資源描述：
《矩形平面移動濺射靶的設(shè)計畢業(yè)論文》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、矩形平面移動濺射靶的設(shè)計畢業(yè)設(shè)計（論文）任務(wù)書（201屆）設(shè)計（論文）題目矩形平面移動濺射靶的設(shè)計學(xué)院名稱機(jī)械與汽車工程學(xué)院專業(yè)（班級）機(jī)械設(shè)班姓名（學(xué)號）指導(dǎo)教師系（教研室）負(fù)責(zé)人23/23矩形平面移動濺射靶的設(shè)計目錄矩形平面移動濺射靶的設(shè)計3摘要3ABSTRACT41緒論51.1真空鍍膜的意義51.2真空鍍膜技術(shù)在國內(nèi)外的發(fā)展?fàn)顩r51.3陰極靶的重要性61.4課題的研究背景71.5設(shè)計要解決的問題72設(shè)計方案的確定72.1真空鍍膜中陰極靶的種類72.1.1矩形平面磁控濺射靶82.1.2同軸圓柱形磁控濺射鍍膜82.1.3圓形平面磁控濺射靶92.2初步的幾種設(shè)計思路10
2、2.2.1方案一：圓形旋轉(zhuǎn)靶102.2.2方案二：矩形移動靶102.3最后方案的確定113陰極靶的結(jié)構(gòu)設(shè)計和尺寸計算113.1靶的結(jié)構(gòu)113.2靶的尺寸計算133.3磁場強(qiáng)度的選擇143.4磁場均勻性143.5矩形平面靶磁場計算153.6傳動裝置的設(shè)計153.7真空室選泵的計算163.7.1粗算主泵抽速163.7.2流導(dǎo)計算163.7.3精算主泵抽速173.7.4前級泵的計算173.7.5抽氣時間的計算183.7.6計算分子泵的抽氣時間18結(jié)論2023/23矩形平面移動濺射靶的設(shè)計致謝21[參考文獻(xiàn)]2223/23矩形平面移動濺射靶的設(shè)計矩形平面移動濺射靶的設(shè)計摘要：本
3、文介紹了一種真空磁控鍍膜系統(tǒng)的移動陰極靶。磁控濺射鍍膜現(xiàn)在已經(jīng)成為工業(yè)鍍膜生產(chǎn)中最主要的技術(shù)之一，它能有效降低靶室的工作壓強(qiáng)和靶的工作電壓，提高濺射速率和沉積速率，降低基片溫度，減小等離子體對膜層的破壞，特別適合于大面積鍍膜生產(chǎn)。但靶面的非均勻剝蝕會降低靶材的利用率，造成濺射過程中參數(shù)的變化，嚴(yán)重影響濺射過程的穩(wěn)定性。磁控濺射鍍膜中靶的特性直接與濺射穩(wěn)定性和膜層特性相關(guān)，因此如何優(yōu)化設(shè)計靶，增加靶材利用率成為工業(yè)鍍膜生產(chǎn)中迫切需要解決的問題。在這次設(shè)計中，我運用一個雙向電機(jī)帶動陰極靶往復(fù)移動，帶動磁場的往復(fù)運動，增大水平磁場與靶材的接觸面積，減緩靶材的縱向刻蝕速率，從而
4、使靶材表面刻蝕區(qū)更為平緩。關(guān)鍵詞：陰極靶，真空環(huán)境，靶材利用率，移動23/23矩形平面移動濺射靶的設(shè)計Abstract:Thispaperdescribesavacuumcoatingsystemsampletransferrack,itrangedbetweenindustrialmasstransportmechanismusedinthesampleandintheteachinglaboratoryequipmentusedinthesamplingmethod.Inthecoatingprocess,thequalityofthevacuumcoatingsy
5、stemhasgreatinfluenceonthemembrane.However,agoodcoatingmachine,itisimportanttosampletransportofthesampleracktransportincludessamplefixedonasampleholder,transportedtothevacuumchamber,intothevacuumchambersothesamplestage.Vacuumcoatingchamberisarelativelyhighdemand,morestringentenvironmenta
6、lrequirementsofspace.Therefore,duringthetransmissionofthesample,toensurethatthecoatingchambervacuumenvironmentisnottoomuchinfluenceinthetransferprocessbutalsoensurethatthesampleisfixedandisnotdeformed.Inthetransmissionprocessisbestnottoimpuritiesorothergasesintheairpollutionparticlesinto
7、thecoatingchamber.Inthisdesign,theconsiderationoftheaboveconditionsandthesampleintoandoutoftheautomation,Iusedanadditionalsampleboxes,placedinsideacleancleanedsubstrate,thecoatingofthissampleboxbeforeevacuating,theentirecoatingprocessplayedaroleinthetransition.Thisdesignc
