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《濺射功率對摻鋁氧化鋅薄膜光電學性質的影響》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內(nèi)容在教育資源-天天文庫。
1、------------------------------------------------------------------------------------------------濺射功率對摻鋁氧化鋅薄膜光電學性質的影響第24卷 第5期2008年9月福建師范大學學報(自然科學版)JournalofFujianNormalUniversity(NaturalScienceEdition)Vol.24 No.5Sept.2008文章編號:1000-5277(2008)05-0044-05范麗琴,裴
2、瑜,林麗梅,詹仁輝,賴發(fā)春*(福建師范大學物理與光電信息科技學院,福建福州 350007) 摘要:利用射頻磁控濺射在BK-7玻璃基片上沉積摻鋁氧化鋅薄膜,研究濺射功率對薄膜光電性能的影響.當濺射功率從250W增加到400W時,X射線衍射的結果發(fā)現(xiàn),250W制備的薄膜只有(002)衍射峰,而300W以上的樣品則出現(xiàn)了新的(101)衍射峰;而且隨著濺射功率的增加,(002)峰的強度減弱,(101)峰的強度增強.薄膜的厚度隨濺射功率的增加而變厚,電阻率隨濺射功率的增加而減小,從200W功率時的24.6×10-4
3、??cm減小到400W時的7.2×10-4??cm.樣品在可見光區(qū)域的平均光學透射率都大于85%,其光學帶隙隨載流子濃度的減小而減小.關鍵詞:摻鋁氧化鋅薄膜;濺射功率;電學性質;光學性質中圖分類號:O484文獻標識碼:AInfluenceofSputteringPowerontheOpticaland——————————————————————————————————————-------------------------------------------------------------------
4、-----------------------------ElectricalPropertiesofZnO:AlFilmsFANLi-qin,PEIYu,LINLi-mei,ZHANRen-hui,LAIFa-chun*(SchoolofPhysicsandOptoElectronicsTechnology,FujianNormalUniversity,Fuzhou350007,China)Abstract:TransparentconductingAluminium-dopedzincoxide(ZnO
5、:Al)filmsweredepositedonBK-7glasssubstratesbyradiofrequencymagnetronsputtering.Sputteringpowerchangedfrom250Wto400Wandthesubstratetemperaturewas250℃.XRDresultsshowthatthefilmdepositedat250Wshowsonly(002)peak,andthefilmsdepositedatthepowerlargerthan300Wshow
6、both(002)and(101)peaks.Moreover,theintensityof(002)peakdecreasesastheincreaseofsputteringpower,buttheintensityof(101)peakin-creaseswithincreasingsputteringpower.Boththefilmthicknessandcarriermobilityin-creaseastheincreaseofsputteringpower.Theresistivityoft
7、hefilmdecreasesfrom24.6×10-4??cmto7.2×10-4??cmasthesputteringpowerincreasesfrom250Wto400W.Theav-eragetransmittanceatvisiblespectralregionforallsamplesislargerthan85%.Theopticalbandgapdecreaseswithdecreasingcarrierconcentration.—————————————————————————————
8、—————————------------------------------------------------------------------------------------------------Keywords:Aluminium-dopedzincoxidefilm;sputteringpower;electricalproperties;opticalproperties透明導電薄膜已經(jīng)廣泛應
