資源描述：
《內(nèi)層制程試車作業(yè)管理規(guī)范.docx》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在應(yīng)用文檔-天天文庫。
1、內(nèi)層制程試車作業(yè)管理規(guī)范12020年5月29日文檔僅供參考內(nèi)層製程試車作業(yè)規(guī)範(fàn)一、目的---------------------------------------------------------------1二、說明---------------------------------------------------------------3三、設(shè)備點(diǎn)檢項(xiàng)目----------------------------------------------------4四、測試項(xiàng)目----------------------------
2、------------------------------522020年5月29日文檔僅供參考一、目的測試新進(jìn)設(shè)備品質(zhì)和製程能力,為現(xiàn)場量產(chǎn)做準(zhǔn)備二、說明內(nèi)層試車計畫包含伍個主要設(shè)備,清單如下:(1)裁板機(jī)(2)前處理線(3)壓膜機(jī)(4)曝光機(jī)(5)後處理製程試車計畫由相關(guān)製程負(fù)責(zé)PE編製,交付工程部、製造部及品保部會簽,會同相關(guān)製程的各部負(fù)責(zé)人共同配合執(zhí)行。測試板與小量產(chǎn)規(guī)定(1)測試板數(shù)量:20-100PNL,尺寸:接近設(shè)備最大設(shè)計尺寸,板厚:無特殊要求時40-60mil.32020年5月29日文檔僅供參考(2)小量產(chǎn)數(shù)量3-1
3、0lot(150PNL/lot)三設(shè)備點(diǎn)檢項(xiàng)目設(shè)備名稱設(shè)備點(diǎn)檢項(xiàng)目結(jié)果備註機(jī)械傳動是否正常,有無跳輪、卡板、傳送偏移現(xiàn)象噴嘴是否有堵塞、歪斜內(nèi)層前處溫度顯示與實(shí)際溫度是否相符理各段之間信號傳輸、配合以及感應(yīng)、添加、警報是否正常設(shè)備有無漏液現(xiàn)象設(shè)備各表頭顯示是否符合實(shí)際壓膜機(jī)械傳動是否正常,有無跳輪、卡板、傳送偏移現(xiàn)象機(jī)臺各部分是否運(yùn)轉(zhuǎn)正常、符合規(guī)格要求曝光機(jī)械傳動是否正常,有無跳輪、卡板、傳送偏移現(xiàn)象機(jī)臺各部分是否運(yùn)轉(zhuǎn)正常、符合規(guī)格要求DES機(jī)械傳動是否正常,有無跳輪、卡板、傳送偏移現(xiàn)象噴嘴是否有堵塞、歪斜42020年5月29日文檔僅
4、供參考溫度顯示與實(shí)際溫度是否相符各段之間信號傳輸、配合以及感應(yīng)、添加、警報是否正常設(shè)備有無漏液現(xiàn)象設(shè)備各表頭顯示是否符合實(shí)際四測試項(xiàng)目制程站別項(xiàng)目測試標(biāo)準(zhǔn)測試結(jié)果備註尺寸精確度與設(shè)定值相差2mm內(nèi)裁板板邊無BURR無BURR一次裁切厚度30mm水破實(shí)驗(yàn)>=30s內(nèi)層前處微蝕測試40±10μ〞烘干測試無水痕殘留理傳動測試無卡板、無刮傷板面清潔度無異物設(shè)備傳送無卡板、氣泡、膜皺內(nèi)層內(nèi)層壓膜幹膜對準(zhǔn)度幹膜距板邊2±1mm線板出溫度60±5℃溫度均勻性左中右溫差小於7℃設(shè)備傳送無卡板內(nèi)層曝光曝光能量6.0±0.5格曝光均勻性自動85%↑線CC
5、D對位精準(zhǔn)度偏差1mil內(nèi)真空度22inHg↑DES線設(shè)備傳送無卡板,無刮傷顯影PH值10.6↑52020年5月29日
