微波集成電路進(jìn)展-下ppt課件.ppt

《微波集成電路進(jìn)展-下ppt課件.ppt》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫(kù)。

1、微波集成電路進(jìn)展(下)2008年微波技術(shù)新進(jìn)展混合微電子技術(shù)向高級(jí)階段發(fā)展產(chǎn)生了多芯片組件（MCM）技術(shù)MCM技術(shù)Multi-ChipModule隨著MMIC和T/R組件在雷達(dá)和通訊系統(tǒng)中的廣泛應(yīng)用,迫切需要采用重量輕、體積小(尤其受到天線網(wǎng)格間距的限制)、成本低和可靠性高的微波多芯片組件(MCM)技術(shù)電子組裝技術(shù)的變遷兩個(gè)或更多的集成電路芯片電連接于共用電路基板上，并利用它實(shí)現(xiàn)“芯片”間的連接，所形成的一種結(jié)構(gòu)MCM定義MCM的特色屬于二次“電路集成”——類(lèi)似于微波混合集成，但比普通的混合集成工藝復(fù)雜由于采用裸芯片，寄生參量的影響降低到最小，電路性能大幅度提升體積大大縮小可靠性提高M(jìn)CM是

2、20世界70年代出現(xiàn)，20世紀(jì)90年代獲得迅速發(fā)展的一種先進(jìn)微電子組裝技術(shù)，也是軍用電子元器件與整機(jī)系統(tǒng)之間的一種先進(jìn)接口技術(shù)由于MCM水平的高低可直接反映軍用電子裝備現(xiàn)代化以及武器系統(tǒng)電子化的水平，因此，世界上美、英、日等發(fā)達(dá)國(guó)家均對(duì)MCM給予高度重視，并制訂了相應(yīng)發(fā)展計(jì)劃，投入巨額資金進(jìn)行大力開(kāi)發(fā)與推廣應(yīng)用MCM技術(shù)的地位低溫共燒陶瓷(LTCC)是實(shí)現(xiàn)MCM的一種理想的組裝技術(shù)采用微波傳輸線(如微帶線、帶狀線和共面波導(dǎo))、邏輯控制線和電源線的混合信號(hào)設(shè)計(jì)可以將它們組合在同一個(gè)LTCC三維微波傳輸結(jié)構(gòu)中采用帶狀線和中間接地屏蔽層還可以改善收發(fā)通道間的隔離度LTCC組件是由許多層0.1~0.

3、15mm厚的、上面印刷有傳輸線的生胚陶瓷片組成金絲鍵合互連的微波特性是影響LTCC微波MCM的微波性能特性的一個(gè)主要因素：其焊絲長(zhǎng)度、拱高和跨距、焊點(diǎn)位置和鍵合一致性和重復(fù)性等參數(shù)均對(duì)微波傳輸具有很大影響金絲鍵合及過(guò)孔互聯(lián)通常采用金絲鍵合來(lái)實(shí)現(xiàn)MMIC、集總式電阻和電容等元器件與微帶線、共面波導(dǎo)的互連,以及微波傳輸線之間或與RF接地面的互連不同層間通常采用金屬化過(guò)孔互聯(lián)LTCC微波多層互連基板制作工藝采用玻璃陶瓷低溫共燒多層技術(shù)體積僅為以往所用組件的1/10~1/20MCM應(yīng)用實(shí)例衛(wèi)星微波通信系統(tǒng)MCM——日本NEC公司35GHz移相器接收機(jī)MCM三塊薄膜基板構(gòu)成：薄膜天線基板包含有8個(gè)LN

4、A－MMIC芯片和阻容無(wú)源元件的MCM－D多層基板Wilkinson功率分配器網(wǎng)絡(luò)基板MCM應(yīng)用實(shí)例——GPS接收機(jī)MCM整個(gè)組件由54個(gè)插腳和1個(gè)RF同軸連接器、10個(gè)IC（9個(gè)裸芯片、1個(gè)表面安裝器件）、2個(gè)晶體管（芯片式）、2個(gè)二極管（芯片式）、19個(gè)電阻器（芯片式)、10個(gè)電感(0805和1206型SMD)、50個(gè)電容器(從250um平行板型絲鍵合元件到1212SMT封裝型）、1個(gè)晶體濾波器和1個(gè)陶瓷濾波器等元件所構(gòu)成3.5cm3.6cmMCM應(yīng)用實(shí)例MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)——MicroElectrical-MechanicalSystems電路元件的微型機(jī)械裝置技術(shù)MEMS特性尺

5、度：從1um到1mm之間的器件加工方法：采用微電子加工工藝特點(diǎn)：用MEMS實(shí)現(xiàn)的元件比用電子器件實(shí)現(xiàn)的元件具有更低的噪聲、損耗，更好的隔離……原理：MEMS受靜電力作用發(fā)生形變或位移靜電力：g0——電極和MEMS元件之間的縫隙高度A——下拉電極的面積V——施加在電極上的電壓Ag0FVMEMS收發(fā)前端的系統(tǒng)方案構(gòu)想可重構(gòu)V型天線、阻抗調(diào)配器、T/R開(kāi)關(guān)、可變電容器MEMSMillimeter-waveComponents1999IEEEMTT-SThearmsoftheVee-antennaaremoveablethroughpullingorpushingbymicro-actuators.

6、Eachantennaarmcanbecontrolledindependentlywithforward-orbackward-movingbiases.可重構(gòu)V型天線Aslidingplanarbackshortplateontopofaplanartransmissionlineformsamoveableshort-circuitoverausefulbandwidth.Itallowsavariationfortheelectricallengthofthetransmissionlinebyvaryingthepositionoftheslidingplanarbackshort

7、.阻抗調(diào)配器Asee-sawbar,withbiaselectrodesonbothends,isheldbyhingesonthesidesofthebar.Oneendofthebarisattachedtoametalcontactpadtomakeconnectionbetweencontacts.Withbiasesondifferentbiaselectrodes,themetalcontactc