現(xiàn)代材料分析技術(shù)ppt課件.ppt

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1、總復習11.基本概念(1)成象理論(2)電子顯微鏡光路圖(3)圖像襯度(4)分辯力2阿貝成象理論(Abby’sTheoryofImageFormation)345678圖像襯度(ImageContrast)衍射襯度(Diffractioncontrast):常規(guī)電鏡-取決于衍射條件和物鏡光闌大小和位置襯度—光闌大小—分辯力相位襯度(Phasecontrast):HREM-取決于PCTF,也即CS和Df9分辯力(Resolution)衍射分辯率:衍射和球差限制的分辯率:D=2fa衍射和色差限制的分辯率:D=2

2、fa球差和色差哪一個更重要?象散PCTF-相位襯度傳遞函數(shù)102.電子衍射112.1.基本概念(1)厄瓦爾德球(2)衍射斑點的強度:(3)衍射花樣的類型:非晶試樣晶體試樣:環(huán)狀衍射花樣(Ringpattern)單晶斑點花樣(Singlecrystalspotpattern)菊池線花樣(Kikuchiline)(4)電子衍射可提供的信息:晶體結(jié)構(gòu)晶體學信息:相鑒定第二相粒子形狀衍襯條件的確定(5)X-射線衍射和電子衍射的比較取向關系晶體學方向入射束方向與法線方向12電子衍射與X射線衍射的比較1.單原子散射的特

3、性:(E):受原子核散射(X):受核外電子散射2.衍射波長及衍射角:(E):λ=10-3nm,衍射角2θ從0~3°(X):λ=10-1nm,衍射角2θ從0~180°3.衍射斑點強度4.輻射深度:(E):低于1μm數(shù)量級(X):低于100μm數(shù)量級5.作用樣品體積:(E):(X):6.晶體位向測定精度:(E):用斑點花樣測定,約±3°(X):優(yōu)于1°相似性差異性1.波的疊加性導致:布拉格公式結(jié)構(gòu)因子消光規(guī)律2.衍射花樣類型:單晶花樣多晶花樣3.單晶花樣能確定晶體位向注:(E)表示電子衍射,(X)表示X射線衍射

4、。1314152.2簡單SAD花樣的標定(IndexingofsimpleSADpatterns)2.2.1嘗試校核法(Trieranderror:)2.2.2已知相機常數(shù)法(Knowncameraconstant)2.2.3標準衍射譜法(Standarddiffractionpatterns)2.2.4計算機標定法(Computersimulation)000h1k1l1h2k2l2h3k3l3aR1R2R3fcc:N=3,4,8,11,12,16,19,…….bcc:N=2,4,6,8,10,…….B=

5、R1xR2163.衍射襯度理論17183.1基本假設19運動學理論的基本假設2021運動學公式:3.2公式22動力學理論(DynamicTheory):樣品對電子的吸收:—均勻吸收系數(shù)(Uniformabsorptioncoefficient)—反常吸收系數(shù)(Abnormalabsorptioncoefficient)23如果sg=0,則

6、Fg

7、2=(pt/?g)2假定>?g/p則有

8、Fg

9、2>1這與能量守恒定律矛盾!即,理論失效!!所以,

10、sg

11、>>0,ort>1/?g,那么?運動學理

12、論是動力學理論的一個特例!243.3.完整晶體的特征圖像厚度消光條紋(厚度條紋)彎曲消光條紋彎曲條紋彎曲中心當t變化時:當sg變化時:25262728294.晶體缺陷分析30315.1.2運動學公式和動力學公式運動學公式:動力學公式:324.2位錯4.2.1完全位錯不可見準則柏氏矢量的確定完全位錯的襯度特征:位錯核心一側(cè)的一條黑線靠近表面的位錯襯度和圖像寬度3334不可見準則(InvisibilityCriteria)螺位錯(screwdislocations):可見(Visible)不可見(Invisib

13、le)刃位錯(edgedislocations):and混合位錯(mixeddislocations):不可見(Invisible)不可見(Invisible)353637ImagewidthofdislocationsS=0S?038運動學理論:動力學理論:394.2.2弱束暗場技術(shù)4041FortheEdwaldspherecuttingthelowofsystematicreflectionsgatng(nnotnecessaryinteger),thevalueofsisgivenbys=(n-1)

14、g2/2KwhereK=1/?實驗條件42434.2.3不全位錯非常復雜,襯度還受層錯的影響!4445PartialdislocationsinfcccrystalsShockleypartialFrankpartialStair-rodpartial464.3層錯47481)平行于薄膜表面的層錯襯度特征為,在衍襯像中有層錯區(qū)域和無層錯區(qū)域?qū)⒊霈F(xiàn)不同的亮度,層錯區(qū)域?qū)@示為均勻的亮區(qū)或暗區(qū)。2)傾斜于薄膜表面的層

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