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《Al-H 共摻雜 ZnO 薄膜的形貌及光致發(fā)光性能研究-論文.pdf》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、第42卷第12期人工晶體學報V01．42No．122013年12月J0URNAL0FSYNTHETICCRYSTALSDecember．2013Al—H共摻雜ZnO薄膜的形貌及光致發(fā)光性能研究陳義川，胡躍輝，張效華，馬德福，劉細妹，徐斌，張志明(景德鎮(zhèn)陶瓷學院機械電子工程學院，景德鎮(zhèn)333403)摘要：在不同襯底溫度條件下采用RF磁控濺射法在石英玻璃上沉積Al—H共摻雜ZnO薄膜。對所有樣品進行晶體結構、表面形貌、電學、光學以及室溫光致發(fā)光性能分析。結果表明：隨著襯底溫度的升高，ZnO薄膜的結晶度增加，晶
2、粒增大，薄膜致密度增加；薄膜表面起伏變化減小；同時，電阻率最低達到7．58×10n·cm，透過率保持在75％左右。所有ZnO薄膜樣品都以本征發(fā)光為主，A1．H共摻雜在一定程度降低ZnO薄膜缺陷發(fā)光的強度；隨著襯底溫度的升高，ZnO薄膜的本征發(fā)光強度明顯增大；同時在能量為3．45eV附近觀察到了一個紫外發(fā)光峰。關鍵詞：Al—H共摻雜ZnO；光致發(fā)光；磁控濺射中圖分類號：0484文獻標識碼：A文章編號：1000-985X(2013)12．2583-06StudyonMorphologiesandPhotolu
3、minescentProperties0fAl-HCo-dopedZnOThinFilmsCHENYi—chuan，HUYue—hui，ZHANGXiao-hua，MADe，LIUXi—mei，XUBin，ZHANGZhi—ming(SchoolofMechanicalandElectronicEngineering，JingdezhenCeramicInstitute，Jingdezhen333403，China)(Received9August2013，accepted16September2013)
4、Abstract：A1一HCO—dopedZnOthinfilmsweredepositedonthequartzglassatdifferentsubstratetemperaturesbyRFmegnetronsputtering．Thecrystalstructure，surfacemorphology，electrical，opticalandphotoluminescence(PL)performanceofZnO：A1一Hthinfilmswereanalyzed．TheresultsofXR
5、DandSEMshowthatthecrystallinityofZnOfilmsincreases，thesizeofZnOparticleincreasesandthedensityofthinfilmsincreasesasthesubstratetemperatureincreasing，thesurfaceundulationchangingoffilmsdecreases．Thelowestresistivityreached7．58×10Q·cmandthetransmittancekeep
6、sabout75％．AccordingtothePLspectra，theintrinsicluminescenceofallsamplesweredominated，A1一HCO—dopedcandecreasetheZnOfilmsdefectsandtheluminescenceintensityofdefects．Asthesubstratetemperatureincreasing，theintrinsicluminescenceintensityofZnOfilmsincreased；Mean
7、while，theultravioletphotolpeakwasobservedat3．45eVwithallZnO：A1一Hthinfilmssamples．Keywords：A1-HCO—dopedZnO；photoluminescence；megnetronsputtering1引言．氧化鋅(ZnO)是一種重要的直接寬禁帶半導體氧化物，具有六角纖鋅礦晶體結構，室溫下禁帶寬度為收稿日期：2013-08-09；修訂日期：2013-09—16基金項目：國家自然科學基金(61066003)；江西省科技支撐
8、計劃項目(2010BGAO1100)；江西省對外合作資助項目(20111BDH80031，20132BDH80025)；江西省自然科學基金(20111BAB202005，20132BAB202001)；江西省主要學科學術和技術帶頭人培養(yǎng)計劃項目(20123BCB22002)；江西省高等學?？萍悸涞赜媱?KJLD12085)；江西省教育廳科技資助項目(GJJI2494，GJJI3643，GJJ13625)作者簡介：陳義川(198
