單晶爐操作基本培訓

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1、單晶爐培訓直拉單晶工培訓簡明教程第一節(jié)??????設備認知一、晶體生長的要求1.必須保持多晶原料、生產設備、生產環(huán)境的高純衛(wèi)生；2.晶體生長是在高溫下進行，為避免硅的氧化，必須在真空系統(tǒng)和保護氣體（氬）下進行；3.拉晶過程中必須保持速度和溫度的穩(wěn)定；二、直拉單晶爐的組成根據晶體生長的要求，直拉單晶爐主要包括爐體、電氣部分、熱系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氬氣供給裝置六部分組成；1.爐體包括提拉頭、副爐室（上爐室）、主爐室、底座等部分；2.??????電氣部分包括速度部分、加熱部分、真空系統(tǒng)控制、氬氣控制、爐筒升降控制等組成；2.1速度部分包括上軸

2、上下速度（SL）、上軸轉速(SR)、下軸上下速度(CL)、下軸轉速(CR)四個部分；2.2正常拉晶時各速度的要求：SL：方向、大小控制可由觸摸屏或引晶小盒控制，兩者可以相互轉換，注意：在操作人員不在爐前時必須關閉引晶小盒的電源以避免事故的發(fā)生！正常拉晶時SL數值大概在1.2—0.6mm/min左右范圍內變化；CL：方向、大小控制由觸摸屏控制，正常拉晶時其大小隨所SL的變化而按比例變化；CL/SL俗稱堝跟比；堝跟比隨所拉制晶體的大小而變化；在實際拉晶過程中要及時的驗證堝跟比以確定其正確性、所拉晶體直徑的準確性；SR：俗稱晶轉，方向及大小由觸摸屏

3、面板控制；正常拉晶時SR為10—13r/min;順時針轉動；CR:俗稱堝轉，方向及大小由觸摸屏控制，正常拉晶時CR為8r/min；在引晶、化料時可調整其快慢以盡快將溫度調整到合適值；要求：1.在兩個工作日內必須熟練掌握四個速度的控制；??????2.會演算拉制6吋（155mm）、8吋晶體所要求的堝跟比各是多少？3.在3個工作日內必須掌握加熱部分、真空系統(tǒng)控制、氬氣控制、爐筒升降控制等的操作；3、熱系統(tǒng)??熱系統(tǒng)由石墨加熱器、保溫系統(tǒng)、支持系統(tǒng)、托桿、托碗、導流筒等組成；第二節(jié)拉晶過程裝料1．??裝料前的準備.(1)??確認已完成設備點檢項目.

4、(2)??檢查取光孔是否對好.(3)??準備好一次性手套、線手套、剪刀、口罩、高純車等輔助用品.(4)??從物料柜取出多晶原料與料單放在裝料小車的一層,檢查是否錯誤.(5)??帶上一次性手套(分析純對手有傷害),用擦爐紙沾上酒精將高純裝料車擦干凈.(6)將堝位升至上限位.2.檢查、裝石英坩堝.(1)打開坩堝紙箱包裝,帶上一次性手套,將坩堝與塑料包裝一起放在高純車上.(2)打開塑料包裝,更換一次性手套,將坩堝對著光源進行檢查,看是否可以使用.?我們專業(yè)單晶爐維修以及配件更換（QQ131014109018626351352）?注意:有以下特征之一

5、者,不能使用.①????磕碰損傷(位于坩堝上沿的微小碰傷除外).②????裂紋.③????嚴重劃痕.④????直徑≥3㎜的氣泡和黑點,數量≥1個.(注??氣泡:夾在坩堝壁內的空洞.黑點:有色雜質點.)⑤????直徑＜3㎜的氣泡和黑點,數量≥5個.⑥????直徑＜3㎜的氣泡和黑點,合計數量≥5個.(3)檢查確定能夠使用后,將坩堝裝入三瓣堝中,要裝水平.(20″堝比較重,裝時可以兩人)(4)如若發(fā)現(xiàn)坩堝異常時及時與班長聯(lián)系.3.取料3.1多晶原料的取放必須輕拿輕放，嚴禁野蠻裝卸造成包裝袋的破損；3.2生產操作員工打開多晶包裝袋時必須遵守以下規(guī)定：

6、①在裝料小車一層上剪開多晶的外包裝（不帶高純手套）；但不允許接觸到第二層包裝袋②帶高純手套取出多晶原料的二次包裝袋并在高純裝料小車上層剪開（進行此項操作時不允許其接觸到多晶袋的一次外包裝）；③裝多晶料必須帶二層手套：尼龍手套和塑料高純手套；④穿上裝料衣服,帶好口罩、手套以后,剪開料袋進行裝料.1、將坩堝升到上限位；檢查石英坩堝質量的好壞；將石英坩堝放入石墨堝內；①坩堝底部選擇小塊的料(直徑≤20㎜)鋪放,應盡量鋪滿坩堝底部.②坩堝中下部選擇較小塊的料(直徑≤40㎜)裝入,多晶料可以裝的緊湊并且貼近堝壁,但應該是自然堆砌,而不是硬擠.③坩堝中部

7、選擇大塊料(直徑≥70㎜)緊靠堝邊裝,并且保證對稱裝入.堝中央可以裝入中度、較小、小塊的料.④坩堝上部選擇中度、較小的料塊,除最上一層外,仍可以緊靠堝邊裝.裝最后一層時,可以有意識的選擇一些料,讓料突出堝沿10-20㎜,但不能搭在堝沿上.應注意以下幾點:ⅰ減少料塊與堝邊的接觸面積,以防止掛邊.ⅱ在料塊互相之間的相對位置方面,要估計在料塊跨塌時,是否架橋,然后做出相應的調整.(4)裝料過程中應注意的問題:①裝料過程中必須保證料塊輕輕的與坩堝接觸,避免任何的磕碰.②裝料過程中嚴禁多晶原料與料袋外表面直接或間接的接觸.③裝料過程中發(fā)現(xiàn)一次性手套破了

8、,要及時更換.④不論是上、中、下哪個部位,料塊尖銳部位不能直接對著坩堝壁.⑤注意裝料過程中防止把料撒進爐膛內.⑥如有摻雜,應將摻雜裝在石英坩堝的中部.避免提渣時將摻