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1、第33卷第1期材料熱處理學(xué)報(bào)Vo1．33NO．12012年1月TRANSACTIONSOFMATERIALSANDHEATTREATMENTJanuary2012高純Ag變形及退火后的微觀組織董亭義，萬(wàn)小勇，羅俊鋒，高巖，王欣平(北京有色金屬研究總院，有研億金新金屬材料股份有限公司，北京100088)摘要：研究了壓縮變形及退火熱處理對(duì)高純Ag(99．99％)微觀組織的影響。結(jié)果表明，高純Ag鑄錠模鍛后，經(jīng)570oC×2h退火可消除鑄態(tài)組織，屈服強(qiáng)度約為66MPa，隨應(yīng)變的增加應(yīng)力明顯增加；然后經(jīng)道次變形量20％，總變形量85％的
2、變形，退火溫度為360oC時(shí)間為1．5h，高純Ag坯料的微觀組織均勻，符合制備靶材的基本要求。關(guān)鍵詞：高純Ag；微觀組織；變形；退火中圖分類號(hào)：TG146．2文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A文章編號(hào)：1009—6264(2012)O1—0080—04Microstructureofdeformedandannealedhigh—purityAgDONGTing—yi，WANXiao—yong，LUOJun—feng，GAOyan，WANGXin—ping(GRIKINAdvancedMaterialsCoLtd，GeneralResearchIn
3、stituteforNon—ferrousMetals，Beijing100088，China)Abstract：MicrostructureofAgwith99．99％purityaftercompressivedeformationandannealingwasinvestigated．TheresultsshowthatyieldingstrengthofAgingotdie—forgedandannealedat570℃for2his66MPa．a(chǎn)ndthestressincreasessignificantlywith
4、increasingstrain，i．e，thestrainhardeningisobvious．Withtherollingdeformationof20％perpassandthecold—rolledaccumulativereductionof85％．a(chǎn)ndthenannealedat360℃for1．5h．themicrostructureofhigh—purityAgisuniform．Keywords：high—purityAg；mierostrueture；deformation；annealing在濺射工藝相同
5、的情況下，濺射靶材的性能和1O～，即合金的純度>99．99％。鑄錠經(jīng)過(guò)模鍛和中顯微組織結(jié)構(gòu)直接影響濺射薄膜的性能，其中主要間退火后，進(jìn)行單道次變形量分別為10％、15％和的影響因素有靶材純度、晶粒尺寸、組織均勻性以20％，總變形量約為85％的冷軋變形，變形后在軋制及晶粒取向等¨。為保證沉積薄膜厚度的均勻性的坯料上切取15mm×15mm×10mm的樣品，在箱與濺射速率，靶材的微觀組織要均勻、細(xì)小。高式熱處理爐(誤差±5oC)里分別進(jìn)行300、330、360純金屬Ag由于具有導(dǎo)電率高、易于沉積、好的金屬和390℃退火，退火時(shí)間為1．
6、5h，退火后水冷。光澤、與襯底附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，已被廣泛應(yīng)用于半退火后的樣品經(jīng)機(jī)械拋光后，用30％氨水溶液導(dǎo)體工業(yè)薄膜制備。因此，高純銀靶材的加工必不擦拭侵蝕。組織觀察在OlympusBX51光學(xué)顯微鏡上可少，但是由于Ag材料的價(jià)格相對(duì)較為昂貴，對(duì)高進(jìn)行，試樣的硬度在432SVD型顯微硬度計(jì)上測(cè)試，純金屬Ag的變形和組織控制研究較少。本文對(duì)高載荷為1kg，保壓時(shí)間為30S。純Ag(99．99％)的常溫軋制變形和再結(jié)晶退火對(duì)其微觀組織的影響進(jìn)行了研究，為制定高純Ag靶2實(shí)驗(yàn)結(jié)果及分析材的加工工藝提供依據(jù)。高純Ag經(jīng)反復(fù)鍛造可以消除鑄
7、態(tài)的粗大晶粒，在銀鍛錠的內(nèi)部出現(xiàn)大量的相互交織在一起的位錯(cuò)，1實(shí)驗(yàn)材料及方法如圖1(a)所示。經(jīng)中間退火后，在畸變能的驅(qū)動(dòng)下，實(shí)驗(yàn)材料為1號(hào)銀錠，是經(jīng)過(guò)真空感應(yīng)熔煉除氣在鍛錠的內(nèi)部發(fā)生再結(jié)晶，如圖所示1(b)所示。但后澆鑄成型的鑄錠。對(duì)該鑄錠進(jìn)行輝光放電質(zhì)譜是經(jīng)過(guò)鍛造再結(jié)晶退火的微觀組織晶粒大小不均勻，(GDMS)全元素分析，測(cè)得其他微量元素總和不大于不能滿足靶材對(duì)微觀組織晶粒均勻、細(xì)小的要求，所有需要在此基礎(chǔ)上進(jìn)行進(jìn)一步的變形和熱處理。中間完全退火的鍛錠，經(jīng)過(guò)道次變形量為10％，收稿日期：2011-04-18；修訂日期：201
8、1-06-08總變形量為85％變形以后，然后切取(b6．5mm×作者簡(jiǎn)介：董亭義(1977一)，男，工程師，博士，電話：010-80103388—6021，E．mail：dty．_7702@163．COB。10mm樣品做壓縮試驗(yàn)，同時(shí)切取15mm×15mm×
