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1、河南科技大學畢業(yè)設(shè)計(論文)氮化硅涂層的噴涂溫度對多晶硅鑄錠質(zhì)量的影響摘要制備太陽能級多晶硅過程中需要使用坩堝。工業(yè)中通常使用的坩堝是石英或石墨坩堝,熔融硅與坩堝接觸時不可避免的產(chǎn)生反應粘連,同時坩堝中的雜質(zhì)也會進入硅熔體中。高濃度的雜質(zhì),如C、O、Fe等將使少子壽命顯著降低,影響電池性能。通常在坩堝上涂敷涂層使熔體與坩堝壁隔離,來減少反應粘連使鑄錠順利脫模,并阻止坩堝中的雜質(zhì)在鑄造過程中進入硅中。本文利用多晶硅鑄錠過程中噴涂溫度的變化來研究氮化硅涂層對硅錠脫模效果的影響以及通過少子壽命來分析涂層對雜質(zhì)的隔
2、離效果。然后以噴涂溫度為跳板綜合論述影響噴涂效果的主要因素,最終確定一定的噴涂參數(shù)范圍既能使涂層有效的阻止雜質(zhì)進入硅錠中,又能有良好的脫模效果。關(guān)鍵詞:多晶硅鑄錠,噴涂,脫模,雜質(zhì),少子壽命IV河南科技大學畢業(yè)設(shè)計(論文)TheInfluenceofSiliconNitrideCoatingandSprayingTemperaturetoTheQualityofTheMulticrystallineSiliconIngotABSTRACTweneedtouseofcruciblesintheprocesso
3、ffabricatesolargrademulticrystallinesilicon.Typicallygraphiteorquartzcrucibleshavebeenusedassupportofmeltingsilicon.However,inthecastingprocess,therearereactionadhesionsontheinterfaceofmeltingsiliconandcrucible.Moreover,highdensityofimpurity,suchasC,O,Fe,C
4、a,whichplaysacrucialroleonthedegradationofmulticrystallinesiliconsolarcellsperformance,areusuallyincorporatedthroughthecontactofthemeltwiththecruciblewalls.Usuallycoatinghasbeenspayedonthecruciblewallasreleaseagenttoavoidmeltingsiliconcontactingwiththecruc
5、iblewalldirectlyeventuallydecreasethereactionandimpuritydiffusionfromcrucible.ThistextmakeuseofthesprayingtemperaturetoresearchtheeffectofthereleaseagentonSi3N4coatingandaccordingtothelifetimetoanalysisthesegregateeffectonthecoatingtoimpurityintheprocessof
6、castingmulticrystallinesilicon.Thencomprehensivediscussionthemainfactorsontheeffectofspraying,andfinallymakesureaboundaryofthesprayingtopreventtheimpuritiesintotheingoteffectively,andachievetoagoodreleaseagentface.KEYWORDS:castingmulticrystallinesilicon,sp
7、raying,releaseagent,lifetimeIV河南科技大學畢業(yè)設(shè)計(論文)目錄第一章緒論1§1.1太陽能電池的發(fā)展1§1.2多晶硅太陽能電池2§1.2.1多晶硅太陽能電池片的加工過程2§1.2.2多晶硅鑄錠過程3§1.3鑄造多晶硅中主要雜質(zhì)3§1.3.1硅中氧雜質(zhì)3§1.3.2硅中碳雜質(zhì)4§1.3.3硅中氮雜質(zhì)5§1.3.4硅中金屬雜質(zhì)6§1.4氮化硅的性質(zhì)和應用7§1.5鑄造多晶硅時坩堝涂層目的8§1.6本文研究的主要目的及內(nèi)容9第二章實驗過程10§2.1樣品制備10§2.1.1檢料10§2
8、.1.2噴涂10§2.1.3坩堝燒結(jié)11§2.1.4裝料11§2.1.5鑄錠11§2.1.6開方13§2.2樣品檢測14第三章實驗結(jié)果及分析15§3.1實驗結(jié)果:15§3.1.1硅錠脫模效果:15§3.1.2硅錠收率:15§3.1.3少子壽命檢測結(jié)果:16§3.2結(jié)果分析16結(jié)論18IV河南科技大學畢業(yè)設(shè)計(論文)參考文獻19致謝21IV河南科技大學畢業(yè)設(shè)計(論文)第一章緒論§1.1太陽能電池的發(fā)展隨著經(jīng)濟的迅速