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1、氯硅烷的分離提純硅氯化物分離提純方法簡介在半導體材料多晶硅的生產(chǎn)中,三氯氫硅或四氯化硅提純是一個重要的關鍵工序。提純效果的優(yōu)劣直接影響多晶硅的內(nèi)在質(zhì)量,提純的方法主要有：精餾提純法、部分水解吸附法、絡合物形成法等等。這些方法各有特點，但在多晶硅工業(yè)生產(chǎn)中，目前應用最多的仍然是精餾提純法。精餾提純法，也稱簡單精餾法，是一種最重要的提純方法。該法以其簡單有效，又避免引進任何試劑污染，絕大部分雜質(zhì)均能被完全分離（三氯氫硅與絕大多數(shù)雜質(zhì)揮發(fā)度相差較大，除硼、磷兩種有害雜質(zhì)也并不十分困難）,而得到廣泛使用，所以
2、本章將重點介紹精餾提純法1一.精餾提純的基本概念1.汽化、液化和沸點2.飽和蒸汽壓3.揮發(fā)度與相對揮發(fā)度4.露點5.泡點6.潛熱和顯熱7.絕對壓力、表壓和真空度21.汽化、液化和沸點汽化：物質(zhì)從液態(tài)變?yōu)闅鈶B(tài)的過程。液化：與汽化相反，即物質(zhì)由氣態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)的過程。什么是沸點？ 答：當純液體物質(zhì)的飽和蒸汽壓等于外壓時，液體就會沸騰，此時的溫度叫做該液體在指定壓力下的沸點。純物質(zhì)的沸點是隨外界壓力的變化而改變的。當外界壓力增大時，沸點升高，外界壓力降低時，沸點降低。32.飽和蒸汽壓1.7、何為飽和蒸汽壓？ 答
3、：在一定的溫度下，與同種物質(zhì)的液態(tài)（或固態(tài)）處于平衡狀態(tài)的蒸汽所產(chǎn)生的壓強叫飽和蒸汽壓，它隨溫度的升高而增加。眾所周知，放在杯子里的水，會因不斷蒸發(fā)變得愈來愈少。如果把純水放在一個密閉容器里，并抽走上方的空氣，當水不斷蒸發(fā)時，水面上方氣相的壓力，即水的蒸汽所具有的壓力就不斷增加。但是，當溫度一定時，氣相壓力最中將穩(wěn)定在一個固定的數(shù)值上，這時的壓力稱為水在該溫度下的飽和蒸汽壓。 應當注意的是，當氣相壓力的數(shù)值達到飽和蒸汽壓力的數(shù)值是，液相的水分子仍然不斷地氣化，氣相中的水分子也不斷地冷凝成液體，只是由于
4、水的氣化速度等于水蒸汽的冷凝速度，液體量才沒有減少，氣體量也沒有增加，氣體和液體達到平衡狀態(tài)。所以，液態(tài)純物質(zhì)蒸汽所具有的壓力為其飽和蒸汽壓時，氣液兩相即達到了相平衡。43.揮發(fā)度與相對揮發(fā)度揮發(fā)度通常用來表示某種純物質(zhì)（液體或固體）在一定溫度下蒸汽壓的大小。相對揮發(fā)度：溶液中兩組分揮發(fā)度之比，稱為相對揮發(fā)度54.露點什么是露點？ 答：把氣體混合物在壓力不變的條件下降溫冷卻，當冷卻到某一溫度時，產(chǎn)生的第一個微小的液滴，此溫度叫做該混合物在指定壓力下的露點溫度，簡稱露點。處于露點溫度下的氣體稱為飽和氣體
5、。從精餾塔頂蒸出的氣體溫度，就是處在露點溫度下。65.泡點什么是泡點？ 答：液體混合物在一定壓力下加熱到某一溫度時，液體中出現(xiàn)的第一個很小的氣泡，即剛開始沸騰時的溫度叫該液體在指定壓力下的泡點溫度，簡稱泡點。處于泡點溫度下的液體稱為飽和液體，即精餾塔的釜溫溫度。應該說明，這第一個很小的氣泡，也不是純組分，它的組成也是有相平衡關系決定的。76.潛熱和顯熱什是潛熱？ 答：單位重量的純物質(zhì)在相變（在沒有化學反應的條件下，物質(zhì)發(fā)生了相態(tài)的改變，稱相變。如水結(jié)成冰或水汽化成水蒸氣等成為相變過程。）過程吸收或放出
6、的熱叫潛熱。如1公斤水由液態(tài)受熱變成水蒸氣的過程中所吸收的熱叫水的汽化潛熱，常用單位為千卡/公斤。值得注意的是，在相變時溫度和壓力都是不變的，否則不能稱之為潛熱。因此，在說潛熱數(shù)值時，要說明在什么溫度什么壓力下，進行何種相變過程。如1公斤水在760毫米汞柱壓力，100攝氏度下汽化，汽化潛熱為539.6千卡?；旌衔锏臐摕峥梢詫崪y或計算，其數(shù)值的大小除了和組分的性質(zhì)有關外，還和組分的含量有關，不是一個固定的數(shù)值。 什么是顯熱？ 答：純物質(zhì)在不發(fā)生相變和化學反應的條件下，因溫度的改變而吸收或放出的熱量叫顯熱
7、。87.絕對壓力、表壓和真空度絕對壓力：以絕對真空為基準測得的壓力稱為絕對壓力，是流體的真實壓力。表壓：以外界大氣壓為基準測得的壓力，稱為表壓。工程上用壓力表測得的流體壓力，就是流體的表壓。它是流體的絕對壓力與外界大氣壓力的差值，表壓＝絕對壓力－大氣壓力真空度：表壓為正值時，稱為正壓；為負值時，則稱為負壓。通常把其負值改為正值，稱為真空度。真空度與絕對壓力的關系為真空度＝大氣壓力－絕對壓力測量負壓的壓力表，又稱為真空表。9二精餾原理1.精餾基本概念2.傳質(zhì)、傳熱3.回流比4.最小回流5.全回流6.最適
8、宜回流比的確定7.精餾塔的壓力降8.液泛9.霧沫夾帶10.液體泄漏11.操作彈性10精餾：將由揮發(fā)度不同的組分所組成的混合液，在精餾塔中同時多次進行部分氣化和部分冷凝，使其分離成幾乎純態(tài)組分的過程。1.精餾原理左圖是以篩板塔為例介紹精餾塔的基本概念。圖精餾塔的一段112.傳質(zhì)、傳熱傳質(zhì)過程：也就是質(zhì)量傳遞過程，是因為物質(zhì)在流體內(nèi)部存在濃度差，物質(zhì)從濃度高處向濃度低處傳遞的過程。傳熱過程：也就是熱量傳遞過程，是流體內(nèi)部因溫度不同，有熱量從溫度高處向溫度低處
