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《nio薄膜制備及其光學特性的研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在學術論文-天天文庫。
1、長春理工大學碩士學位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的碩士學位論文．(NiO薄膜的制備及其光學特性的研究》是本人在指導教師的指導下，獨立進行研究工作所取得的成果。除文中已經注明引用的內容外．本論文不包臺任何其他個人或集體已經發(fā)表或撰寫過的作品成果。對本文的研究做出重要貢獻的個人和集體，均已在文中以明確方式標明。本人完全意識到本聲明的法律結果由本人承擔。作者簽名：邋蘭!堡年—三月芝日長春理工大學學位論文版權使用授權書本學位論文作者及指導教師完全了解“長春理工太學碩士、博士學位論文版權使用規(guī)定”．同意睦春理工大學保留并向中國辯學信息研究所、中國優(yōu)秀博碩士學位論文
2、全文數據庫和CNKI系列數據庫及其它國家有關部門或機構送交學位論文的復印件和電子版．允許論文被查閱和借閱。本人授權長春理工大學可以將本學位論文的全部或部分內容編入有關數據庫進行檢索，也可采用影印、縮印或掃拙等復制手段保存和匯編學位論文。作者簽名：邋—90—12-年三月盟閂導師簽名：蘭麴摘要NiO是一種用途廣泛的半導體材料．通常以綠色粉末狀存在，它的分子量為74．70。具有立方晶體結構。在功能材料中，NiO薄膜具備了許多優(yōu)異的性能．在熱敏元件、氣敏元件、光探測器等電子元件方面具有良好的應用前景，NiO薄膜的制備工藝有很多種，主要有脈沖激光沉積技術．溶膠凝膠法．化
3、學氣相沉積技術。噴霧熱解法．分子束外延技術等等。各種制各工藝備具特點。這些制各技術及其制備時的工藝參數都會對NiO薄膜的厚度、表面形貌、結晶趨向以及光學、電學特性等性質有一定的影響。本論文采用射頻反應磁控濺射法制各了Ni0薄膜，并研宄了濺射氣壓，濺射功率及氧氬比對Ni0薄膜結構、光學等性質的影響．本論文在制各了NiO薄膜基礎上．利用現有的實驗條件制備了基于NiO薄膜的pn結型紫外探測器原理器件．并對器件的紫外光敏特性進行了初步研究，最后給出了結論。關鍵詞：NiO薄膜射頻磁控濺射光學特性紫外探測器ABSTRACTNiOisakindofsemiconductor
4、materialswhichlswidelyused．itisusuallyexistenceintheformofgreenoreItsmolecularweightis7470．ithasacubiccrystallinestructureNiOhasmanyexcellentpropertiesaslhnctionalmaterials；ithasagoodapplicationprospectinthermosensitiveelements。gas·sensitiveelements，lightdetectorsandotherelectmnicco
5、mponentsTherearemanyrnethodsloformNiO山infilm．“inchidespulsedlaserdeposldon(PLD)，S01．gel，metalorgmlicchemicalvapourdeposition(MOCVD)，spraypyrolysis，molecularbeamepitaxy(MBE)andsoonThepropeaiesofNiOthinfilmisstronglydependonthepreparationmethods，andeachpreparationparmrtetersstronglyef
6、fectonthethickness，thesurfacemorphology,crystallizationandopticalandelectricalpropertiesofNiOminfilmsInthispaper，NiOthinfilmswe爬grownonbyradiofrequencyreacdvemagaetronsputteringmethodTheeffectsofspuneringIcchnologiealpargtmeterssuchasthespuaefingo"ssm．sputteHngpowerandtheO／Atrationo
7、fNiOthinfilmonthestructuralandpropertiesofNiOthinfilmswereinvestigated．BasedoilthesuccessfullypreparationofNiOthinfilms，theNiO-basedultravioletdetectorwithapnjunctionstmcturewerefabricatedandtheultravioletphotosensitivepropertiesofthedeviceweminvestigatedFinally80meconclusionsweredr
8、awnKeywords：NiOthin
