單晶爐操作注意事項(xiàng)

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1、單晶爐操作注意事項(xiàng)一、裝料準(zhǔn)備/方法/原則1．安全及準(zhǔn)備：1.1小心防止銳利的多晶劃傷手制或其它部位。1.2禁止在爐內(nèi)溫度很高的情況下開始裝料。1.3認(rèn)真檢查上爐單晶拉制及設(shè)備運(yùn)行狀況以及水、電、氣是否符合開爐條件。裝料前應(yīng)檢查：項(xiàng)目開爐標(biāo)準(zhǔn)、水壓：不低于0.15MPa，不高于0.3MPa氬氣壓力:0.1~0.2MPa熱檢：<0.6Pa/5min爐子極限真空度:<6Pa/40min機(jī)械運(yùn)行正常各種電器儀表顯示及運(yùn)行情況正常1.4嚴(yán)格禁止不檢查熱場系統(tǒng)，不擦爐裝料。應(yīng)檢查：加熱器已使用爐數(shù)加熱器化料電壓(是否偏高)加熱器是否打火，電流電壓無擺動(dòng)石墨坩堝已使用爐數(shù)、石墨坩堝無裂縫、磨損，與石英坩

2、堝縫隙是否過大石墨坩堝外壁無較厚掛有硅晶層石墨電極板無打火跡象石墨電極板與加熱器、不銹鋼電極連接無松動(dòng)石墨電極板無裂紋、損傷石墨托桿旋轉(zhuǎn)時(shí)無松動(dòng)、搖擺、損傷1.5禁止不檢查石英坩堝就放入爐內(nèi).對于石英坩堝應(yīng)做如下目檢:石英坩堝無觸痕(暗傷)/裂紋/劃傷/變形/厚薄不均石英坩堝沒有附著物/噴濺物/指紋/斑點(diǎn)石英坩堝內(nèi)表面無粘污膜/變色石英坩堝內(nèi)表面無失透點(diǎn)/大氣泡>3mm/氣泡群>3個(gè)/cm2石英坩堝上口是否無明顯的切磨加工缺陷與指令單上的型號(hào)一致1.6核對運(yùn)行號(hào)/目標(biāo)電阻率/裝料量/摻雜量等保持一致1.7檢查籽晶型號(hào)/完整性一致/完整2.操作人員裝爐時(shí)，班長應(yīng)在現(xiàn)場監(jiān)督和指導(dǎo)。并遵循一下三原

3、則：2.1裝料時(shí)必須輕拿輕放，體現(xiàn)一個(gè)“輕”。2.2帶上無塵手套后除拿料外不能接觸其它物品,體現(xiàn)一個(gè)“潔”。2.3料放置要穩(wěn)妥、均勻.禁止反復(fù)多次擺放，體現(xiàn)一個(gè)“穩(wěn)”。3.裝料前.堝位應(yīng)上升到較高的位置,3.1禁止低堝位裝料3.2禁止旋轉(zhuǎn)坩堝3.3禁止不帶口罩喧嘩/觸摸石英坩堝內(nèi)壁3.4禁止向石英坩堝內(nèi)傾倒多晶硅/赤手抓取多晶4.根據(jù)料塊的形狀和大小，可按一下原則放料：4.1裝料前，把要裝的料全部觀察一遍，掏出大塊料，若有回熔料，與回熔料放在一起進(jìn)行破碎后方能裝料。4.2大塊料的放置4.2.1大塊料的上邊沿一定要低于熔體水平線4.2.2超過1.5kg的塊裝料包括回熔料必須進(jìn)行破碎方能裝料4.

