāo)ZEISS

6、的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡全部采用新一代專利鏡筒（GEMINI）設(shè)計(jì)，具有優(yōu)良的高、低加速電壓性能；創(chuàng)新的InLens設(shè)計(jì)是目前世界上唯一真正的內(nèi)置鏡筒電子束光路上二次電子探測(cè)器，其具有最佳的靈敏度和最高的接收效率，而且只接收來自樣品表面的二次電子，因此具有業(yè)界最高等級(jí)的分辨率和圖像質(zhì)量，二次電子探測(cè)器和背散射電子探測(cè)器均內(nèi)置于鏡筒電子束光路上，試樣的工作距離不受背散射探測(cè)器的影響，可以非常接近極靴，這樣可以同時(shí)獲得最高的二次電子像分辨率和背散射電子像分辨率，且接收的背散射電子的能量可以控制。創(chuàng)造性的采用電磁、靜電復(fù)合式物鏡，雜散磁場(chǎng)小，可對(duì)鐵磁體樣品進(jìn)行高分辨率成像。SIGMA是一臺(tái)高性

7、能、功能強(qiáng)大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。系統(tǒng)采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級(jí)的物鏡設(shè)計(jì)，提供高真空成像功能，可對(duì)各種材料表面作分析。并且具有業(yè)界領(lǐng)先的X射線分析條件，樣品臺(tái)為五軸全自動(dòng)控制。標(biāo)準(zhǔn)的高效率無油渦輪分子泵滿足快速的樣品更換和無污染成像分析。主要參數(shù)：1.工作條件1.1.電源電壓：220V±10V,單相50Hz1.2.工作溫度：18°C～25°C1.3.接地：獨(dú)立的接地線1.4.儀器運(yùn)行的持久性：長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作1.5.磁場(chǎng)：≤3mGauss1.6.濕度：≤60%RH2.性