生產(chǎn)單晶硅制備及其應(yīng)用工藝技術(shù)

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1、101805741.1???單晶硅晶片及單晶硅的制造方法2??01806781.6???絕緣體上的單晶硅(SOI)材料的制造方法3??02111781.0???分離單晶硅堝底料中石英的工藝4??03112137.3???單晶硅襯底上可動微機(jī)械結(jié)構(gòu)單片集成的制作方法5??02802101.0???直徑300mm及300mm以上的單晶硅晶片及其制造方法6??96120692.6???抑制長的大直徑單晶硅生長條紋的直拉生長裝置7??87103486???摻金、摻鉑單晶硅互換熱敏電阻及其制作方法8??88108387.9???單晶硅的制造方法和

2、設(shè)備9??89103289.4???一種單晶硅壓力傳感器制造方法及其結(jié)構(gòu)10??90100791.9???單晶硅生產(chǎn)裝置11??90102475.9???制造單晶硅的設(shè)備12??91102921.4???單晶硅直徑測定法及其設(shè)備13??91102922.2???單晶硅直徑控制法及其設(shè)備14??91102924.9???單晶硅生產(chǎn)設(shè)備15??91102923.0???單晶硅生產(chǎn)設(shè)備16??91102532.4???單晶硅生產(chǎn)設(shè)備17??91102343.7???制造單晶硅的裝置18??95119376.7???單晶硅上大面積(100)取向

3、的金剛石膜的生長方法19??96102527.1???單晶硅錠及其制造方法20??97113523.1???提拉單晶硅的裝置21??97120661.9???直拉生長單晶硅期間實(shí)時(shí)監(jiān)測和控制氧的一氧化硅探針22??97121626.6???雙電極單晶硅電容加速度傳感器及其制造方法23??98100416.4???通過控制拉速分布制造單晶硅錠和晶片的方法及其產(chǎn)品24??98116827.2???單晶硅-納米晶立方氮化硼薄膜類P-N結(jié)及其制作方法25??97113737.4???低濃度鈣雜質(zhì)的石墨支撐容器及其在制造單晶硅中的應(yīng)用26??98

4、121350.2???單晶硅片抗機(jī)械力的提高27??98807859.7???生長富空位單晶硅的熱屏蔽組件和方法28??98807993.3???用于單晶硅生長的非Dash縮頸法29??99801049.9???形成單晶硅層的方法和制造半導(dǎo)體器件的方法30??99812088.X???熱退火后的低缺陷密度單晶硅31??99811709.9???從低缺陷密度的單晶硅上制備硅-絕緣體結(jié)構(gòu)32??01131737.X???標(biāo)定單晶硅晶圓晶向的方法33??00812335.7???制備具有均勻熱過程的單晶硅的方法34??02111221.5??

5、?單晶硅片襯底的磁控濺射鐵膜合成二硫化鐵的制備方法35??200710133581.6???單晶硅高效復(fù)合切割方法及其切割系統(tǒng)36??200710047776.9???新型鋁背發(fā)射結(jié)N型單晶硅太陽電池37??200710180002.3???過渡金屬多重?fù)诫s負(fù)溫度系數(shù)單晶硅熱敏電阻38??200710185125.6???單晶硅太陽能電池的制造方法及單晶硅太陽能電池39??200710185126.0???單晶硅太陽能電池的制造方法及單晶硅太陽能電池40??200710185123.7???單晶硅太陽能電池的制造方法及單晶硅太陽能電池4

6、1???200710185124.1????單晶硅太陽能電池的制造方法及單晶硅太陽能電池?42???200710157175.3????超聲波清洗單晶硅片方法及其裝置?43???200710151631.3????使用金屬污染及熱處理識別單晶硅中的晶體缺陷區(qū)的方法?44???200610162854.5????可反射出色域的電極結(jié)構(gòu)以及單晶硅面板與顯示裝置?45???200580050178.6????單晶硅的生長方法?46???200710018889.6????單晶硅薄膜及其組件的制備方法?47???200710192803.1??

7、??單晶硅棒制造方法和單晶硅棒結(jié)構(gòu)?48???200710063644.5????提高單晶硅太陽能電池減反射膜質(zhì)量的方法?49???200810060274.4????改善半導(dǎo)體單晶硅研磨硅片平行度的方法及其裝置?50???85100591????非線性磁場中單晶硅拉制方法及其裝置?51???85100856????制備單晶硅片表面完整層的新途徑?52???02281654.2????一種直拉法生長單晶硅用硅籽晶夾持器?53???89213391.0????區(qū)熔單晶爐單晶硅棒夾持機(jī)構(gòu)?54???93200611.6????單晶硅太陽電池

8、微電機(jī)風(fēng)扇涼帽?55???96236137.2????單晶硅片各向異性腐蝕夾具?56???95224595.7????用于制備薄膜的單晶硅輻射式加熱器?57???97239008.1????單晶硅爐傳動軸用

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