資源描述：
《ito透明導(dǎo)電薄膜的溶膠凝膠法制備及工藝研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、中南人學(xué)碩L學(xué)位論文摘要本研究以五水硝酸錮為源物質(zhì)，以乙酰丙酮為溶劑，以無水氯化錫為摻雜劑，采用溶膠凝膠工藝，用提拉法在普通玻璃和石英玻璃基體上制各了11D透明導(dǎo)電薄膜。本試驗采用xRD、sEM、FTIIR、四探針電阻率儀、紫外分光光度計等儀器對ITO透明導(dǎo)電薄膜的物相、表面結(jié)構(gòu)、微區(qū)形貌和物理性能進行了測定；通過D1A．TG對薄膜從凝膠態(tài)向結(jié)晶態(tài)的轉(zhuǎn)化過程進行了測定和分析；此外本試驗重點研究了在ITOI透明導(dǎo)電薄膜的溶膠凝膠法制備過程中，不同試驗條件(提拉次數(shù)、提拉速度、熱處理溫度、冷卻速度、不周玻璃基體)對薄膜的基本性質(zhì)(導(dǎo)電性能和透光率)的影響；分析了試驗現(xiàn)象，優(yōu)化了試驗
2、條件。本研究結(jié)果表明：以五水硝酸銦為源物質(zhì)，以乙酰丙酮為溶劑，以無水氯化錫為摻雜劑、采用溶膠凝膠工藝在玻璃基體上或在石英基體上制備ITo透明導(dǎo)電薄膜是完全可行的。所制備的ITD薄膜的晶體結(jié)構(gòu)為立方錳鐵礦結(jié)構(gòu)，【111]為明顯的擇優(yōu)取向，摻雜的sn己完全溶解在In203的晶格中，看不到sn0或sn02的特征譜線：11’o薄膜在熱處理過程中脫去結(jié)晶水和有機組份，由凝膠態(tài)轉(zhuǎn)化為結(jié)晶態(tài)，當(dāng)溫度超過530℃時，轉(zhuǎn)化基本完成。{在石英基體上經(jīng)5次鍍膜后的ITo薄膜厚度小于150m，與基體結(jié)合良好，表面無空洞、氣泡等宏觀缺陷。ITO薄膜的微觀結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)為由尺寸為幾十個納米的球形顆粒堆積而成的多
3、孔結(jié)構(gòu)。不同熱處理制度可以明顯改變ITO薄膜的微觀形貌，包括顆粒和孔隙的尺寸以及第二相的種類與分布。經(jīng)5次鍍膜后的1110薄膜方電阻可達nOQ，口，電阻率為1．65×10。Q·cm。在330nm．1000nrn范圍內(nèi)，最大可見光透過率達90％以上?！?。。。試驗表明：11’o薄膜的方電阻開始隨In3+的增加而降低，達到特定值后逐漸升高，當(dāng)In3+過量時會加速溶膠的水解過程，降低透光率。I．ID薄膜的方電阻隨Sn摻雜量的增加逐漸達到最小值，再增加Sn摻雜量薄膜的方電阻略有上升的趨勢。ITOl薄膜的方電阻隨提拉次數(shù)的增加而降低，在3．21cm·min。的提拉速度范圍內(nèi)，薄膜提拉速度
4、對薄膜導(dǎo)電性能影響不大。ITO薄膜的方電阻隨熱處理溫度升高而降低，在600℃左右達到最小值；當(dāng)對11D薄膜進行快速冷卻時，薄膜的方電阻顯著下降。不同玻璃基體對薄膜方電阻的影響較大，但當(dāng)鍍層數(shù)增加時，這種影響逐漸變小。IT0薄膜的透光率隨鍍膜層數(shù)的增加而減少，薄膜隨厚度的增加對光的吸收逐漸增加。當(dāng)ITD薄膜處于于凝膠狀態(tài)時具有最高的透光率，在薄膜從凝膠態(tài)向結(jié)晶態(tài)轉(zhuǎn)變后透光率有所降低，并且在熱處理過程中隨熱處理溫度的增加而緩笫一章義獻綜述慢增加。Sn摻雜量對薄膜透光率的影響不大，隨sn摻雜量增加薄膜的透光率呈緩慢降低的趨勢。11D薄膜在進行快速冷卻后具有較低的透光率，該現(xiàn)象在熱處理
5、溫度較高和較低時表現(xiàn)的都不明顯。產(chǎn)生該現(xiàn)象的原因是由于不同冷卻速度影響了薄膜的晶粒度和表面粗糙度。關(guān)鍵詞：ITo薄膜；提拉法：溶膠凝膠；透明導(dǎo)電；方電阻：透光率。ll中南火學(xué)碩L學(xué)位論文AbstractInthisexperiment，IndiumtinoXide(11’0)filmwhichishig蝴yconductiVea11dtransparenttovisiblelighthaSbeenprcparedbysol—geldip-coatingtechniquea11dIn(N03)w嬲choseasrawmaterial，acetylacetoncaSsolVent，
6、SnCl4w鋸choseasdopant．nestmcturcpropeniesand也ephysicalpropemes(electricalresistaIlcea11dtransmittaIlce)oft11e矗1lnwercinvestigatedbyⅪ①、SEM、1Rfo*probememodalldIⅣ-vISspec缸DmetcLThepmcess協(xié)atmefilIllwastraIlsfomlednDm鋤orphousstateto也epolycrystallines咖cturehasbcendete咖inedbytheD1’A-TGtecllIlique．In
7、aIadition，n圮誼fluenceofdi虢renttectmolo西calcond“的ns(dippingtimesandspeed，annealingtemperanlre，coolingspeed柚dm撕xmaterials)onthemmpropenieshaVebeeninVestigatedmdetajl．TheexpedmentalresIlltsisdiscussedarldthee塒，erimentalcorlditionsisoptimi2ed．nleexperin
