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1、納米SiC薄膜的光電特性研究畢業(yè)論文目錄第1章緒論…………………………………………………………………………11.1研究目的和意義………………………………………………………………………11.2SiC材料的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)…………………………………………………………31.3低維SiC材料合成以及其光學(xué)和電學(xué)特性的研究進(jìn)展……………………………51.3.1納米碳化硅薄膜的制備進(jìn)展…………………………………………………51.3.2納米碳化硅薄膜的發(fā)光研究進(jìn)展……………………………………………61.3.3納米碳化硅薄膜的電學(xué)特性和光電器件研究進(jìn)展…………………………71.4當(dāng)前主要存在問(wèn)題和本文主要工作
2、…………………………………………………8第2章實(shí)驗(yàn)原理及技術(shù)………………………………………………………………102.1樣品的制備…………………………………………………………………………102.2薄膜的形貌和結(jié)構(gòu)分析技術(shù)………………………………………………………102.2.1傅里葉變換紅外吸收譜（FTIR）……………………………………………102.2.2X射線的衍射分析（XRD）…………………………………………………112.2.3原子力顯微鏡（AFM）………………………………………………………112.2.4掃描電子顯微鏡（SEM）……………………………………………………122.3薄膜的光學(xué)
3、特性表征技術(shù)……………………………………………………………122.3.1紫外－可見(jiàn)光透射譜(UV-VISTransmission)……………………………122.3.2光致發(fā)光譜(PL)和熒光激發(fā)譜（PLE）……………………………………132.4薄膜的電學(xué)、光電特性表征技術(shù)……………………………………………………132.4.1薄膜電阻率和異質(zhì)結(jié)的I-V特性的測(cè)量…………………………………132.4.2異質(zhì)結(jié)的表面光電壓測(cè)量…………………………………………………15第3章納米碳化硅薄膜的制備及紫外發(fā)光特性…………………………………………18V3.1不同氫氣條件下納米碳化硅薄膜的結(jié)構(gòu)特性………
4、………………………………193.2納米碳化硅的紫外發(fā)光………………………………………………………………223.3本章小結(jié)………………………………………………………………………………23第4章?lián)诫s納米碳化硅的光學(xué)和電學(xué)特性……………………………………………244.1磷摻雜對(duì)納米SiC結(jié)構(gòu)的影響………………………………………………………244.1.1不同比例摻雜的紅外譜分析………………………………………………254.1.2摻雜納米碳化硅薄膜的Raman譜…………………………………………264.1.3摻雜納米SiC的表面形貌…………………………………………………274.2摻雜納米SiC薄膜的光
5、學(xué)特性……………………………………………………284.2.1摻雜納米碳化硅的光吸收特性……………………………………………284.2.2摻雜納米碳化硅薄膜的光致發(fā)光特性……………………………………304.3摻雜納米SiC薄膜的電學(xué)特性……………………………………………………314.3.1電導(dǎo)率測(cè)量的方法和結(jié)構(gòu)…………………………………………………314.3.2SiC的歐姆接觸……………………………………………………………324.3.3不同摻雜比例的SiC薄膜的電導(dǎo)率………………………………………324.3.4摻雜納米SiC薄膜的導(dǎo)電機(jī)制……………………………………………334.4摻雜納米碳
6、化硅/硅異質(zhì)結(jié)的電學(xué)特性……………………………………………364.4.1n-pnc-SiC/Si異質(zhì)結(jié)的I-V特性…………………………………………374.4.2nc-SiC/Si異質(zhì)結(jié)的電輸運(yùn)特性…………………………………………384.5本章小結(jié)………………………………………………………………………………41第5章納米碳化硅/硅異質(zhì)結(jié)的光電壓特性……………………………………………425.1光照作用下p-n結(jié)能帶結(jié)構(gòu)的變化…………………………………………………425.2nc-SiC/Si異質(zhì)結(jié)的表面光電壓特性………………………………………………435.2.1SiC在異質(zhì)結(jié)中的窗口效應(yīng)………
7、………………………………………435.2.2不同偏壓下nc-SiC/Si異質(zhì)結(jié)中的光電壓特性…………………………445.3nc-SiC/Si異質(zhì)結(jié)的時(shí)間分辨光電壓特性……………………………………465.4本章小結(jié)…………………………………………………………………………49結(jié)束語(yǔ)………………………………………………………………………………………51V參考文獻(xiàn)……………………………………………………………………………………54致謝………
