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《射頻濺射制備znoal透明導電薄膜及性能研究 射頻濺射制備znoal透明導電薄膜及性能研究1》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學術(shù)論文-天天文庫。
1、中南大學碩士論文摘要本文首先對透明導電薄膜(TcO)的發(fā)展進行了總結(jié)，討論了鋁攙雜氧化鋅薄膜(AZO)的性能優(yōu)點，之后對AZO薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、攙雜、制備方法、用途進行了綜合描述，并指出了透明導電薄膜的發(fā)展趨勢。在此基礎上，使用射頻磁控濺射的方法在聚酯(PET)膠片表面沉積了AzO薄膜，通過改變沉積壓強，射頻功率等參數(shù)，使薄膜出現(xiàn)了不同的形貌，織構(gòu)和不同的光學、電學性能，并使用原子力顯微鏡(AFM)、x射線衍射儀(xRD)、能譜儀(EDs)、分光光度計和方阻測量裝置對薄膜的結(jié)構(gòu)和性能進行了測試，得到了以下的結(jié)論：1．Ar壓強對薄膜的結(jié)構(gòu)，形貌和光電性能等有重大的影響。當沉積壓強從O．2Pa升高到
2、2．OPa時，得到以下的研究結(jié)果：1)由于碰撞次數(shù)的增加，薄膜的厚度減小，沉積速率下降；2)AzO薄膜的顆粒尺寸明顯變大，薄膜的表面粗糙度也大大的增加；3)EDS分析表明，薄膜的組成變化比較復雜，zn／Al的原子比在1．5Pa附近有一個最大值：4)AZ0薄膜的方阻迅速增加，電阻率也迅速增大，在O．2Pa下最小電阻率為3×101Qcm；5)在各個壓強下制備AZO薄膜的可見光透過率能達到90％以上，禁帶寬度明顯減小，藍移現(xiàn)象很明顯。2．隨著射頻功率的增加，我們發(fā)現(xiàn)：1)薄膜的厚度和生長速度均迅速上升；2)薄膜的顆粒尺寸先減小，之后由于襯底溫度的交叉影響，又開始增大，但是薄膜的表面粗糙度則呈上升趨勢
3、；3)在125～150w之間，zn／Al的原子比有一個最小值，這里最接近靶材的成分；4)AzO薄膜的方阻和電阻率都迅速減?。?)功率對薄膜的透光曲線的形狀影響很大，低的功率下制備的薄膜的透光范圍更大，禁帶寬度也越大。關(guān)鍵字：AzO、薄膜、射頻濺射、透明導電。中南大掌碩士論文摘要AbstractAtflrstthedeVelopmentof訂ansparentconductiVeoxidefjlmissummarizedandtheadvamagesofalumini哪dopedziIlcoxide(AZO)filmarediscussedintllispaper．Thenthcrcsearch
4、ofAZO，suchascrystal咖cture，dop血g，prepannentandusageisdiscriped．R．Fmagne訂on印刪eril唱isemployedtod印ositAZOfilmsonPETflake．Thefilmsshowdi髓remstructurc，texmrea11doptoelec塒cpropenieswimtllechangeofsputteringp猢eterS，suchaswDrkpresuureandR．Fpower．M鋤ytypesofeqllipment，SuchasAFM，)am，EDS，spec訂Dmeterandsheetresis
5、t孤ceprobeareusedtomeasueretl】esmlctllreandpropeniesof面∞oxidefilms；finallywegetseVeralconclusionsasfollowing：1．TheArpressurchas掣eat血nuenceOnt11es衄Icture，mo印hologyandpmpertiesofthefilms．Whenthepressllreincrcasesf幻mO．2Pato2．0Pa，someconcIusionsasfollowingcanbefound．1)nlefilIIl也icknessaIldthedecresesbeca
6、Ilsemecollisiontimesmcrease．2)’11lediameterofpaniclesa11droughnessofAzOfilmincreased掣eately．3)EDSresultsshow也砒血ecompositionchangeoft11efiImiscomplicate，buttlleatomratioofZI仇Ureachesmaximumat1．5Pa．4)Thesheetrisis切ncea11drisistiVityoftllefihns抽creasegreaⅡy，atO．2PawecatlgettherisistiVi諺asIowas3×1O’斗Qcm
7、．5)AlJthe丘lmspr印aredhastlle仃；ms群mencyof90％inthcvisjblerange，thebandbecomesna啪waIldtheblucshiRisveryclear．2．AstheR．Fpowerincrcase，Wecouldfindth砒：1)nlefilmt11icknessandgr0血rateincreasegreatly．2)Thepanic
