溶膠—凝膠法制備N(xiāo)iO薄膜的光學(xué)特性研究.pdf

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1、分類(lèi)號(hào)UDC:密級(jí):——編號(hào):——溶膠一凝膠法制備N(xiāo)i0薄膜的光學(xué)特性研究STUDY0NoPTICALPROPERTIESOFNiOTHINFILMSPREPAREDBYSOL-GEL學(xué)位授予單位及代碼:量疊堡王盍堂(!Ql墅2學(xué)科專(zhuān)業(yè)名稱及代碼:徽電王堂皇固往旦士堂£Q8Q9業(yè)2研究方向:電王建廛皇ME豎撞苤申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:亟±指導(dǎo)教師:王塹副煎攫研究生:王巍論文起止時(shí)叫:!QQ9:!!=墊!Q:12長(zhǎng)春理工大學(xué)碩士學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明:所呈交的碩士學(xué)位論文,《溶膠凝膠法制各NiO薄膜的光學(xué)特性研究》是本人在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下,獨(dú)立進(jìn)

2、行研究工作所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外,本論文不包含任何其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫(xiě)過(guò)的作品成果。對(duì)本文的研究做出重要貢獻(xiàn)的個(gè)^和集體,均己在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意識(shí)到本聲明的法律結(jié)果由本人承擔(dān)。作者簽名:!孰趨£L年—墨月筮目長(zhǎng)春理工大學(xué)學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書(shū)本學(xué)位論文作者及指導(dǎo)教師完全了解“長(zhǎng)春理工大學(xué)碩士、博士學(xué)位論文版權(quán)使用規(guī)定”,同意長(zhǎng)春理工大學(xué)保留并向中國(guó)科學(xué)信息研究所、中國(guó)優(yōu)秀博碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù)和cNKI系列數(shù)據(jù)庫(kù)及其它國(guó)家有關(guān)部門(mén)或機(jī)構(gòu)送交學(xué)位論文的復(fù)印件和電子版,允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)長(zhǎng)春理

3、工大學(xué)可以將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索,也可采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存和匯編學(xué)位論文。作者簽名:]拉導(dǎo)師簽名:至塹蘭生年三月羔R蘭L年—蔓月幺月摘要氧化鎳是具有典型的3d電子結(jié)構(gòu)的氧化物半導(dǎo)體,是~種P型半導(dǎo)體材料,禁帶寬度是在3.6—40eV之間。因?yàn)檠趸嚤∧ぞ哂袃?yōu)良的光電特性,而被廣泛應(yīng)用于紫外探測(cè)器,電致變色器件,電池電極及電化學(xué)電容器等領(lǐng)域。氧化鎳薄膜的制備方法有:磁控濺射、化學(xué)氣相沉積、分子束外延、脈沖激光沉積等。這些方法設(shè)各昂貴,技術(shù)較復(fù)雜,不易于大面積的薄膜制各。目前發(fā)展的溶膠一凝膠法則成本低廉、

4、工藝簡(jiǎn)單、成分均勻,適用于多元摻雜薄膜的制各。本論文采用溶膠凝膠法,用不同濃度的溶液,在不同熱處理溫度下制各了多組NiO薄膜。為了調(diào)節(jié)NiO薄膜的禁帶寬度,使其更好的應(yīng)用于紫外探測(cè)器領(lǐng)域,還制各了摻Mg的NiO薄膜,并采用紫外一可見(jiàn)(UV-VIS)分光光度計(jì),x射線衍射儀(xRD),原子力顯微鏡對(duì)所得薄膜進(jìn)行測(cè)試,研究了薄膜的結(jié)構(gòu),光學(xué),表面形貌等特性。關(guān)鍵詞:氧化鎳薄膜溶腔一凝膠№?yè)诫sNiOisap_卯esemiconductormaterialwithtypical3delectronstructureoxideitsbandgapisb

5、etween36q0eVBecausethinfilmshaveexcellentopticalandelectricalproperties.itiswidelyusedinmanyfields,suchasUV-detector,electrochrorincdisplay,electrodesandelectrochemicalcapacitorsThereareseveralmethodstopreparenickeloxidefilms,whichincludemagnetronspuRefing.chemicalvapordepo

6、sition,molecularbeamepitaxy.pulsedlaserdeposition,etcForabovemethods,theequipmentisexpensive,technologyiscomplexanditisnoteasytopreparethelargeareaofthinfilmsAtpresent,thesol-gelmethodthatisloweost,simpleprocessandcomponentsunifolm,soitissuitableforthepreparationofmulti-ele

7、mentdopedfilminthisthesis,NiOthinfilmsweredepositedbythesol-geImethodatdifferentconcentratioDsofsolutionandtemperalure.InordertoadjustthebandgapoftllinfilmsandmakethethinfilmcanbeappliedtotheUV—detectorfieldsextensively.theMg-dopedthinfilmswerepreparedThestructure,opticalch

8、aracters,andsurfacemorphologyofthethinfilmswereinvestigatedbyX-raydiffraction(XRD)

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