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1、矩形平面移動(dòng)濺射靶的設(shè)計(jì)畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）任務(wù)書（201屆）設(shè)計(jì)（論文）題目矩形平面移動(dòng)濺射靶的設(shè)計(jì)學(xué)院名稱機(jī)械與汽車工程學(xué)院專業(yè)（班級(jí)）機(jī)械設(shè)班姓名（學(xué)號(hào)）指導(dǎo)教師系（教研室）負(fù)責(zé)人23/23矩形平面移動(dòng)濺射靶的設(shè)計(jì)目錄矩形平面移動(dòng)濺射靶的設(shè)計(jì)3摘要3ABSTRACT41緒論51.1真空鍍膜的意義51.2真空鍍膜技術(shù)在國(guó)內(nèi)外的發(fā)展?fàn)顩r51.3陰極靶的重要性61.4課題的研究背景71.5設(shè)計(jì)要解決的問(wèn)題72設(shè)計(jì)方案的確定72.1真空鍍膜中陰極靶的種類72.1.1矩形平面磁控濺射靶82.1.2同軸圓柱形磁控濺射鍍膜82.1.3圓形平面磁控
2、濺射靶92.2初步的幾種設(shè)計(jì)思路102.2.1方案一：圓形旋轉(zhuǎn)靶102.2.2方案二：矩形移動(dòng)靶102.3最后方案的確定113陰極靶的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和尺寸計(jì)算113.1靶的結(jié)構(gòu)113.2靶的尺寸計(jì)算133.3磁場(chǎng)強(qiáng)度的選擇143.4磁場(chǎng)均勻性143.5矩形平面靶磁場(chǎng)計(jì)算153.6傳動(dòng)裝置的設(shè)計(jì)153.7真空室選泵的計(jì)算163.7.1粗算主泵抽速163.7.2流導(dǎo)計(jì)算163.7.3精算主泵抽速173.7.4前級(jí)泵的計(jì)算173.7.5抽氣時(shí)間的計(jì)算183.7.6計(jì)算分子泵的抽氣時(shí)間18結(jié)論2023/23矩形平面移動(dòng)濺射靶的設(shè)計(jì)致謝21[參考文獻(xiàn)
3、]2223/23矩形平面移動(dòng)濺射靶的設(shè)計(jì)矩形平面移動(dòng)濺射靶的設(shè)計(jì)摘要：本文介紹了一種真空磁控鍍膜系統(tǒng)的移動(dòng)陰極靶。磁控濺射鍍膜現(xiàn)在已經(jīng)成為工業(yè)鍍膜生產(chǎn)中最主要的技術(shù)之一，它能有效降低靶室的工作壓強(qiáng)和靶的工作電壓，提高濺射速率和沉積速率，降低基片溫度，減小等離子體對(duì)膜層的破壞，特別適合于大面積鍍膜生產(chǎn)。但靶面的非均勻剝蝕會(huì)降低靶材的利用率，造成濺射過(guò)程中參數(shù)的變化，嚴(yán)重影響濺射過(guò)程的穩(wěn)定性。磁控濺射鍍膜中靶的特性直接與濺射穩(wěn)定性和膜層特性相關(guān)，因此如何優(yōu)化設(shè)計(jì)靶，增加靶材利用率成為工業(yè)鍍膜生產(chǎn)中迫切需要解決的問(wèn)題。在這次設(shè)計(jì)中，我運(yùn)用一
4、個(gè)雙向電機(jī)帶動(dòng)陰極靶往復(fù)移動(dòng)，帶動(dòng)磁場(chǎng)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，增大水平磁場(chǎng)與靶材的接觸面積，減緩靶材的縱向刻蝕速率，從而使靶材表面刻蝕區(qū)更為平緩。關(guān)鍵詞：陰極靶，真空環(huán)境，靶材利用率，移動(dòng)23/23矩形平面移動(dòng)濺射靶的設(shè)計(jì)Abstract:Thispaperdescribesavacuumcoatingsystemsampletransferrack,itrangedbetweenindustrialmasstransportmechanismusedinthesampleandintheteachinglaboratoryequipmentus
5、edinthesamplingmethod.Inthecoatingprocess,thequalityofthevacuumcoatingsystemhasgreatinfluenceonthemembrane.However,agoodcoatingmachine,itisimportanttosampletransportofthesampleracktransportincludessamplefixedonasampleholder,transportedtothevacuumchamber,intothevacuumcha
6、mbersothesamplestage.Vacuumcoatingchamberisarelativelyhighdemand,morestringentenvironmentalrequirementsofspace.Therefore,duringthetransmissionofthesample,toensurethatthecoatingchambervacuumenvironmentisnottoomuchinfluenceinthetransferprocessbutalsoensurethatthesampleisf
7、ixedandisnotdeformed.Inthetransmissionprocessisbestnottoimpuritiesorothergasesintheairpollutionparticlesintothecoatingchamber.Inthisdesign,theconsiderationoftheaboveconditionsandthesampleintoandoutoftheautomation,Iusedanadditionalsampleboxes,placedinsideacleancleanedsub
8、strate,thecoatingofthissampleboxbeforeevacuating,theentirecoatingprocessplayedaroleinthetransition.Thisdesignc