4、2.3大塊料沿石英內(nèi)壁擺放,然后放入摻雜劑,再把小塊料放里面4.2.4料塊尖銳的部分不能朝向石英坩堝壁，更不能有接觸點(diǎn)，只能用平坦的面接觸石英坩堝壁。╳╳(a)C(a)(b)料塊尖銳的部分朝向石英坩堝壁/禁止(c)正常/可以4.2.4裝完料后,清除石墨熱場內(nèi)散落的硅渣.5．籽晶檢查及安裝方法5.1檢果籽晶是否過短，籽晶表面是否有損傷，上爐拉制時(shí)籽晶有無吃渣現(xiàn)象，首先用鉗子輕輕鉸去受損部分，觀其長度是否可用，否則更換。班長做好更換詳細(xì)記錄并簽字。5.2安裝籽晶方法：戴無塵手套去掉籽晶重錘（去掉重錘后嚴(yán)禁籽晶軟軸升降操作，否則會(huì)出現(xiàn)軟軸脫槽導(dǎo)致設(shè)備損壞、拉晶報(bào)廢重大責(zé)任事故），取下籽晶固定銷，插

5、入籽晶后輕輕將銷釘裝入重錘同時(shí)籽晶輕輕上下移動(dòng)，待銷釘位置完全進(jìn)入后輕拉籽晶確定籽晶在最低位置。用紙和酒精將籽晶和重錘擦式干凈后將重錘安裝在軟軸上。5.3籽晶安裝完畢后，將上軸以最快的提拉速度升降兩次。檢查籽晶在升降過程中是否有停滯、晃動(dòng)、限位失控等異?，F(xiàn)象。若出現(xiàn)異常應(yīng)立即通知維修和班長并停止下一步操作。5.4取棒時(shí)向下拉緊重錘，用鉗子輕輕鉸斷籽晶細(xì)頸區(qū)并防止重錘上跳和旋轉(zhuǎn)否則會(huì)造成人身傷害和損壞設(shè)備，待籽晶穩(wěn)定后方能松開重錘。5.5軟軸檢查注意事項(xiàng):每次取棒后必需檢查籽晶卡頭與鵭繩軟軸連接處有無毛刺、松箍、燒損等不良現(xiàn)象,若發(fā)現(xiàn)后應(yīng)立即通知維修并進(jìn)行更換,每月第一次大清后必需更換軟軸。嚴(yán)

6、格防止晶體拉制過程中出現(xiàn)掉棒等惡性事故,班長要對更換爐臺(tái)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)與記錄。二、抽空/檢漏注意事項(xiàng)：1．抽空要求40分鐘內(nèi)抽至50MT以下。否則進(jìn)行以下檢查：1．1重新進(jìn)行驅(qū)氣程序并抽空。1．2打開單晶爐和過濾器并檢查其“O”型環(huán)安裝情況，用酒精擦干凈進(jìn)行二次安裝，若“O”型環(huán)損壞則通知維修更換。1．3檢查真空泵和泵油有無異常。若泵油較少，則添加適量泵油。若泵運(yùn)轉(zhuǎn)異常通知班長填寫維修申請單。2．檢漏要求按MOP嚴(yán)格執(zhí)行。三、化料/穩(wěn)定1．驅(qū)氣后進(jìn)入化料程序，操作方法按MOP要求做。由于化料需要很長一段時(shí)間也是單晶拉制中高事故率和不可逆轉(zhuǎn)的一道工序。在此期間操作工要對其進(jìn)行嚴(yán)密監(jiān)控，通過觀、聽、觸

7、、聞及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常點(diǎn)（包括水、電、氣、泵等）。操作人員不得在此期間離開崗位。1.1在加熱前每位員工要養(yǎng)成點(diǎn)檢習(xí)慣，是否熱場裝到位，籽晶、摻雜劑是否安裝好。1.2化料過程中要核對堝位，密切注意堝位的變化。2．化料完畢后進(jìn)入高溫?fù)]發(fā)。揮發(fā)程序并不是必需，依據(jù)工藝要求進(jìn)行并按MOP執(zhí)行。揮發(fā)完畢后進(jìn)入穩(wěn)定。2.1揮發(fā)功率不得高于化料功率。時(shí)間不得超過工程師要求。2.2處理掛邊功率不要過高，避免石英坩堝高溫變形。2.3