膜技術在電子工業(yè)純水制造中的應用

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1、膜技術在電子工業(yè)純水制造中的應用膜元件,RO膜,微濾膜一、純水在電子元器件生產中的作用純水在電子工業(yè)尤其是電子元器件生產中的重要作用日益突出，純水水質已成為影響電子元器件產品質量、生產成品合格率及生產成本的重要因素之一，水質要求也越來越高。在電子元器件生產中，高純水主要用作清洗用水及用來配制各種溶液、漿料，不同的電子元器件生產中純水的用途不同，因此對水質的要求也不同。在電解電容器生產中，鋁箔及工作件的清洗需用純水，如水中含有氯離子，電容器就會漏電。在電子管生產中，電子管陰極涂敷碳酸鹽，如其中混入雜質，就會影響電子的發(fā)射，進而影響電子管的放大性能及壽命，因此其配液要使用純水。在顯像管和陰極射線管

2、生產中，其熒光屏內壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質，是鋅或其他金屬的硫化物組成的熒光粉顆粒并用硅酸鉀粘合而成，其配制需用純水，如純水中含銅在8ppb以上，就會引起發(fā)光變色；含鐵在50ppb以上就會使發(fā)光變色、變暗、閃光跳躍；含有機物膠體、微粒、細菌等，就會降低熒光層強度及其與玻殼的粘附力，并會造成氣泡、條跡、漏光點等廢次品。在黑白顯像管熒光屏生產的12個工序中，玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗等5個工序需使用純水，每生產一個顯像管需用純水80kg。液晶顯示器的屏面需用純水清洗和用純水配液，如純水中存在著金屬離子、微生物、微粒等雜質，就會使液晶顯示電路發(fā)生故障，影響液晶屏質量，導致廢、次品

3、。顯像管、液晶顯示器生產對純水水質的要求見。與傳統(tǒng)的水處理技術相比，膜技術具有工藝簡單、操作方便、易于自動控制、能耗小、無污染、去除雜質效率高、運行成本低等優(yōu)點，特別是幾種膜技術的配合使用，再輔之以其他水處理工藝，如石英砂過濾、活性炭吸附、脫氣、離子交換、UV殺菌等，為去除水中的各種雜質，滿足日益發(fā)展的電子工業(yè)對高純水的需要，提供了有效而可靠的手段，而且也只有應用了多種膜技術，才能生產出合格、穩(wěn)定的高純水，才能生產出大規(guī)模、超大規(guī)模、甚大規(guī)模集成電路（LSI、VLSI、ULSI），從而使計算機、雷達、通訊、自動控制等現(xiàn)代電子工業(yè)的發(fā)展和應用得以實現(xiàn)。值得一提的是：當原水的含鹽量大于400mg/

4、L時，純水制造的除鹽工序采用RO-離子交換工藝后，比早先單用離子交換可節(jié)約酸、堿約90%左右，使離子交換柱的周期產水量提高10倍左右，事實證明，可以降低純水制造的運行費用和制水成本，可以減少工人的勞動強度，可以減少對環(huán)境的污染，并可使純水水質得到提高并長期穩(wěn)定。據(jù)統(tǒng)計，在我國電子工業(yè)引進的純水制造系統(tǒng)中，有RO的約占系統(tǒng)總數(shù)的90%，有UF的約占20%，有MF的幾乎為100%，而ED在我國國產的純水系統(tǒng)特別是早期投產的純水系統(tǒng)，以及為數(shù)眾多的對純水水質要求不高的一般電子元器件（如電阻、電容、黑白顯像管、電子管等）制造廠的純水系統(tǒng)中占有相當?shù)谋壤Ｈ?、微電子工廠純水站使用膜技術實況1.前級UF前

5、級UF是用于去除水中的懸濁物、膠體及有機物，降低水的SDI值，確保RO的安全運行。前級UF有5組，每組45根組件，共225根組件，進水280m3/h，透過水250m3/h，濃縮水排放，回收率約90%。UF組件為公司生產的中空纖維膜。UF前采用5μm保安過濾器。2.一級RO水中加入還原劑Na2SO3（加藥量為水中余氯值的1.8倍）以防止余氯氧化腐蝕RO膜，加入防垢劑（NaPO3）6（加藥量為5ppm）以防止CaCO3、CaSO4等在RO膜上結垢，再經(jīng)5μm保安過濾器后由高壓泵打進一級RO。18940199181?一級RO有4組，均為二段。其中三組為每組8根膜容器，呈（5+3）排列，第4組為11根

6、膜容器，呈（8+3）排列，膜容器由FRP（玻璃鋼）制成，每根內裝6個RO膜元件，總共為210個RO膜元件，進水250m3/h，透過水188m3/h，濃縮水排放，回收率為75%，脫鹽率＞90%（初始脫鹽率＞99%），操作壓力1.55Mpa。RO膜元件采用公司生產的芳香聚酰胺復合反滲透膜，膜元件平均脫鹽率99.5%。3.二級RO一級RO水箱出水中一部分進入A系統(tǒng)，先加NaOH（CP級）調節(jié)pH為8.2-8.6，使水中CO2生成HCO3-，被二級RO除去，以減輕混床離子交換的負擔，采用二級RO可以使混床再生周期延長一倍，減少再生堿耗量，并可進一步去除TOC和膠體物質。二級RO前采用3μm保安過濾器，

7、二級RO為一組三段，共10根膜容器，按（6+3+1）排列，每根容器內裝6只RO膜元件，共60只RO膜元件，進水70m3/h，出水62m3/h，濃水排至超濾水箱，回收率為90%，脫鹽率＞70%(初始脫鹽率＞80%)，RO膜元件采用公司反滲透膜，型號與一級RO膜元件相同。4.后級UF后級UF是用于去除水中的微粒、微生物、膠體、有機物等的終端過濾設備。A系統(tǒng)后級UF為3組，每組18支，共54支組件，進水