微電子行業(yè)用超純水設備新浪.docx

《微電子行業(yè)用超純水設備新浪.docx》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在教育資源-天天文庫。

1、微電子行業(yè)用超純水設備　　一、微電子行業(yè)用超純水設備概述　　技術資料來源于萊特萊德廣州超純水設備環(huán)境工程公司　　微電子行業(yè)對水質的要求特別高，一般的水質達不到要求。因此微電子行業(yè)使用的水必須是是經過超純水設備處理過的水。超純水的電導率可達到18、3兆歐，是目前水質最高的超純水。超純水設備采用先進的EDI工藝，完全滿足電子行業(yè)的水質要求，微電子行業(yè)用超純水設備是工業(yè)生產中必不可少的凈水設備?！　《?、微電子行業(yè)用超純水設備的優(yōu)點　　1、設備所有零件均是采用進口產品，技術先進成熟?！　?、只要改變膜的

2、數量就可以改變處理量，設備整體化成都高。　　3、全自動化控制，裝有自我保護系統(tǒng)?！　?、能源消耗低，水利用率大?！　?、結構合理，操作簡單，運行穩(wěn)定?！　∨c傳統(tǒng)的蒸餾法相比較，以反滲透法為基礎的聯(lián)合了電去離子(EDI)技術的新工藝具有明顯的優(yōu)越性和先進性?！　?、高效節(jié)能。蒸餾法系歷史最為悠久的醫(yī)藥用水制備工藝，主要有多級蒸餾、高壓分級蒸餾和離心凈化蒸餾幾種工藝。所有蒸餾方法均需要在120℃無菌狀態(tài)下進行，因此，運行當中能源的消耗相當大。同時，因為溫度較高，所有設備組成部分必須耐受高溫沖擊，設備

3、的造價及維護費用高昂。EDI工藝采用非常成熟的反滲透技術，結合高效臭氧消毒方法，整個系統(tǒng)工作于常溫、低壓狀態(tài)，設備投資省，運行維護費用低，可靠節(jié)能：膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經濟，極具競爭力?！　?、穩(wěn)定可靠。隨著工業(yè)化進程的不斷加快，大量而成份復雜的廢物排放使世界范圍的污染變得日益嚴重，其中水資源的污染較之以往更加嚴峻。易揮發(fā)有機污染物因其沸點大都低于水的汽化溫度，如不加處理，蒸餾過程中極易進入產成水中，單純蒸餾方法無法將其有效去除，必須倚重活性碳吸附等過濾辦法，增加了

4、系統(tǒng)和水質的不穩(wěn)定性。膜法工藝采用多介質過濾器進行預處理。反滲透膜的微孔透過式工作原理保證了去除水體中所有較大的離子、分子，可以輕松去除分子直徑更大的易揮發(fā)有機污染物質，從根本上保證有機物指標達到藥典規(guī)定指標?！　?、先進環(huán)保。膜法聯(lián)合工藝替代傳統(tǒng)純蒸餾方法已經成為當今世界醫(yī)藥用水生產技術的主流。近年來代表制藥用水制備工藝最高技術水平的連續(xù)電去離子技術的出現，促使電子行業(yè)用水制備工藝摒棄伴生廢酸、廢堿污染的傳統(tǒng)離子交換技術，系統(tǒng)實現全自動計算機控制，連續(xù)生產，安全無污染?！　∪⑽㈦娮有袠I(yè)用超純

5、水設備的工藝流程　　1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→砂碳過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。　　2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→砂碳過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點?！　?、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進行搭配的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環(huán)保，經濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?/p>

6、，其基本工藝流程為：原水→砂碳過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點?！　∷摹⑽㈦娮有袠I(yè)超純水設備的工藝用水標準　　超純化水標準、醫(yī)療生物水標準、顯像管、液晶顯示器用純水水質(經驗數據)。　　集成電路PCB用純水水質、光電技術、航空技術、制取及化合物提取?！　译娮蛹壖兯畼藴?。　　美國SEMI協(xié)會標準?！　∥㈦娮有袠I(yè)超純水設備水質符合國家電子級用水的標準，提升了電子產品的品質。