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《射頻濺射制備znoal透明導電薄膜及性能研究 射頻濺射制備znoal透明導電薄膜及性能研究1》由會員上傳分享,免費在線閱讀,更多相關(guān)內(nèi)容在學術(shù)論文-天天文庫。
1、中南大學碩士論文摘要本文首先對透明導電薄膜(TcO)的發(fā)展進行了總結(jié),討論了鋁攙雜氧化鋅薄膜(AZO)的性能優(yōu)點,之后對AZO薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、攙雜、制備方法、用途進行了綜合描述,并指出了透明導電薄膜的發(fā)展趨勢。在此基礎上,使用射頻磁控濺射的方法在聚酯(PET)膠片表面沉積了AzO薄膜,通過改變沉積壓強,射頻功率等參數(shù),使薄膜出現(xiàn)了不同的形貌,織構(gòu)和不同的光學、電學性能,并使用原子力顯微鏡(AFM)、x射線衍射儀(xRD)、能譜儀(EDs)、分光光度計和方阻測量裝置對薄膜的結(jié)構(gòu)和性能進行了測試,得到了以下的結(jié)論:1.Ar壓強對薄膜的結(jié)構(gòu),形貌和光電性能等有重大的影響。當沉積壓強從O.2Pa升高到
2、2.OPa時,得到以下的研究結(jié)果:1)由于碰撞次數(shù)的增加,薄膜的厚度減小,沉積速率下降;2)AzO薄膜的顆粒尺寸明顯變大,薄膜的表面粗糙度也大大的增加;3)EDS分析表明,薄膜的組成變化比較復雜,zn/Al的原子比在1.5Pa附近有一個最大值:4)AZ0薄膜的方阻迅速增加,電阻率也迅速增大,在O.2Pa下最小電阻率為3×101Qcm;5)在各個壓強下制備AZO薄膜的可見光透過率能達到90%以上,禁帶寬度明顯減小,藍移現(xiàn)象很明顯。2.隨著射頻功率的增加,我們發(fā)現(xiàn):1)薄膜的厚度和生長速度均迅速上升;2)薄膜的顆粒尺寸先減小,之后由于襯底溫度的交叉影響,又開始增大,但是薄膜的表面粗糙度則呈上升趨勢
3、;3)在125~150w之間,zn/Al的原子比有一個最小值,這里最接近靶材的成分;4)AzO薄膜的方阻和電阻率都迅速減?。?)功率對薄膜的透光曲線的形狀影響很大,低的功率下制備的薄膜的透光范圍更大,禁帶寬度也越大。關(guān)鍵字:AzO、薄膜、射頻濺射、透明導電。中南大掌碩士論文摘要AbstractAtflrstthedeVelopmentof訂ansparentconductiVeoxidefjlmissummarizedandtheadvamagesofalumini哪dopedziIlcoxide(AZO)filmarediscussedintllispaper.Thenthcrcsearch
4、ofAZO,suchascrystal咖cture,dop血g,prepannentandusageisdiscriped.R.Fmagne訂on印刪eril唱isemployedtod印ositAZOfilmsonPETflake.Thefilmsshowdi髓remstructurc,texmrea11doptoelec塒cpropenieswimtllechangeofsputteringp猢eterS,suchaswDrkpresuureandR.Fpower.M鋤ytypesofeqllipment,SuchasAFM,)am,EDS,spec訂Dmeterandsheetresis
5、t孤ceprobeareusedtomeasueretl】esmlctllreandpropeniesof面∞oxidefilms;finallywegetseVeralconclusionsasfollowing:1.TheArpressurchas掣eat血nuenceOnt11es衄Icture,mo印hologyandpmpertiesofthefilms.Whenthepressllreincrcasesf幻mO.2Pato2.0Pa,someconcIusionsasfollowingcanbefound.1)nlefilIIl也icknessaIldthedecresesbeca
6、Ilsemecollisiontimesmcrease.2)’11lediameterofpaniclesa11droughnessofAzOfilmincreased掣eately.3)EDSresultsshow也砒血ecompositionchangeoft11efiImiscomplicate,buttlleatomratioofZI仇Ureachesmaximumat1.5Pa.4)Thesheetrisis切ncea11drisistiVityoftllefihns抽creasegreaⅡy,atO.2PawecatlgettherisistiVi諺asIowas3×1O’斗Qcm
7、.5)AlJthe丘lmspr印aredhastlle仃;ms群mencyof90%inthcvisjblerange,thebandbecomesna啪waIldtheblucshiRisveryclear.2.AstheR.Fpowerincrcase,Wecouldfindth砒:1)nlefilmt11icknessandgr0血rateincreasegreatly.2)Thepanic