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《應(yīng)用微毛細孔電泳技術(shù)結(jié)合微流體結(jié)構(gòu)制作低成本化學(xué)分...》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、“應(yīng)用微毛細孔電泳技術(shù)結(jié)合微流體結(jié)構(gòu)製作低成本化學(xué)分析模組”生化感測器原理及應(yīng)用期末報告指導(dǎo)老師：呂志誠教授學(xué)生：林廣銘班級：機電碩一學(xué)號：100408088一、前言：......................................................3二、研究背景....................................................31.高尿酸癥...................................錯誤!尚未定義書籤。2.毛細管電泳法........................
2、..........................3三、製程步驟與尺寸設(shè)計..........................................41.微流道製作....................................................42.利用高分子材料製作遮蓋及電極配置..............................5四、外形設(shè)計、工作範(fàn)圍..........................................7實驗結(jié)果探討...............................
3、.......................8五、專利探討....................................................91.專利號:US7,211,184B2........................................92.專利號:US7,344,628B2.......................................103.專利號:US7,988,839B2.......................................11六、結(jié)論與參考資料.........
4、....................................12結(jié)論.............................................................12參考資料.........................................................121圖1左圖：單晶矽片右圖:熱處理後之矽片............................4圖2左圖：旋塗光阻(正光阻)右圖：第一層遮罩.......................4圖3左圖：顯影後清洗完成圖右圖：去除光阻
5、.........................5圖4左圖：乾式蝕刻右圖：去除SIO2.................................5圖5重新熱處理後形成SIO2..........................................5圖6左圖:聚碳酸脂右圖:琁塗光阻(負光阻)...........................5圖7左圖:第二層遮罩右圖:顯影後完成圖.............................6圖8左圖:濺鍍金做為電極右圖:用丙酮去除光阻.......................6圖9
6、左圖:第二次顯影完成圖右圖:第三層遮罩.........................6圖10左圖:濺鍍鉑做參考電極右圖:完成圖(已用丙酮去除光阻)..........6圖11原理圖.......................................................7圖12左圖:元件完成圖右圖:實際操作圖..............................7圖13電流(ΜA)電壓(V)曲線圖........................................8圖1410MM過氧化氫分析結(jié)果..........
7、...............................8圖15多樣化合物混和量測結(jié)果：（A）過氧化氫（B）抗壞血酸（C）尿酸8圖16架構(gòu)圖.......................................................9圖17左圖：結(jié)構(gòu)上視圖右圖：結(jié)構(gòu)側(cè)視圖............................9圖18架構(gòu)圖......................................................10圖19左圖：流量端放大圖右圖：微流道標示......................
8、...10圖20系統(tǒng)流程圖....................
