單晶爐操作基本培訓(xùn)

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1、單晶爐培訓(xùn)直拉單晶工培訓(xùn)簡(jiǎn)明教程第一節(jié)??????設(shè)備認(rèn)知一、晶體生長(zhǎng)的要求1.必須保持多晶原料、生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境的高純衛(wèi)生；2.晶體生長(zhǎng)是在高溫下進(jìn)行，為避免硅的氧化，必須在真空系統(tǒng)和保護(hù)氣體（氬）下進(jìn)行；3.拉晶過程中必須保持速度和溫度的穩(wěn)定；二、直拉單晶爐的組成根據(jù)晶體生長(zhǎng)的要求，直拉單晶爐主要包括爐體、電氣部分、熱系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氬氣供給裝置六部分組成；1.爐體包括提拉頭、副爐室（上爐室）、主爐室、底座等部分；2.??????電氣部分包括速度部分、加熱部分、真空系統(tǒng)控制、氬氣控制、爐筒升降控制等組成；2.1速度

2、部分包括上軸上下速度（SL）、上軸轉(zhuǎn)速(SR)、下軸上下速度(CL)、下軸轉(zhuǎn)速(CR)四個(gè)部分；2.2正常拉晶時(shí)各速度的要求：SL：方向、大小控制可由觸摸屏或引晶小盒控制，兩者可以相互轉(zhuǎn)換，注意：在操作人員不在爐前時(shí)必須關(guān)閉引晶小盒的電源以避免事故的發(fā)生！正常拉晶時(shí)SL數(shù)值大概在1.2—0.6mm/min左右范圍內(nèi)變化；CL：方向、大小控制由觸摸屏控制，正常拉晶時(shí)其大小隨所SL的變化而按比例變化；CL/SL俗稱堝跟比；堝跟比隨所拉制晶體的大小而變化；在實(shí)際拉晶過程中要及時(shí)的驗(yàn)證堝跟比以確定其正確性、所拉晶體直徑的準(zhǔn)確性；SR：俗稱

3、晶轉(zhuǎn)，方向及大小由觸摸屏面板控制；正常拉晶時(shí)SR為10—13r/min;順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)；CR:俗稱堝轉(zhuǎn)，方向及大小由觸摸屏控制，正常拉晶時(shí)CR為8r/min；在引晶、化料時(shí)可調(diào)整其快慢以盡快將溫度調(diào)整到合適值；要求：1.在兩個(gè)工作日內(nèi)必須熟練掌握四個(gè)速度的控制；??????2.會(huì)演算拉制6吋（155mm）、8吋晶體所要求的堝跟比各是多少？3.在3個(gè)工作日內(nèi)必須掌握加熱部分、真空系統(tǒng)控制、氬氣控制、爐筒升降控制等的操作；3、熱系統(tǒng)??熱系統(tǒng)由石墨加熱器、保溫系統(tǒng)、支持系統(tǒng)、托桿、托碗、導(dǎo)流筒等組成；第二節(jié)拉晶過程裝料1．??裝料前的準(zhǔn)備

4、.(1)??確認(rèn)已完成設(shè)備點(diǎn)檢項(xiàng)目.(2)??檢查取光孔是否對(duì)好.(3)??準(zhǔn)備好一次性手套、線手套、剪刀、口罩、高純車等輔助用品.(4)??從物料柜取出多晶原料與料單放在裝料小車的一層,檢查是否錯(cuò)誤.(5)??帶上一次性手套(分析純對(duì)手有傷害),用擦爐紙沾上酒精將高純裝料車擦干凈.(6)將堝位升至上限位.2.檢查、裝石英坩堝.(1)打開坩堝紙箱包裝,帶上一次性手套,將坩堝與塑料包裝一起放在高純車上.(2)打開塑料包裝,更換一次性手套,將坩堝對(duì)著光源進(jìn)行檢查,看是否可以使用.?我們專業(yè)單晶爐維修以及配件更換（QQ131014109

5、018626351352）?注意:有以下特征之一者,不能使用.①????磕碰損傷(位于坩堝上沿的微小碰傷除外).②????裂紋.③????嚴(yán)重劃痕.④????直徑≥3㎜的氣泡和黑點(diǎn),數(shù)量≥1個(gè).(注??氣泡:夾在坩堝壁內(nèi)的空洞.黑點(diǎn):有色雜質(zhì)點(diǎn).)⑤????直徑＜3㎜的氣泡和黑點(diǎn),數(shù)量≥5個(gè).⑥????直徑＜3㎜的氣泡和黑點(diǎn),合計(jì)數(shù)量≥5個(gè).(3)檢查確定能夠使用后,將坩堝裝入三瓣堝中,要裝水平.(20″堝比較重,裝時(shí)可以兩人)(4)如若發(fā)現(xiàn)坩堝異常時(shí)及時(shí)與班長(zhǎng)聯(lián)系.3.取料3.1多晶原料的取放必須輕拿輕放，嚴(yán)禁野蠻裝卸造成包裝袋

6、的破損；3.2生產(chǎn)操作員工打開多晶包裝袋時(shí)必須遵守以下規(guī)定：①在裝料小車一層上剪開多晶的外包裝（不帶高純手套）；但不允許接觸到第二層包裝袋②帶高純手套取出多晶原料的二次包裝袋并在高純裝料小車上層剪開（進(jìn)行此項(xiàng)操作時(shí)不允許其接觸到多晶袋的一次外包裝）；③裝多晶料必須帶二層手套：尼龍手套和塑料高純手套；④穿上裝料衣服,帶好口罩、手套以后,剪開料袋進(jìn)行裝料.1、將坩堝升到上限位；檢查石英坩堝質(zhì)量的好壞；將石英坩堝放入石墨堝內(nèi)；①坩堝底部選擇小塊的料(直徑≤20㎜)鋪放,應(yīng)盡量鋪滿坩堝底部.②坩堝中下部選擇較小塊的料(直徑≤40㎜)裝入,

7、多晶料可以裝的緊湊并且貼近堝壁,但應(yīng)該是自然堆砌,而不是硬擠.③坩堝中部選擇大塊料(直徑≥70㎜)緊靠堝邊裝,并且保證對(duì)稱裝入.堝中央可以裝入中度、較小、小塊的料.④坩堝上部選擇中度、較小的料塊,除最上一層外,仍可以緊靠堝邊裝.裝最后一層時(shí),可以有意識(shí)的選擇一些料,讓料突出堝沿10-20㎜,但不能搭在堝沿上.應(yīng)注意以下幾點(diǎn):ⅰ減少料塊與堝邊的接觸面積,以防止掛邊.ⅱ在料塊互相之間的相對(duì)位置方面,要估計(jì)在料塊跨塌時(shí),是否架橋,然后做出相應(yīng)的調(diào)整.(4)裝料過程中應(yīng)注意的問題:①裝料過程中必須保證料塊輕輕的與坩堝接觸,避免任何的磕碰.

8、②裝料過程中嚴(yán)禁多晶原料與料袋外表面直接或間接的接觸.③裝料過程中發(fā)現(xiàn)一次性手套破了,要及時(shí)更換.④不論是上、中、下哪個(gè)部位,料塊尖銳部位不能直接對(duì)著坩堝壁.⑤注意裝料過程中防止把料撒進(jìn)爐膛內(nèi).⑥如有摻雜,應(yīng)將摻雜裝在石英坩堝的中部.避免提渣時(shí)將摻