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《氧分壓對射頻磁控濺射制備氧化鋅薄膜光電學(xué)性質(zhì)的影響》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。
1、------------------------------------------------------------------------------------------------氧分壓對射頻磁控濺射制備氧化鋅薄膜光電學(xué)性質(zhì)的影響第２７卷第１期２０１１年１月福建師范大學(xué)學(xué)報（自然科學(xué)版）ＪｏｕｒｎａｌｏｆＦｕｊｉａｎＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ）Ｖ０１．２７Ｎｏ．１Ｊａｎ．２０１１文章編號：１０００—５２７７（２０１１）０１—００５２—０５彭福川，林麗梅，鄭衛(wèi)峰，蓋榮權(quán)，賴發(fā)春（
2、福建師范大學(xué)物理與光電信息科技學(xué)院，福建福州３５０１０８）摘要：利用射頻磁控濺射在石英基片上沉積ＺｎＯ薄膜．為了研究氧分壓對ＺｎＯ薄膜的結(jié)構(gòu)和光電學(xué)性質(zhì)的影響，在氧分壓０．００，２．５４，５．０６，７．５７ｍＰａ的條件下制備了４個樣品．樣品的微結(jié)構(gòu)、表面形貌和光電學(xué)性質(zhì)分別用Ｘ射線衍射儀、原子力顯微鏡、分光光度計和ＶａｎｄｅｒＰａｕｗ方法進(jìn)行測量．結(jié)果表明，所有樣品的主要衍射峰為（００２）峰，隨氧分壓的增加，（００２）峰的強(qiáng)度降低，且出現(xiàn)了（１０１）面的衍射峰．氧分壓的升高，薄膜的表面粗糙度和載流子濃度減小，遷移率增大，電阻率從氧分壓為０
3、時的０．２Ｏ，ｃｍ增加到７．５７ｍＰａ時的ｌ４００Ｑｃｍ．所有樣品在可見光區(qū)的平——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------均透過率都大于８３％，薄膜的折射率隨氧分壓的增加而增大，而消光系數(shù)和光學(xué)帶隙則減?。P(guān)鍵詞：氧化鋅薄膜；射頻磁控濺射；氧分壓；光電學(xué)性質(zhì)中圖分類號：０４８４文獻(xiàn)標(biāo)識碼：ＡＥｆｆｅｃｔｏｆＯｘｙｇｅ
4、ｎＰａｒｔｉｃａｌＰｒｅｓｓｕｒｅｏｎｔｈｅＯｐｔｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＰｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆＺｎＯＦｉｌｍｓＤｅｐｏｓｉｔｅｄｂｙＲＦＭａｇｎｅｔｒｏｎＳｐｕｔｔｅｒｉｎｇＰＥＮＧＦｕ—ｃｈｕａｎ，ＬＩＮＬｉ—ｍｅｉ，ＺＨＥＮＧＷｅｉ—ｆｅｎｇ，ＧＡＩＲｏｎｇ—ｑｕａｎ，ＬＡＩＦａ—ｃｈｕｎ（ＳｃｈｏｏｌｏｆＰｈｙｓｉｃｓａｎｄＯｐｔｏＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＦｕｊｉａｎＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｆｕｚｈｏｕ３５０１０８，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＺｎＯｆｉｌｍｓｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔｏ
5、ｘｙｇｅｎｐａｒｔｉａｌｐｒｅｓｓｕｒｅｓ（ＯＰＰ）ｗｅｒｅｄｅｐｏｓｉｔｅｄｑｕａｒｔｚｏｎｓｕｂｓｔｒａｔｅｓｂｙＲＦｍａｇｎｅｔｒｏｎｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ．ＴｈｅｓａｍｐｌｅｓｗｅｒｅｐｒｅｐａｒｅｄｕｎｄｅｒｆｏｕｒＯＰＰｏｆ０．００，２．５４，５．０６ａｎｄ７．５７ｍＰａ，ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．Ｔｈｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，ｍｏｒｐｈ——————————————————————————————————————-------------------------------------------------------------
6、-----------------------------------ｏｌｏｇｙ，ｏｐｔｉｃａｌａｎｄｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｗｅｒｅｓｔｕｄｉｅｄｂｙＸ—ｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ，ａｔｏｍｉｃｆｏｒｃｅｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏ—ｔｏｍｅｔｅｒａｎｄＶａｎｄｅｒＰａｕｗｍｅｔｈｏｄ。ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．ＴｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｓｔｒｏｎｇｅｓｔＸ—ｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｐｅａｋｉｎａｌｌｓａｍｐｌｅｓｉｓ（００２）ｐｅａｋ．ＷｈｅｎＯＰＰｉｎｃｒｅ
7、ａｓｅｓ，ｔｈｅｉｎｔｅｎ—ｃｏｎ—ｓｉｔｙｏｆ（００２）ｐｅａｋｄｅｃｒｅａｓｅｓａｎｄ（１０１）ｐｅａｋａｐｐｅａｒｓ．ＴｈｅｓｕｒｆａｃｅｒｏｕｇｈｎｅｓｓａｎｄｃａｒｒｉｅｒｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｄｅｃｒｅａｓｅａｓＯＰＰｉｎｃｒｅａｓｅｓ，ｂｕｔｔｈｅｃａｒｒｉｅｒｍｏｂｉｌｉｔｙａｎｄｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙｉｎｃｒｅａｓｅ．Ａｓｔｏ０ＰＰｉｎｃｒｅａｓｅｓｆｒｏｍ０．００ｔｏ７．５７ｍＰａ，ｔｈｅｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙｉｎｃｒｅａｓｅｓｆｒｏｍ０．２ｔ２ｃｍ１４００１２ｃｍ．ｒｅ—Ｔｈｅａｖｅｒａｇｅｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅｉ
8、ｎｖｉｓｉｂｌｅｓｐｅｃｔｒａｒｅｇｉｏｎｏｆａｌｌｓａｍｐｌｅｓｉｓｈｉｇｈｅｒｔｈａｎ８３％．Ｔｈｅ——————————————————————————————————————------
