基於福特8d法的離子植入制程品質(zhì)改善方式研究——以中國大陸a公司為例

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1、密級：學校代碼：１００６９類型：學號；２０１３１０日犯＠矣漆爲葦：攀ＴＩＡＮＪＩＮＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＣＯＭＭＥＲＣＥ碩±學位論文基於福特８Ｄ法的離子植入制程品賀改善方式研究一Ｗ中國大陸Ａ公司為例ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＩｏｎＩｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎＰｒｏｃｅｓｓＱｕａｌｉｔｙＩｍｐｒｏｖｅｍｅｎｔＢａｓｅｄｏｎＦｏｒｄ８ＤＭｅｔｈｏｄ：ＡＣｏｍｐａｎｉｎＭａｉｎｌａｎｄＣｈｉｎａａｓａｎｙＥｘａｍｌｅｐ硏巧生；高文良專業(yè)；企業(yè)管愛區(qū)＿ｆ

2、＿■．指導教師；楊建新，日期．２０１６生５月密級：學校代碼：10069類型：學號：201310502基於福特8D法的離子植入制程品質(zhì)改善方式研究—以中國大陸A公司為例ResearchonIonImplantationProcessQualityImprovementBasedonFord8DMethod：ACompanyinMainlandChinaasanExample研究生姓名：高文良專業(yè)名稱：企業(yè)管理指導教師姓名：楊建新教授論文提交日期：2016年5月學位授予單位：天津商業(yè)大學獨創(chuàng)性聲明及使用授權(quán)聲明一、學位

3、論文獨創(chuàng)性聲明本人所撰寫的學位論文是在指導教師的指導下獨立完成的研究成果。除己明確標注或得到許可外，所撰寫的學位論文中不包含他人已申請學位或其他用途所使用過的成果，本人的指導教師對此進，不包含其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研巧成果行了審定。對本文的研巧做出重要貢獻的個人或集體，本人己在文中做出明確的說明并表示謝意。如有不實，本人承擔相應責巧。二、學位論文及研究成果使用授權(quán)聲明本人同意授權(quán)天津商業(yè)大學Ｗ非贏利方式保存、使用本人的學位論文的電子版及紙質(zhì)版。授權(quán)天律商業(yè)大學將本論文的全部內(nèi)容或部分內(nèi)容提供給有

4、關方酣編入數(shù)據(jù)庫進行檢索、出版及提供信息服務。同意學校向國家有關部口或機構(gòu)送交論文的復?。崳娂痛疟P。本人在校期間取得的研究數(shù)祝、相關成巧等知識產(chǎn)權(quán)歸天津商業(yè)乂學所軒。。注：涉及保密的學位論文在解密后適用本巧權(quán)學位論文作者簽字：指導教師簽字：巧曰期：年月曰摘要隨著科學技術的進步以及人類創(chuàng)新能力的日益提高，當前在世界範圍內(nèi)來觀察，人類已經(jīng)進入到了數(shù)位化、資訊化與科技創(chuàng)新以天為單位計算的時代。這一現(xiàn)象尤其在資訊技術領域與人工智慧領域表現(xiàn)得更為突出，然而這些領域的迅速發(fā)展均離不開的一個核心產(chǎn)品就是優(yōu)質(zhì)的晶片。因此

5、，這些領域的發(fā)展給晶片製造行業(yè)既帶來了空前的發(fā)展機遇，但同時也提出了對高品質(zhì)產(chǎn)品的嚴格要求。晶片製造企業(yè)為應對這一挑戰(zhàn)與尋求自身的生存發(fā)展，最重要的不僅需要能夠生產(chǎn)出顧客要求的產(chǎn)品，還要保證其生產(chǎn)出的產(chǎn)品的是高品質(zhì)的。由此本文認為晶片製造企業(yè)必須想盡一切辦法提高其產(chǎn)品品質(zhì)控制工作，才是在競爭中脫穎而出的重要途徑。當前在晶片製造企業(yè)中，普遍流行的品質(zhì)管制方法當屬新“七大手法”，然而由於該方法在實踐中呈現(xiàn)出多方面的不足，因此，企業(yè)有必要利用其他品質(zhì)管制方法加強當前的品質(zhì)管制工作。本文通過對新“七大手法”原理的介紹，以及結(jié)合半導體生產(chǎn)過程與原

6、理說明，指出該方法在晶片製造企業(yè)中用於品質(zhì)控制過程時，顯示出的明顯不足。與此同時，文章從福特8D問題解決方法基本原理、特點、優(yōu)勢以及應用範圍等角度，對這一方法進行了非常深入地介紹。並且結(jié)合晶片製造企業(yè)獨特的生產(chǎn)經(jīng)營特點，提出將福特8D方法應用於晶片製造企業(yè)產(chǎn)品品質(zhì)改善工作的觀點。在此基礎上，文章進一步對將福特8D方法應用於半導體品質(zhì)管理上的主要優(yōu)勢、可行性、基本切入點以及管理模式進行詳細地分析，整體上解釋了應用該方法進行離子植入制程改善工作的思路。通過對福特8D方法在A公司中處理離子植入制程改善問題的實證分析，進一步證明應用福特8D方法

7、進行產(chǎn)品品質(zhì)改善假設在實踐上是可行的，並且是能夠取得明顯效果的。本文通過使用資料包絡分析法對Ａ公司使用福特８Ｄ方法進行離子植入制程改善工作的成果進行分析，證明瞭Ａ公司的品質(zhì)改善工作是有效的。由此，從企業(yè)實際應用的角度出發(fā)證明瞭晶片製造企業(yè)在生產(chǎn)經(jīng)營過程中，應用福特８Ｄ方法進行產(chǎn)品品質(zhì)改善活動不僅可行而且有效?？傊?，晶片製造企業(yè)為有效應對日趨激烈的市場競爭，必須對其產(chǎn)品品質(zhì)加大控制力度，而產(chǎn)品品質(zhì)控制工作的關鍵是能夠應用有效的方法。顯然，在企業(yè)的產(chǎn)品品質(zhì)控制工作中，出色並行之有效的品質(zhì)管制方法勢必會使企業(yè)的品質(zhì)管制工作事半功倍。根據(jù)福特8

8、D方法在晶片製造企業(yè)的產(chǎn)品品質(zhì)改善工作中表現(xiàn)出的獨特優(yōu)勢，說明應該在該類企業(yè)中廣泛應用福特8D方法作為產(chǎn)品品質(zhì)改善工具。只有能夠迅速應對生產(chǎn)過程中一切突發(fā)問題並保證所生產(chǎn)的每一個產(chǎn)品都是高品質(zhì)的晶片製造企業(yè)