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《cmp設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計與開發(fā)》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要集成電路(1c)是電子信息產(chǎn)業(yè)的核心，而用于Ic制造的化學(xué)機(jī)械拋光(cMP)設(shè)備是半導(dǎo)體集成電路制造中的關(guān)鍵設(shè)備之一。目前，CMP技術(shù)被認(rèn)為是能兼顧硅片表面粗糙度和表面平整化要求，獲得無損傷表面的最佳工藝方法。在CMP加工中，為提高硅片的加工精度和表面質(zhì)量，CMP加工過程的監(jiān)控很重要，也是CMP設(shè)備發(fā)展的趨勢之一。本文首先針對CMP機(jī)床的功能要求，進(jìn)行了設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)的總體設(shè)計。其次，對按照設(shè)備功能劃分的各個模塊分別進(jìn)行了設(shè)計開發(fā)和測試。其中，壓力控制模塊通過向電氣比例閥輸出0-10V
2、的電壓值來連續(xù)控制拋光壓力，并且選用了S型拉壓力傳感器通過數(shù)據(jù)采集卡對其進(jìn)行實時監(jiān)測，構(gòu)成閉環(huán)控制；在拋光頭擺動模塊中，以“PC+運(yùn)動控制卡”為硬件平臺，開發(fā)了開放式的控制系統(tǒng)，研究了運(yùn)動控制卡、伺服單元的接口技術(shù)；PC與變頻器通訊模塊采用了RS-232／R$485轉(zhuǎn)換裝置，利用MSComm控件實現(xiàn)了對變頻器的控制；真空夾持模塊中，設(shè)計了真空回路，通過數(shù)據(jù)采集卡實時監(jiān)測真空壓力。在CMP設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)軟件開發(fā)中，充分地發(fā)揮WindoWS編程的優(yōu)勢，采用面向?qū)ο蟮某绦蛟O(shè)計語言VisualC++和模塊化的編程方法，建
3、立了便于用戶操作的友好界面。實現(xiàn)了加工參數(shù)地輸入、拋光壓力的實時控制、狀態(tài)數(shù)據(jù)的采集與顯示，并且通過輸出開關(guān)量控制電磁閥和繼電器來實現(xiàn)拋光設(shè)備的動作控制。最后，完成了監(jiān)控系統(tǒng)試驗臺的組裝和系統(tǒng)調(diào)試，闡述了具體的調(diào)試過程，最后在實踐的基礎(chǔ)上，對系統(tǒng)軟件進(jìn)行了更新和完善。經(jīng)試驗測試，系統(tǒng)基本上實現(xiàn)了預(yù)期的設(shè)計目標(biāo)，為CMP設(shè)備的研制和CMP工藝的研究奠定了基礎(chǔ)。關(guān)鍵詞：CMP；機(jī)床；監(jiān)控系統(tǒng)；軟件開發(fā)C擗設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)的設(shè)計與開發(fā)TheDesignandDevelopmentoftheMonitoringandCon
4、trolSystemforaCMPMachineAbstraetIntegratedcircuitisthecoretechnologyofelectronicinformationindustry．111echemicalmechanicalpolishing(CMP)machineisoneofthekeyequipmentinmanufacturingintegratedekenit．Now，CMPisregardedasthemosteffectivetechnologytoⅡK科therequirem
5、entofthesurfaceroughnessandflatnessofthewaferandobtainda／nagefreesurface．ToimprovetheaccuracyandSRll-fac宅qualityofthewaferinCMP，monitoringandcontroloftheCMPprocessisveryimportantandhasbecomeadevelopingtendencyofCMPmachine．Inthisthesis，atfirst,ageneralmonitor
6、ingandcontrolsystemisdesigned,accordingtothefunctionalreqnirememsofCMPmachine．Secondly,anthemodulesofthesystemaredesignedandtested．Thep陀ssu∞controlmodnieisdesignedtocontrolthepolishingpressureinreal-time，throughoutput0-10voltagetotheelectricvalve，whichconsti
7、tutestheclosed—loopcontrolwiththeS-typewessuresensor,dataacquisitioncardforreal-timemonitoring．n璩technologiesoftheinterfaceamongmotioncontrollerandservounitarestudied,andthecontrollingmodeof‘‘Pc+motioncontroller'’isappliedinthes、】噸controlmodule．RS．232／RS一485
8、conversiondeviceandMSCommcontrolleraleusedinthecommunicationmodulebetweenPCandinverter．Inthevacuulnholdingmoduleofwafer,theVacUHInmonitoringcircuitisdesignedinordertocollectandmonitorthevacunmpr
