掃描電鏡SEM應(yīng)用簡介課件.ppt

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1、電鏡應(yīng)用簡介1掃描電鏡掃描電鏡的工作原理掃描電鏡的工作原理可以簡單地歸納為“光柵掃描，逐點(diǎn)成像”。掃描電鏡圖像的放大倍數(shù)定義為M=L/lL顯象管的熒光屏尺寸；l電子束在試樣上掃描距離。掃描電鏡的主要性能與特點(diǎn)放大倍率高（M=Ac/As）分辨率高（d0=dmin/M總）景深大（F≈d0/β）保真度好樣品制備簡單作為放大鏡須掌握的技能樣品初始高度的調(diào)整聚焦：正焦、欠焦、過焦像散及消除亮度、對比度過焦正焦欠焦像散12341正焦無像散2正焦有像散3欠焦有像散4過焦有像散像散影響掃描電鏡圖象及襯度二次電子像背散射電子像二次電子象二次電

2、子象是表面形貌襯度，它是利用對樣品表面形貌變化敏感的物理信號作為調(diào)節(jié)信號得到的一種象襯度。因?yàn)槎坞娮有盘栔饕獊硖帢悠繁韺?－10nm的深度范圍，它的強(qiáng)度與原子序數(shù)沒有明確的關(guān)系，便對微區(qū)表面相對于入射電子束的方向卻十分敏感，二次電子像分辨率比較高，所以適用于顯示形貌襯度。凸凹不平的樣品表面所產(chǎn)生的二次電子，用二次電子探測器很容易全部被收集，所以二次電子圖像無陰影效應(yīng)，二次電子易受樣品電場和磁場影響。二次電子的產(chǎn)額δ∝K/cosθK為常數(shù)，θ為入射電子與樣品表面法線之間的夾角，θ角越大，二次電子產(chǎn)額越高，這表明二次電子對樣品

3、表面狀態(tài)非常敏感。背散射電子像背散射電子是指入射電子與樣品相互作用(彈性和非彈性散射)之后，再次逸出樣品表面的高能電子，其能量接近于入射電子能量(E。)。背射電子的產(chǎn)額隨樣品的原子序數(shù)增大而增加，所以背散射電子信號的強(qiáng)度與樣品的化學(xué)組成有關(guān)，即與組成樣品的各元素平均原子序數(shù)有關(guān)。兩種圖像的對比錫鉛鍍層的表面圖像（a）二次電子圖像（b）背散射電子圖像能譜分析分辨率：129eV(MnK)選區(qū)分析線掃描面掃描能譜儀EDX選區(qū)分析NiLaOＥＤＸ線掃描SELaLNiKOKEDXMap掃描電鏡樣品的制備1.要求干凈，干燥的塊狀或粉末樣

4、品，尺寸最好不大于φ20×10mm。2.斷口樣品：要求是干凈、新鮮的表面，最好斷面平整。3.非金屬樣品最好在真空鍍膜機(jī)中噴鍍金、鋁或碳，以保證樣品導(dǎo)電性良好；或者采用低真空操作模式。電鏡操作的基本步驟1制樣2抽真空3調(diào)整樣品高度：先聚焦清晰，確定樣品高度，再設(shè)定為10mm4選定HV及SPOTSIZE，開始工作。5聚焦-消像散直至滿意，記錄圖像。6工作結(jié)束，HVOFF。樣品歸位。7真空放氣，換樣品。實(shí)驗(yàn)中注意事項(xiàng)多樣品時(shí)試樣高低盡可能一致絕緣材料的噴金問題觀測納米結(jié)構(gòu)盡量不噴金多余粉末樣品一定要吹走溶液樣品要考慮干燥后可溶雜質(zhì)

5、的殘留注意分析手段的分辨率研究工作態(tài)度端正，不能專挑好看的注意平衡測量進(jìn)度與拍照質(zhì)量