資源描述:
《cdznte薄膜制備與性能表征》由會員上傳分享,免費在線閱讀,更多相關內容在學術論文-天天文庫。
1、國內圖書分類號:TN304西北工業(yè)大學工學碩士學位論文CdZnTe薄膜制備與性能表征碩士研究生:周昊導師:介萬奇教授申請學位級別:碩士學科、專業(yè):材料學所在單位:材料學院答辯日期:2010年03月授予學位單位:西北工業(yè)大學Classifiedindex:TN304ThesissubmittedinpartialfulfillmentoftherequirementsforthedegreeofMasterofEngineeringGrowthandCharacterizationOfCdZnTeFilmMSCandidate:ZHOUHaoAdvisor:ProfessorJIEW
2、anqiDegreeAppliedfor:MasterofEngineeringSpecialty:MaterialsEngineeringSchool:SchoolofMaterialsScienceandEngineeringDateofOralDefence:March2010UniversityConferringDegree:NorthwesternPolytechnicalUniversity摘要摘要CdZnTe是一種性能優(yōu)異的II-VI族化合物半導體。雖然對CdZnTe體單晶的研究由來已久,但關于CdZnTe薄膜的制備、性能及表征上尚存在諸多難題。本文研究了真空蒸發(fā)法
3、制備CdZnTe薄膜的技術;分析了CdZnTe薄膜的沉積模型;對比了退火前后CdZnTe薄膜成分、結構和光電性能的變化。利用真空蒸發(fā)法制備CdZnTe納米薄膜。該方法具有工藝簡單,成膜致密且均勻性好以及反應參數(shù)易于控制等優(yōu)點,是目前大面積、低成本制備CdZnTe薄膜的一種重要方法。我們通過采用相同的沉積工藝,改變沉積時間,得到了三組不同厚度的CdZnTe薄膜,依次分別命名為CZT-1、CZT-2和CZT-3。分析了不同沉積工藝條件下制備得到的CdZnTe薄膜的結晶質量、表面形貌、禁帶寬度和電學性能;采用高分辨透射電鏡觀察了CdZnTe薄膜與襯底界面處的微觀結構,分析了CdZnTe薄
4、膜沉積模型;對所制備的CdZnTe薄膜在N2氣氛下進行退火處理,研究了不同退火工藝對薄膜形貌、光學帶隙寬度和電學性能的影響。研究發(fā)現(xiàn),當襯底溫度為室溫時,真空蒸鍍制備的薄膜中的成分配比偏離原料中的配比,呈現(xiàn)不同程度的富Te傾向。隨著沉積時間的延長,CdZnTe薄膜表現(xiàn)出明顯的擇優(yōu)取向生長,生長面為(111)面,并表現(xiàn)出層島復合模式的生長機制。三組薄膜CZT-1、CZT-2和CZT-3的禁帶寬度依次分別為2.26eV、2.12eV和1.6eV,電阻率依次分別為4.2E9cm、3.1E11cm和7.4E11cm。在300℃和400℃氮氣氣氛退火后,薄膜擇優(yōu)取向得到加強,薄膜顆粒長大,光
5、學吸收邊變得陡峭,電阻率提高,平衡載流子增加。關鍵詞CdZnTe薄膜,太陽能電池,性能表征,退火IABSTRACTABSTRACTCdZnTe(CZT)isakindofII-VIsemiconductorswithexcellentphotoelectricproperties.AlthoughthestudyonCdZnTecrystalhaslastedforalongperiod,therestillexistsomeproblemsinthepreparation,characterizationandupgradationofCdZnTefilms.Inthisthes
6、is,theCdZnTethinfilmswerepreparedbyvacuumdepositionmethod,whichisprovedtobethebestmethodamongdifferenttechnologiesforthelargeareapreprationofCdZnTethinfilmsduetoitssimplicityandlowcost.Nano-crystallineCdZnTefilmsweregrownonsiliconwaferandglasssubstratebyvacuumdepositionmethod.CdZnTefilmsamples
7、grownunderthesameconditionswithdifferentdepositiontime,arenamedCZT1,CZT2andCZT-3respectively.Thecomposition,structure,surfacemorphologyandthephotoelectricpropertiesofthethreesampleswereanalyzed.TheeffectsoftheannealinginN2onthepropertie