資源描述：
《單晶爐操作說(shuō)明.pdf》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線(xiàn)閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在應(yīng)用文檔-天天文庫(kù)。
1、．全自動(dòng)單晶爐操作手冊(cè)REV.MANUAL_ZJS.Z03（TDR-95A/100A/100B-ZJS適用）2010年06月上虞晶盛機(jī)電工程有限公司SHANGYUJINGSHENGM&EENGINEERINGCO.,LTD目錄第一章單晶生長(zhǎng)條件…………………………………………………………………………21.1設(shè)備要求…………………………………………………………………………………21.2輔料要求…………………………………………………………………………………31.3安全要求…………………………………………………………………………………4第二章單晶生長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)流程………………
2、…………………………………………………52.1拆爐………………………………………………………………………………………52.2裝爐………………………………………………………………………………………62.3開(kāi)始單晶的生長(zhǎng)…………………………………………………………………………82.4抽真空……………………………………………………………………………………92.5檢漏………………………………………………………………………………………112.6壓力化……………………………………………………………………………………122.7熔料………………………………………………………………
3、………………………132.8穩(wěn)定化……………………………………………………………………………………152.9熔接………………………………………………………………………………………162.10引晶……………………………………………………………………………………182.11放肩……………………………………………………………………………………192.12轉(zhuǎn)肩……………………………………………………………………………………202.13等徑……………………………………………………………………………………212.14收尾…………………………………………………………………………
4、…………222.15停爐……………………………………………………………………………………23第三章單晶生長(zhǎng)輔助流程…………………………………………………………………243.1中途取晶…………………………………………………………………………………243.2回熔………………………………………………………………………………………263.3煅燒………………………………………………………………………………………263.4大清………………………………………………………………………………………273.5連接部位檢查……………………………………………………………………………27第
5、四章相機(jī)調(diào)整與熱場(chǎng)溫度校正…………………………………………………………284.1相機(jī)調(diào)整…………………………………………………………………………………284.2熱場(chǎng)溫度調(diào)整……………………………………………………………………………32第五章異常情況處理…………………………………………………………………………335.1斷水………………………………………………………………………………………335.2電極故障…………………………………………………………………………………335.3打火………………………………………………………………………………………33附錄故障速查………
6、………………………………………………………………………34第-1-頁(yè)第一章單晶生長(zhǎng)條件1.1設(shè)備要求1.1.1運(yùn)行條件（以下以TDR-85A-ZJS爐為例，其余爐型要求參照說(shuō)明書(shū)）（1）冷卻水要求水壓：爐子進(jìn)出水壓差要求介于2~3公斤之間，真空泵進(jìn)出水壓差要求1.5公斤以上；爐子進(jìn)水壓力不可超過(guò)3.5公斤，爐子上冷卻水安全閥設(shè)置壓力6公斤；水流率：爐子和電源要求供水量不低于250升每分鐘，單獨(dú)電源要求供水量不低于20升每分鐘；水溫：推薦進(jìn)水溫度18~24oC，最大不超過(guò)25oC；水質(zhì)：弱堿性水，PH值6~9；氯離子含量≤10ppm，碳酸鈣含量≤50ppm；以純凈軟
7、水為好。連接方式：進(jìn)出水管與爐子之間采用軟連接，防止震動(dòng)傳遞到爐子。（2）壓縮空氣要求氣壓：≥7公斤；推薦在壓縮空氣入口處使用壓力調(diào)節(jié)器。流率：≥2.5升每秒；汽缸容積：主真空球閥：2升；輔助真空球閥：0.5升。（3）電力要求相制：3相AC380V(±10%)/50Hz；功率：≥192KVA。配電柜應(yīng)裝有500V、400V的空氣開(kāi)關(guān)，和380V/400A的隔離開(kāi)關(guān)。（4）爐子真空要求空爐真空度：≤15mTorr；空爐泄漏率：≤30mTorr/hr；帶熱場(chǎng)泄漏率：≤50mTorr/hr。（熱場(chǎng)已經(jīng)煅燒完全）1.1.2日常維護(hù)（1）坩堝軸驅(qū)動(dòng)部件的維護(hù)保養(yǎng)a、經(jīng)常檢查
8、坩堝軸的冷
