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《磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺中轉(zhuǎn)子性能和加工的研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學術(shù)論文-天天文庫。
1、摘要上海交通大學碩士學位論文磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺中轉(zhuǎn)子性能和加工的研究摘要磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的轉(zhuǎn)子依靠磁懸浮來支承和定位能克服機械支承和定位的摩擦使之可以達到普通陀螺的精度要求與普通陀螺相比磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺還采用了微細加工技術(shù)因此器件具有體積小重量輕適于集成設(shè)計易于批量生產(chǎn)的優(yōu)點已成為微小衛(wèi)星微飛行器等裝備系統(tǒng)上導航定位等慣性系統(tǒng)不可缺少的重要組成部分磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的角動量由轉(zhuǎn)子給出因此轉(zhuǎn)子是很重要的零件本論文的研究工作是探討磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺中轉(zhuǎn)子的性能和加工工藝根據(jù)論文需要本文首先介紹了陀螺的發(fā)展概況應(yīng)用慣導系統(tǒng)對陀螺儀的技術(shù)要求以及陀螺的小型化趨勢之后以框架支承轉(zhuǎn)子
2、陀螺為例介紹了陀螺的工作原理在簡要敘述了國內(nèi)外幾種類型的微陀螺之后對磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺組成原理以及各部分功能進行設(shè)計確定了轉(zhuǎn)子的材料外形尺寸對其強度進行了校核同時研究了轉(zhuǎn)子缺損對陀螺精度的影響認為適當加大轉(zhuǎn)子直徑和提高加工質(zhì)量是提高陀螺精度的有效途徑隨后介紹了濺射蒸鋁和沖壓這三種加工微i摘要上海交通大學碩士學位論文轉(zhuǎn)子的方法最后用蒸鋁和沖壓的方法制作出一批轉(zhuǎn)子通過外形觀察表面輪廓檢測和懸浮試驗對蒸鋁和沖壓這兩種加工方法進行了分析和比較認為沖壓法簡便易行加工的轉(zhuǎn)子能夠達到較好的懸浮效果關(guān)鍵詞磁懸浮微陀螺轉(zhuǎn)子微機電系統(tǒng)微細加工iiABSTRACT上海交通大學碩士學位論文S
3、tudyonthePropertiesandFabricationofaRotorintheMicromachinedGyroscopeofElectromagneticLevitatedRotorABSTRACTMicro-gyroscopeistreatedasoneofthekeyinertialapparatusofmini-satellitesandmicro-aircrafts.Magneticsuspensionsystemofthedesigncouldavoidfrictionproblemscausedbymechanicalbearingand
4、localizationthatarekeyissuesinotherkindofmicro-gyroscopes,soastoachievehighprecisionasordinarygyroscopes.Therotorisoneofthekeypartsofthegyrosincetherotatingdiskistheonlymovingpartthatcouldsensetheangularmovementofthecarrier.Majorworkofthispaperistostudythepropertiesandfabricationmethod
5、oftherotor.Afterintroducingthedevelopmentandutilityofgyroscopeandthetrendsofminiatureofgyroscope,theprincipleofamagneticsuspensionrotorforapplicationasamicro-gyroscopeispresented.Thedesignoftherotorisdrawnaccordingtorequirementsofcreatingeddycurrents,maintainingstablelevitationandconti
6、nuousrotation.FabricationmethodsiiiABSTRACT上海交通大學碩士學位論文ofrotor,suchassputtering,evaporationandpunching,arestudiedbycontrast.IthasbeenprovedbylevitationexperimentsofthegyrothatthefabricationmethodofpunchingtheAlfilmisapromisingwaytofabricaterotorthatcouldmeettherequirementsofthemicro-gy
7、roscope.Otherissueslikecheckingthestructurecapabilityoverloadintensityandtheinfluencethattheimperfectnessplaysontheprecisionofthedeviceisalsodiscussed.Keyword:Electromagneticlevitation,Micro-gyroscope,Rotor,MEMS,Micro-machining.iv附件四上海交通大學學位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的學位論文，是本人在導師的指導下，獨立進行研究工作所
